气室的制造方法及气室、磁测定装置的制造方法及磁测定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种气室的制造方法及气室，其提高了气室的特性的均一性。气室的制造方法具有：以形成由形成有所述涂层的面围成的气室单元的方式，组装形成有所述涂层的多个所述板材的组装工序；向形成的所述气室单元内填充碱金属气体的填充工序。

【技术实现步骤摘要】
气室的制造方法及气室、磁测定装置的制造方法及磁测定装置本申请是申请号为201210031156.7、申请日为2012年2月13日、专利技术名称为“充气光电池的制造方法及充气光电池”的分案申请。
本专利技术涉及气室的制造方法及气室。
技术介绍
作为检测由生物体的心脏等发出的磁场的生物体磁测定装置，使用光泵式磁敏传感器。专利文献1公开了使用气室(cascell)、泵浦光(pumplight)、探针光(probelight)的磁敏传感器。在该磁敏传感器中，封入气室内的原子被泵浦光激励，产生自旋的偏极。由于透过气室的探针光的偏光面按照磁场进行旋转，所以使用探针光的偏光面的旋转角来测定磁场。专利文献2、专利文献3及非专利文献1公开了向气室单元中填充气体的技术。专利文献专利文献1：(日本)特开2009-236599号公报专利文献2：(日本)特开平11-238469号公报专利文献3：美国专利第7666485号说明书非专利文献非专利文献1：GrbaxSingh，PhilipDiavore，andCarrolO.Alley，“ATechniqueforpreparingWallCoatedCesiumVaporCells”，TheReviewofScientificlnstruments，Vo1.43，No.9，pp.1388-1389(1972)在制造多个气室的时候，当气室的特性上存在差异时，这些差异就会作为磁敏传感器的灵敏度的偏差反映出来。本专利技术提供一种提高气室的特性的均一性的技术。
技术实现思路
本专利技术提供一种气室的制造方法，其具有：在板材的第一面上形成涂层的涂敷工序；以形成由形成有所述涂层的面围成的气室单元的方式，组装形成有所述涂层的多个所述板材的组装工序；向形成的所述气室单元内填充碱金属原子的填充工序。根据该制造方法，与组装后形成涂层的情况相比较，能够提高气室内壁的涂层厚度的均一性。在优选的方式中，所述板材在所述第一面的背面具有第二面，在所述涂敷工序中，在所述板材的所述第一面及所述第二面上形成所述涂层，在所述组装工序中，可以形成包括第一气室单元和第二气室单元的多个所述气室单元，其中，所述第一气室单元由包括所述第一面的多个面围成，所述第二气室单元由包括所述第二面的多个面围成。根据该制造方法，在具有多个气室单元的气室单元阵列中，能够提高气室内壁的涂层厚度的均一性。在另一优选的方式中，多个所述气室单元具有在内部放置有碱金属固体的第三气室单元，在所述第一气室单元和所述第三气室单元之间的所述板材上及所述第二气室单元和所述第三气室单元之间的所述板材上设有贯通孔，所述填充工序可以包括：将所述第三气室单元内的所述碱金属固体气化而产生所述碱金属气体的气化工序；使产生的所述碱金属气体经由所述贯通孔自所述第三气室单元向所述第一气室单元及所述第二气室单元扩散的扩散工序。根据该制造方法，在具有多个气室单元的气室单元阵列中，与分别向各个气室单元中封入碱金属气体的情况相比较，能够提高碱金属气体的浓度的均一性。在另一优选的方式中，多个所述气室单元可以具有第四气室单元及第五气室单元，包括所述第一气室单元、所述第二气室单元、所述第四气室单元及所述第五气室单元的气室单元组在平面上二维配置，所述第三气室单元位于所述平面上。根据该制造方法，能够制造第三气室单元相对于气室单元组二维配置的气室。在另一优选的方式中，多个所述气室单元可以具有第四气室单元及第五气室单元，包括所述第一气室单元、所述第二气室单元、所述第四气室单元及所述第五气室单元的气室单元组在平面上二维配置，所述第三气室单元相对于所述气室单元组，在与所述平面垂直的方向上堆积。根据该制造方法，能够制造相对于气室单元组立体地配置第三气室单元的气室。在另一优选的方式中，所述制造方法可以具有将形成有所述涂层的所述板材切断为多个的切断工序，在所述组装工序中，组装通过所述切断工序而得到的多个板材。根据该制造方法，由于在涂敷工序中处理的板材数量变少，因而与切断后进行涂敷工序的情况相比较，板材的处理变得简便。另外，本专利技术提供一种气室，其具有：形成封闭空间的外壁；将所述封闭空间分隔成多个气室单元的内壁；形成于所述内壁、连结相邻的气室单元中至少一个气室单元的贯通孔；封入所述气室单元内的碱金属原子。根据该气室，在具有多个气室单元的气室单元阵列中，能够提高气室的特性的均一性。此外，本专利技术提供一种具有形成封闭空间的壁面和容纳于所述封闭空间且内包有碱金属的第一安瓿的气室。根据该气室的制造方法，能够不依靠作业者的技能而稳定地制造气室。在优选的方式中，该气室也可以具有形成于所述封闭空间的壁面的涂层，该涂层抑制所述碱金属原子的自旋偏极状态的缓和。根据该气室，能够不依靠作业者的技能而稳定地制造。在另一优选的方式中，所述封闭空间可以具有填充有所述碱金属的原子的第一主室、容纳所述第一安瓿的容纳室、连结所述第一主室和所述容纳室的第一孔。根据该气室，在将第一安瓿容纳于容纳室的情况下，也能够不依靠作业者的技能而稳定地制造。在另一优选的方式中，所述第一安瓿可以内包用于抑制所述碱金属原子的移动速度的缓冲气体。根据该气室，在第一安瓿中内包有缓冲气体的情况下，也能够不依靠作业者的技能而稳定地制造。在另一优选的方式中，所述缓冲气体可以为稀有气体。根据该气室，在第一安瓿中内包有稀有气体的情况下，也能够不依靠作业者的技能而稳定地制造。在另一优选的方式中，所述第一安瓿可以具有使所述缓冲气体向所述第一安瓿的外部扩散的贯通孔。根据该气室，能够使缓冲气体向封闭空间扩散。在另一优选的方式中，所述封闭空间可以具有填充所述碱金属原子且不同于所述第一主室的第二主室以及连结所述第一主室和所述第二主室的第二孔。根据该气室，能够不依靠作业者的机能而稳定地制造具有多个主室的气室单元。在另一优选的方式中，所述第一安瓿可以具有用于形成所述贯通孔的、吸收光的吸收材料。根据该气室，在第一安瓿被光照射的情况下，也能够不依靠作业者的技能而稳定地制造。在另一优选的方式中，该气室可以具有内包用于形成所述涂层的涂敷材料的第二安瓿。根据该气室，在第二安瓿被容纳在容纳室的情况下，也能够不依靠作业者的技能而稳定地制造。在另一优选的方式中，所述碱金属可以为固体或者液体。根据该气室，即使容纳于第一安瓿的碱金属为固体或者液体，也能够不依靠作业者的技能而稳定地制造。此外，本专利技术提供一种气室的制造方法，在具有形成封闭空间的壁面及容纳于所述封闭空间且内包有碱金属的第一安瓿的气室单元中，具有进行所述第一安瓿的破坏的工序；和在将所述第一安瓿破坏后，使所述碱金属向所述封闭空间扩散的工序。根据该气室的制造方法，能够不依靠作业者的技能而稳定地制造气室。在优选的方式中，所述第一安瓿的破坏可以包含通过向所述第一安瓿照射光而形成贯通孔的工序。根据该气室的制造方法，能够使用光照射稳定地制造气室。在另一优选的方式中，所述光照射可以使用以1微妙以下的脉冲宽度进行光照射的脉冲激光来进行。根据该气室的制造方法，能够使用脉冲激光稳定地制造气室。在再一优选的方式中，所述第一安瓿的破坏可以包含通过向所述第一安瓿照射光来割断所述第一安瓿的工序。根据该气室的制造方法，与通过使用光照射形成贯通孔来进行破坏的情况相比较，脱气变少。在再一优选的方式中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气室的制造方法，其特征在于，具有：将封装件和盖罩接合而形成主室的接合工序；在所述主室的内壁形成涂层的涂敷工序；向所述主室内填充碱金属气体的填充工序。

【技术特征摘要】
2011.02.16 JP 2011-031256;2011.09.08 JP 2011-195971.一种气室的制造方法，所述气室具备主室、狭窄孔和安瓿容纳室，所述气室的制造方法的特征在于，依次具有：将封装件和盖罩接合而形成所述主室的接合工序；在所述主室的内壁形成涂层的涂敷工序；向所述主室内填充碱金属气体的填充工序。2.如权利要求1所述的气室的制造方法，其特征在于，所述涂层为石蜡。3.如权利要求1所述的气室的制造方法，其特征在于，在所述接合工序中，还形成狭窄孔以及经由所述狭窄孔与所述主室连通的安瓿容纳室。4.如权利要求3所述的气室的制造方法，其特征在于，在所述接合工序和所述涂敷工序之间，将在内部封入有碱金属固体的安瓿配置于安瓿容纳室。5.如权利要求4所述的气室的制造方法，其特征在于，所述填充工序包括破坏所述安瓿的安瓿破坏工序。6.如权利要求5所述的气室的制造方法，其特征在于，所述安...

【专利技术属性】
技术研发人员：长坂公夫，菊原和通，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP