导热片的制造方法技术

一种包含进行了结合的多片薄膜的导热片的制造方法，其包含：至少准备具有基材以及设于该基材上的含有导热性粒子和热固性树脂的薄膜的、第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜，使前述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜各自的前述薄膜相接触，配置于相对配置而成对的第一辊和第二辊的辊间，使前述成对的第一辊和第二辊旋转，从而在前述薄膜的膜厚方向上施加压力，并使第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜重合地进行输送。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】导热片的制造方法
本专利技术涉及导热片的制造方法。
技术介绍
在电力控制设备、信息通信设备等电子设备中，大容量化、高性能化和小型化不断推进，前述电子设备中搭载的电子部件安装的高密度化显著。随着电子部件的大容量化和安装的高密度化，来自电子部件的发热量增加，从确保电子设备的工作稳定性和降低对环境的负荷的观点出发，确保前述电子部件的散热性变得越来越重要。作为确保前述电子部件的散热性的手段，主要使用散热器、散热片等。这些散热器、散热片等中，多数情况下使用导热性良好的铜、铝等，因此，对于将前述电子部件与散热器、散热片等接合的导热片，要求绝缘性和导热性这两种性能。作为前述导热片，以往主要使用氧化铝、氧化锆等的陶瓷片。另一方面，最近，在热固性树脂那样的有机材料中填充有导热率高的导热性粒子的复合系材料导热片由于具有高的导热性和绝缘性并且兼有粘接性而受到关注。在有机材料中填充有导热率高的导热性粒子的复合系材料导热片中，导热片的导热性根据导热性粒子在有机材料中的分散状态而改变。此外，片内部的气泡残留或片表面的平滑性也对导热片的绝缘性产生影响。除了有机材料的流动性、有机材料与导热性粒子的密合性等材料特性对导热性粒子的分散状态、片内部的气泡残留和片表面的平滑性产生影响以外，导热片的制造方法也是重要的影响因素。导热片的制造方法中，被认为特别重要的工序是在导热片的膜厚方向上施加压力的工序。作为在薄膜的膜厚方向上施加压力的方法，例如，有对将含有无机填料和热固性树脂的绝缘组合物成型为片状而获得的绝缘片进行热压的制造方法(例如，参照日本特开2009-130251号公报)。此外，还有将环氧树脂、固化剂和具有无机填料的树脂组合物夹持于2片支撑膜之间并使其通过辊压机的上下辊间从而成型为片状的制造方法(例如，参照日本特开2011-90868号公报)。
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，在如日本特开2009-130251号公报所示的制造方法那样使用间歇式平板压机作为热压机的情况下，有时难以在加压面内均匀地赋予压力，有时会产生大的压力不均。如果产生压力不均，则难以使填充在有机材料中的粒子高精度地分散，此外，片内部容易残留气泡。进而，难以确保片表面的平滑性。通过这样的方法获得的片就导热性或绝缘性的观点而言不能说是充分的。另一方面，在日本特开2011-90868号公报所示的制造方法的情况下，将树脂组合物夹持于上面的支撑膜与下面的支撑膜之间，因此，容易在支撑膜间卷入气泡，在通过后续工序的辊压机成型为片时，前述卷入的气泡容易残留在片内。进而，容易在片的膜厚方向上产生贯穿针孔。与上述同样地，通过这样的方法获得的片就导热性或绝缘性的观点而言不能说是充分的。鉴于前述那样的现有技术的问题点，本专利技术的目的在于，提供一种兼具高的导热性和绝缘性的导热片的制造方法。用于解决课题的方法本专利技术如下所述。[1]一种包含进行了结合的多片薄膜的导热片的制造方法，其包含：至少准备具有基材以及设于该基材上的含有导热性粒子和热固性树脂的薄膜的、第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜；使前述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜各自的前述薄膜相接触，配置于相对配置而成对的第一辊和第二辊的辊间；使前述成对的第一辊和第二辊旋转，从而在前述薄膜的膜厚方向上施加压力，并使第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜重合地进行输送。[2]根据[1]记载的导热片的制造方法，在与前述第一辊和前述第二辊的旋转轴垂直的平面上将前述第一辊和前述第二辊以及前述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜切断而成的截面中，将连接前述第一带有基材的薄膜与前述第一辊接触的区域中的前述第一辊的旋转方向的最上游侧的点与前述第一辊的中心点的直线设为直线A、将连接前述第二带有基材的薄膜与前述第二辊接触的区域中的前述第二辊的旋转方向的最上游侧的点与前述第二辊的中心点的直线设为直线B、将连接前述第一辊的中心点与第二辊的中心点的直线设为直线C时，直线A与直线C所成的角度和直线B与直线C所成的角度中的至少一方为大于或等于30°且小于或等于135°。[3]根据[1]或[2]记载的导热片的制造方法，在将薄膜的每单位面积的质量相对于膜厚等于膜厚设计值的导热片的每单位面积的质量的倍率设为薄膜的质量倍数时，前述薄膜的每单位面积的质量满足以下的式(1)。[数1](式中，n表示薄膜的片数，表示大于或等于2的整数。)[4]根据[1]～[3]中任一项记载的导热片的制造方法，配置于前述第一辊与前述第二辊间之前的前述薄膜的残留挥发成分为该薄膜的总质量的大于或等于0.3质量％且小于或等于1.2质量％。[5]根据[1]～[4]中任一项记载的导热片的制造方法，前述第一辊和第二辊的表面温度均为大于或等于60℃且小于或等于110℃。[6]根据[1]～[5]中任一项记载的导热片的制造方法，前述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜的输送速度为大于或等于0.01m/分钟且小于或等于2m/分钟。[7]根据[1]～[6]中任一项记载的导热片的制造方法，由前述第一辊和第二辊施加在前述薄膜的膜厚方向上的线压为大于或等于10kN/m且小于或等于350kN/m。[8]根据[1]～[7]中任一项记载的导热片的制造方法，前述导热片的下述式(2)所示的膜厚减少率为大于或等于50％且小于或等于95％。[数2][9]根据[1]～[8]中任一项记载的导热片的制造方法，将第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜的通过了前述成对的第一辊和前述第二辊的辊间的部分配置于构成与前述第一辊和前述第二辊的辊间不同的辊间的一对辊的辊间，并在前述薄膜的膜厚方向上对该部分施加压力。[10]根据[1]～[9]中任一项记载的导热片的制造方法，前述热固性树脂为液态环氧树脂。[11]根据[1]～[10]中任一项记载的导热片的制造方法，前述导热性粒子含有至少3种体积平均粒径不同的填料。[12]一种导热片，其通过[1]～[11]中任一项记载的导热片的制造方法来制造。[13]一种带有金属箔的导热片，在[12]记载的导热片上设有金属箔。[14]一种半导体装置，其包含[13]记载的带有金属箔的导热片。专利技术的效果根据本专利技术的导热片的制造方法，能够获得兼具高的导热性和绝缘性的导热片。附图说明图1A为表示本专利技术涉及的带有基材的薄膜的一例的概略截面图。图1B为表示本专利技术涉及的带有基材的薄膜层叠体的一例的概略截面图。图2为对在成对辊的辊间配置2片带有基材的薄膜并加压的方法进行说明的概略概念图。图3A为对将2片带有基材的薄膜配置于2根辊间并使之重合从而获得带有基材的薄膜层叠体的状态进行说明的概略立体图。图3B为将图3A中2片带有基材的薄膜和2根辊在与辊的旋转轴垂直的平面上切断时的截面图。图4为能够适用于本专利技术涉及的制造方法的具备2根辊的制造装置的概略图。图5为能够适用于本专利技术涉及的制造方法的具备3根辊的制造装置的部分概略图。图6为能够适用于本专利技术涉及的制造方法的具备4根辊的制造装置的部分概略图。图7为能够适用于本专利技术涉及的制造方法的具备4根辊的另一制造装置的概略图。具体实施方式本专利技术涉及的导热片的制造方法为包含进行了结合的多片薄膜的导热片的制造方法，其包含：至少准备具有基材以及设于该基材上的含有导热性粒子和热固性树脂的薄膜的、第一带有基材的薄本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种包含进行了结合的多片薄膜的导热片的制造方法，其包含：至少准备具有基材以及设于该基材上的含有导热性粒子和热固性树脂的薄膜的、第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜，使所述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜各自的所述薄膜相接触，配置于相对配置而成对的第一辊和第二辊的辊间，使所述成对的第一辊和第二辊旋转，从而在所述薄膜的膜厚方向上施加压力，并使第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜重合地进行输送。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.03.30 JP 2012-0826751.一种包含进行了结合的多片薄膜的导热片的制造方法，其包含：至少准备具有基材以及设于该基材上的含有导热性粒子和热固性树脂的薄膜的、第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜，使所述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜各自的所述薄膜相接触，配置于相对配置而成对的第一辊和第二辊的辊间，使所述成对的第一辊和第二辊旋转，从而在所述薄膜的膜厚方向上施加压力，并使第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜重合地进行输送，其中，将所述第一带有基材的薄膜和所述第二带有基材的薄膜配置于所述成对的第一辊和第二辊的辊间时，将所述第一带有基材的薄膜和所述第二带有基材的薄膜以分开的状态配置于所述成对的第一辊和第二辊的旋转方向上游侧，使所述第一带有基材的薄膜的基材侧面接触并沿着所述第一辊的外周面，并且使所述第二带有基材的薄膜的基材侧面接触并沿着所述第二辊的外周面，同时将所述第一带有基材的薄膜和所述第二带有基材的薄膜导向所述成对的第一辊和第二辊的辊间进行配置。2.根据权利要求1所述的导热片的制造方法，在与所述第一辊和所述第二辊的旋转轴垂直的平面上将所述第一辊和所述第二辊以及所述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜切断而成的截面中，将连接所述第一带有基材的薄膜与所述第一辊接触的区域中的所述第一辊的旋转方向的最上游侧的点与所述第一辊的中心点的直线设为直线A、将连接所述第二带有基材的薄膜与所述第二辊接触的区域中的所述第二辊的旋转方向的最上游侧的点与所述第二辊的中心点的直线设为直线B、将连接所述第一辊的中心点与第二辊的中心点的直线设为直线C时，直线A与直线C所成的角度和直线B与直线C所成的角度中的至少一方为大于或等于30°且小于或等于135°。3.根据权利要求2所述的导热片的制造方法，所述直线A与直线C所成的角度和所述直线B与直线C所成的角度中的至少一方为大于或等于45°。4.根据权利要求2所述的导热片的制造方法，所述直线A与直线C所成的角度和所述直线B与直线C所成的角度中的至少一方为小于或等于95°。5.根据权利要求2所述的导热片的制造方法，所述直线A与直线C所成的角度和...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿波野康彦，西山智雄，片木秀行，白坂敏明，福田和真，桑野敦司，五十幡贵弘，
申请(专利权)人：日立化成株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP