一种粒子膜层积装置及使用该装置的粒子膜层积方法。本发明专利技术的粒子膜层积装置(1)具有：生成金属材料(9)的纳米粒子(12)的纳米粒子生成室(2)；生成树脂材料(11)的纳米纤维(13)的纳米纤维生成室(3)；在基板(18)上将纳米粒子(12)及纳米纤维(13)成膜并层积的层积室(4)；在成膜室(4)内将纳米粒子(12)成膜的纳米粒子成膜区域(15)；在成膜室(4)内将纳米纤维(13)成膜的纳米纤维成膜区域(16)；使基板(18)在纳米粒子成膜区域(15)与纳米纤维成膜区域(16)之间移动的移动单元(17)；对层积室(4)进行排气的排气单元(5)；将冷却气体分别导入纳米粒子生成室(2)及纳米纤维生成室(3)的冷却气体导入单元(8)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】一种。本专利技术的粒子膜层积装置(1)具有：生成金属材料(9)的纳米粒子(12)的纳米粒子生成室(2)；生成树脂材料(11)的纳米纤维(13)的纳米纤维生成室(3)；在基板(18)上将纳米粒子(12)及纳米纤维(13)成膜并层积的层积室(4)；在成膜室(4)内将纳米粒子(12)成膜的纳米粒子成膜区域(15)；在成膜室(4)内将纳米纤维(13)成膜的纳米纤维成膜区域(16)；使基板(18)在纳米粒子成膜区域(15)与纳米纤维成膜区域(16)之间移动的移动单元(17)；对层积室(4)进行排气的排气单元(5)；将冷却气体分别导入纳米粒子生成室(2)及纳米纤维生成室(3)的冷却气体导入单元(8)。【专利说明】
本专利技术涉及。
技术介绍
在专利文献1中记载有超微粒子膜形成方法及超微粒子膜形成装置。该装置由材 料生成蒸气原子并使其与惰性气体一同在搬运管中移动而在基板上形成超微粒子膜。对这 样的粒子膜形成装置及方法以一般的表现换言之，将腔室上下设置而利用细管使其连通。 而且，对上部腔室抽真空而使冷却气体流向下部腔室。蒸发后的金属被冷却并且由于压力 差而向上部腔室移动。而且，以粒子状态被捕捉到上部腔室的基板上。冷却气体例如为氦 气或氩气，通过在其中流动而防止粒子在移动中的凝集及粒子成长。 但是，这样的现有的粒子膜形成装置仅使粒子在基板上堆积。因此，例如作为粒子 而使用吸收氢这样的Mg及Mg - N i合金等形成氢传感器的情况下，氢的扩散性（气体的透 过性）差，吸氢速度变慢。另外，这样的现有的粒子膜形成装置将金属纳米粒子作为对象而 使用，但若在基板上堆积金属纳米粒子，则会再凝聚化，不能够维持细微的纳米粒子状态。 专利文献1 :(日本）特开2000 - 297361号公报
技术实现思路
本专利技术是考虑了上述现有技术而设立的，其目的在于提供一种粒子膜层积装置及 使用该装置的粒子膜层积方法，在蒸发而得到的纳米粒子由吸氢合金生成的情况下，氢的 扩散性提高，另外，能够防止被捕捉到基板上的纳米粒子的再凝聚化。 为了实现上述目的，在本专利技术中提供一种粒子膜层积装置，其具有：纳米粒子生成 室，其配设应被加热的金属材料，生成所述金属材料的纳米粒子；纳米构造体生成室，其配 设应被加热的树脂材料，生成所述树脂材料的纳米构造体；层积室，其经由粒子连通管及构 造体连通管分别与所述纳米粒子生成室及所述纳米构造体生成室连接，在基板上将所述纳 米粒子及所述纳米构造体成膜并层积；纳米粒子成膜区域，其在所述成膜室内将所述纳米 粒子成膜；纳米构造体成膜区域，其在所述成膜室内将所述纳米构造体成膜；移动单元，其 使所述基板在所述纳米粒子成膜区域与所述纳米构造体成膜区域之间移动；排气单元，其 对所述层积室进行排气；冷却气体导入单元，其向所述纳米粒子生成室及所述纳米构造体 生成室分别导入冷却气体。 优选的是，由所述纳米粒子生成室、所述粒子连通管及所述纳米粒子成膜区域形 成纳米粒子成膜单元，该纳米粒子成膜单元设有多个。 优选的是，所述移动单元具有一对辊，其由分别配设在所述纳米粒子成膜区域及 所述纳米构造体成膜区域的辊构成，将环状的所述基板卷绕在所述一对辊上。 另外，在本专利技术中提供一种粒子膜层积方法，包括：纳米构造体生成工序，通过在 所述纳米构造体生成室将所述树脂材料加热并使其蒸发而生成所述纳米构造体；纳米构造 体成膜工序，利用所述排气单元对所述层积室进行排气而在所述层积室与所述纳米构造体 生成室之间设置压力差，将所述纳米构造体通过所述构造体连通管导入所述纳米构造体成 膜区域并将其在配设于所述纳米构造体成膜区域的所述基板上成膜而形成纳米构造体膜； 行进工序，利用所述移动单元使将所述纳米构造体成膜的所述基板向所述纳米粒子成膜区 域移动；纳米粒子生成工序，通过在所述纳米粒子生成室将所述金属材料加热并使其蒸发 而生成所述纳米粒子；纳米粒子成膜工序，利用所述排气单元对所述层积室进行排气而在 所述层积室与所述纳米粒子生成室之间设置压力差，将所述纳米粒子通过所述粒子连通管 导入所述纳米粒子成膜区域，在配设于所述纳米粒子成膜区域的所述基板上成膜的所述纳 米构造体上成膜而形成纳米粒子膜；复位工序，利用所述移动单元使形成有所述纳米粒子 膜及所述纳米构造体膜的所述基板向所述纳米构造体成膜区域移动。 根据本专利技术，能够利用纳米构造体成膜区域在基板上使纳米构造体成膜，并且利 用移动单元使基板向纳米粒子成膜区域移动而使纳米粒子在纳米构造体上成膜，再次利用 移动单元使基板向纳米构造体成膜区域移动而使纳米构造体在纳米粒子上成膜。通过反复 进行，能够利用纳米构造体夹持纳米粒子。因此，由于纳米粒子层状地排列并成膜，故而在 由吸氢合金生成纳米粒子的情况下，若将层积有纳米粒子的构造用作氢传感器，则氢的扩 散性提高。另外，利用纳米构造体膜夹持纳米粒子膜的层积体在纳米粒子为纳米粒子的状 态下是稳定的，故而防止引起粒子成长。 另外，形成由将移动单元分别配设在纳米粒子成膜区域及纳米构造体成膜区域的 由辊形成的一对辊，若在该一对辊上卷绕环状的基板，则能够连续地将纳米粒子及纳米构 造体成膜，故而作业效率提高。 【专利附图】【附图说明】 图1是本专利技术的粒子膜层积装置的概略图； 图2是使用本专利技术的粒子膜层积装置制造的层积体的概略剖面图； 图3是本专利技术的另一粒子膜层积装置的概略图； 图4是使用图3的粒子膜层积装置制造的层积体的概略断面图。 标记说明 l、la:粒子膜层积装置 2、2a:纳米粒子生成室 3 :纳米纤维生成室（纳米构造体生成室） 4 :层积室 5:排气单元 6、6a :粒子连通管 7 :纤维连通管（构造体连通管） 8 :冷却气体导入单元 9、9a :金属材料 10 :加热器 11 :树脂材料 12、12a:纳米粒子 13 :纳米纤维（纳米构造体） 14、14a:分隔壁 15、15a :纳米粒子成膜区域 16 :纳米纤维成膜区域（纳米构造体成膜区域） 17 :移动单元 18 :基板 19 :辊 20 :纳米纤维膜（纳米构造体膜） 21、21a:纳米粒子膜 22、22a:层积体 23 :纳米粒子成膜单元 【具体实施方式】 如图1所示，本专利技术的粒子膜层积装置1具有纳米粒子生成室2、纳米纤维生成室 3以及层积室4。在层积室4上安装有排气单元5,通过该排气单元5将层积室4抽真空。 纳米粒子生成室2及纳米纤维生成室3分别经由粒子连通管6及纤维连通管7而与层积室 4连接。作为粒子连通管6及纤维连通管7,例如能够使用1/8管。在纳米粒子生成室2及 纳米纤维生成室3上安装有导入冷却气体的冷却气体导入单元8。纳米粒子生成室2、纳米 纤维生成室3及层积室4除了与排气单元5及冷却气体导入单元8的连通部分之外被密闭。 在纳米粒子生成室2配设金属材料9。该金属材料9例如可使用镁、镍或其合金构 成的金属线。另外，在纳米粒子生成室2配设有加热器10。该加热器10用于加热金属材料 9。作为加热器10,可使用坩锅或等离子体发生装置等。通过利用本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种粒子膜层积装置，其特征在于，具有：纳米粒子生成室，其配设应被加热的金属材料，生成所述金属材料的纳米粒子；纳米构造体生成室，其配设应被加热的树脂材料，生成所述树脂材料的纳米构造体；层积室，其经由粒子连通管及构造体连通管分别与所述纳米粒子生成室及所述纳米构造体生成室连接，在基板上将所述纳米粒子及所述纳米构造体成膜并层积；纳米粒子成膜区域，其在所述成膜室内将所述纳米粒子成膜；纳米构造体成膜区域，其在所述成膜室内将所述纳米构造体成膜；移动单元，其使所述基板在所述纳米粒子成膜区域与所述纳米构造体成膜区域之间移动；排气单元，其对所述层积室进行排气；冷却气体导入单元，其向所述纳米粒子生成室及所述纳米构造体生成室分别导入冷却气体。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：内山直树，金井友美，
申请(专利权)人：株式会社渥美精机，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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