【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种超声波换能器元件芯片，其特征在于，具备：基板，阵列状地配置有开口；超声波换能器元件，在所述基板的第一面设置于各个所述开口；增强部件，固定于与所述基板的所述第一面相反一侧的所述基板的第二面，用于增强所述基板；以及通气路径，使所述开口的内部空间和所述基板的外部空间相互连通。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：中村友亮，鹤野次郎，清濑摄内，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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