本发明专利技术的多元系的纳米粒子膜形成装置(1)具有：生成室(2)，其配设有多个金属材料(4a～4c)，由纳米粒子(8a～8c)生成多元系的纳米粒子(9)；成膜室(3)，其配设有基板(7)；粒子化单元(11a～11c)，其对应于多个金属材料(4a～4c)的各个而配设于生成室(2)内，粒子化单元(11a～11c)具有覆盖金属材料(4a～4c)的容器(12a～12c)、配设于容器(12a～12c)内的加热器(15a～15c)、设于容器(12a～12c)的用于使纳米粒子(8a～8c)流出的流出口(13a～13c)、设于容器(12a～12c)的用于导入冷却气体的导入口(14a～14c)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术的多元系的纳米粒子膜形成装置(1)具有：生成室(2)，其配设有多个金属材料(4a～4c)，由纳米粒子(8a～8c)生成多元系的纳米粒子(9)；成膜室(3)，其配设有基板(7)；粒子化单元(11a～11c)，其对应于多个金属材料(4a～4c)的各个而配设于生成室(2)内，粒子化单元(11a～11c)具有覆盖金属材料(4a～4c)的容器(12a～12c)、配设于容器(12a～12c)内的加热器(15a～15c)、设于容器(12a～12c)的用于使纳米粒子(8a～8c)流出的流出口(13a～13c)、设于容器(12a～12c)的用于导入冷却气体的导入口(14a～14c)。【专利说明】多元系的纳米粒子膜形成装置及使用该装置的纳米粒子膜 形成方法
本专利技术涉及。
技术介绍
在专利文献1中记载有超微粒子膜形成方法及超微粒子膜形成装置。该装置由材 料产生蒸气原子，使其与惰性气体一同在搬运管中移动而在基板上形成超微粒子膜。对这 样的粒子膜形成装置及方法以一般的表现换言之，将腔室上下设置而利用细管使其连通。 而且，对上部腔室抽真空而使冷却气体流向下部腔室。蒸发后的金属被冷却，并且由于压力 差而向上部腔室移动。而且，以粒子状态被捕捉到上部腔室的基板上。冷却气体例如为氦 气或氩气，通过在其中流动而防止粒子在移动中的凝集及粒子成长。 但是，在欲使用专利文献1记载的装置使多个金属材料蒸发并作为多元系的金属 纳米粒子在基板上成膜的情况下，由于蒸发压力及粒子的质量根据金属材料的种类而不 同，故而各金属粒子相对于基板的集积率及集积量不同。例如在将Mg和Ni的材料在下部腔 室中排列并在相同条件下使其蒸发的情况下，由于Mg的蒸发压力高，故而稍加热即蒸发， 而Ni几乎不蒸发，故而几乎作为Mg的粒子而在基板上成膜。另外，由于金属材料的热影响 波及其他金属材料，故而不能在高融点的金属材料的旁边配置低融点的金属材料等，对金 属材料的设置位置也有制约。以上，为了得到所希望的多元系的金属纳米粒子，温度控制困 难，粒子径及粒子量的调整也困难。 专利文献1 :(日本）特开2000 - 297361号公报
技术实现思路
本专利技术是考虑上述现有技术而设立的，其目的在于提供一种多元系的纳米粒子膜 形成装置及使用该装置的纳米粒子膜形成方法，不论多个金属材料的每一个的蒸发压力如 何，都能够不受到相互的热影响而在每个金属材料上产生适当的粒子径及粒子量的纳米粒 子，能够在基板上形成多元系的纳米粒子膜。 为了实现上述目的，本专利技术的多元系的纳米粒子膜形成装置具有：生成室，其配设 有多个金属材料，由所述金属材料各个的纳米粒子生成多元系的纳米粒子；成膜室，其为了 形成所述多元系的纳米粒子膜而配设有基板；连通管，其将所述生成室和所述成膜室连接； 排气单元，其对所述成膜室进行排气；冷却气体导入单元，其将冷却气体导入所述生成室； 粒子化单元，其对应于所述多个金属材料的每一个而配设在所述生成室内，所述粒子化单 元具有覆盖所述金属材料的容器、配设在该容器内的加热器、设于所述容器的用于使所述 纳米粒子流出的流出口、设于所述容器的用于导入所述冷却气体的导入口。 优选的是，对于所述金属材料的每一个而言，所述容器内的容量及从所述流出口 到所述连通管的距离分别不同。 另外，本专利技术的多元系的纳米粒子膜形成方法，使用多元系的纳米粒子膜形成装 置进行成膜，其具有：纳米粒子生成工序，在每个所述粒子化单元由所述金属材料生成纳米 粒子；合金化工序，在所述生成室内使多个所述纳米粒子结合而生成多元系的纳米粒子； 成膜工序，使所述多元系的纳米粒子通过所述连通管并在所述成膜室内的所述基板上进行 成膜。 优选的是，在所述纳米粒子生成工序中，所述加热器的加热温度及导入所述容器 内的所述冷却气体的导入量以对配置于所述粒子化单元内的所述金属材料的每个而言都 不同的方式进行调整。 根据本专利技术，由于对配设于生成室的金属材料的每一个设有独立的粒子化单元， 故而能够使各金属材料以适于各个材料的每个的条件蒸发而得到纳米粒子。因此，不论多 个金属材料每个的不同的蒸发压力如何，都能够不受到相互的热影响而在每个金属材料上 生成适当的粒子径及粒子量的纳米粒子，能够在基板上形成多元系的纳米粒子膜。 另外，若对每个金属材料设置最佳的容器内的容量，能够适合于各金属材料的蒸 发压力而使其蒸发。另外，若针对每个金属材料，将从流出口到连通管的距离设为最佳的距 离，能够调整基于各金属材料的质量导致的速度的不同。 另外，由于在纳米粒子生成工序中，在每个粒子化单元使金属材料蒸发而生成各 自的纳米粒子，故而各金属材料不受相互的热影响，另外，不论重量及蒸发压力如何不同， 都能够以适于各自的金属材料的条件产生纳米粒子。 另外，在每个粒子化单元也分别设置加热器，以使加热器的加热温度不同的方式 进行调整，故而能够以适于各金属材料的温度进行加热。另外，由于以对每个粒子化单元而 言使冷却气体的导入量不同的方式进行调整，故而能够进行适于各金属材料的冷却。 【专利附图】【附图说明】 图1是本专利技术的纳米粒子膜形成装置的概略图。 标记说明 1 :纳米粒子膜形成装置 2:生成室 3 :成U旲室 4a?4c :金属材料 5 :排气单元 6:连通管 7 :基板 8a?8c :纳米粒子 9 :多元系的纳米粒子 10 :冷却气体导入单元 11a?11c :粒子化单元 12a ?12c:容器 13a ?13c :流出口 14a ?14c:导入口 15a ?15c :加热器 【具体实施方式】 如图1所示，本专利技术的纳米粒子膜形成装置1具有生成室2和成膜室3。在生成室 2中配设有多个金属材料（在附图中为三个金属材料4a?4c)。生成室2用于生成结合了 这些金属材料4a?4c的纳米粒子8a?8c的多元系的纳米粒子（合金纳米粒子）9。该金 属材料4a?4c能够使用例如由镁、镍或其合金构成的金属线。在生成室2中安装有冷却 气体导入单元10,从该冷却气体导入单元10导入冷却气体。 在成膜室3中安装有排气单元（在附图中为真空风扇）5,通过该排气单元5将成 膜室3抽真空（箭头标记D方向）。生成室2经由连通管6与成膜室3连接。作为连通管 6,能够使用例如1/8管。因此，在生成室2与成膜室3之间产生压力差，由于该压力差而在 生成室2中生成的多元系的纳米粒子9快速地通过连通管6而流入成膜室3。在成膜室3 配设有基板7,多元系的纳米粒子9在该基板7上成膜。 在生成室2中对应于金属材料4a?4c的各个而配设有粒子化单元11a?11c。 该粒子化单元11a?11c分别具有将对应的金属材料4a?4c覆盖的容器12a?12c。各 容器12a?12c具有使纳米粒子8a?8c流出的流出口 13a?13c和导入冷却气体的导入 口 14a?14c，仅使该流出口 13a?13c及导入口 14a?14c开口。在附图中，容器12a? 12c为大致圆锥台形状，将上面作为流出口 13a?13c，将下面作为导入口 14a?14c。另 夕卜，在各容器12a?本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种多元系的纳米粒子膜形成装置，其特征在于，具有：生成室，其配设有多个金属材料，由所述金属材料各个的纳米粒子生成多元系的纳米粒子；成膜室，其为了形成所述多元系的纳米粒子膜而配设有基板；连通管，其将所述生成室和所述成膜室连接；排气单元，其对所述成膜室进行排气；冷却气体导入单元，其将冷却气体导入所述生成室；粒子化单元，其对应于所述多个金属材料的每一个而配设在所述生成室内，所述粒子化单元具有覆盖所述金属材料的容器、配设在该容器内的加热器、设于所述容器的用于使所述纳米粒子流出的流出口、设于所述容器的用于导入所述冷却气体的导入口。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：内山直树，金井友美，
申请(专利权)人：株式会社渥美精机，
类型：发明
国别省市：日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。