液体供给装置和光刻胶涂布设备制造方法及图纸

技术编号:10734678 阅读:115 留言:0更新日期:2014-12-10 11:16
本实用新型专利技术提供一种液体供给装置和光刻胶涂布设备。该液体供给装置包括用于存储液体的桶体以及插伸进入所述桶体内部的液体传输管路,其中所述液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,所述液体传输管路位于所述桶体内部的管口与所述桶体的内壁抵压连接。本实用新型专利技术通过在液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,当桶体变形时利用弹性伸缩结构部分的弹性而伸长保证使管口保持与桶体的内壁抵接状态,管口始终位于桶体内液体的液面以下,实现液体的持续输出,避免现有技术桶内所存储的液体不能充分利用的问题。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种液体供给装置和光刻胶涂布设备。该液体供给装置包括用于存储液体的桶体以及插伸进入所述桶体内部的液体传输管路,其中所述液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,所述液体传输管路位于所述桶体内部的管口与所述桶体的内壁抵压连接。本技术通过在液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,当桶体变形时利用弹性伸缩结构部分的弹性而伸长保证使管口保持与桶体的内壁抵接状态,管口始终位于桶体内液体的液面以下,实现液体的持续输出,避免现有技术桶内所存储的液体不能充分利用的问题。【专利说明】液体供给装置和光刻胶涂布设备
本技术涉及显示面板制作工艺,尤其是指一种液体供给装置和光刻胶涂布设备。
技术介绍
在液晶显示面板的制造工艺中,多种工序中均会用到液体材料的传输和供给,如涂覆光刻胶和显影液喷涂等,成为必不可少工艺过程。 图1为现有技术光刻胶涂布设备的光刻胶供给结构的示意图,包括用于储存光刻胶的桶体1,通常采用聚乙烯PE材料制成,所述桶体I的端盖上设置有两个连通管路,分别插伸进入桶体I的内部,其中第一管路2为不锈钢管,延伸至桶体I的底部上方位置处,用于光刻胶的向外传输;第二管路3为气体输入管,用于向桶体I的内部输入一定压力的气体。当进行光刻胶涂布时,利用气压差的原理通过第二管路3向桶体I内输入气体,使得桶体I内部的气压大于外部气压,使内部的光刻胶沿第一管路2输出,供给至光刻胶涂布设备。 然而在实际的光刻胶涂布工艺中,由于第二管路3向桶体I内部气体的输入,在所输入气体压力的作用下,会使桶体发生变形,桶体I长度上的变形量大于宽度上的变形量,如图2所示,造成第一管路2与桶体I的底部距离加大,这样位于桶体I底部的光刻胶无法进入第一管路2,不能得到利用,造成材料的浪费。
技术实现思路
本技术技术方案的目的是提供一种液体供给装置和光刻胶涂布设备,用于解决现有技术液体材料的传输和供给中,桶底所存储液体材料不能充分利用的问题。 本技术提供一种液体供给装置,包括用于存储液体的桶体以及插伸进入所述桶体内部的液体传输管路,其中所述液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,所述液体传输管路位于所述桶体内部的管口与所述桶体的内壁抵压连接。 优选地,上述所述的液体供给装置,所述管口处设置有用于液体流入所述液体传输管路的侧开口。 优选地,上述所述的液体供给装置,所述弹性伸缩结构包括第一端和第二端,其中所述第一端较所述第二端为远离所述管口的一端,且所述第一端到所述管口的距离小于等于所述弹性伸缩结构在自由伸缩状态时的长度与所述第二端到所述管口的距离之和。 优选地,上述所述的液体供给装置,所述弹性伸缩结构在所述桶体内部设置于所述液体传输管路的末端,所述弹性伸缩结构的顶端端口形成为所述管口。 优选地,上述所述的液体供给装置,所述液体传输管路包括与所述弹性伸缩结构连接的管路本体,所述弹性伸缩结构包括相对于所述管路本体沿接近所述桶体的内壁方向所延伸出的第一伸缩管路和套设于所述管路本体的外部或者设置于所述管路本体内部的第二伸缩管路。 优选地,上述所述的液体供给装置,所述第一伸缩管路和所述第二伸缩管路为一体连接。 优选地,上述所述的液体供给装置,所述弹性伸缩结构包括:压簧和设置于所述压簧内部、沿所述压簧长度方向设置的伸缩管。 优选地,上述所述的液体供给装置,所述压簧和所述伸缩管之间还设置有密封圈。 优选地,上述所述的液体供给装置,所述液体供给装置还包括用于向所述桶体内部输入预定压力气体的气体传输管路。 本技术还提供一种光刻胶涂布设备,包括如上任一项所述的液体供给装置,其中所述桶体内存储的为光刻胶,所述液体传输管路和所述弹性伸缩管路均为由抗腐蚀的金属材料制成。 本技术具体实施例上述技术方案中的至少一个具有以下有益效果: 通过在液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,当桶体变形时利用弹性伸缩结构部分的弹性而伸长保证使管口保持与桶体的内壁抵接状态,管口始终位于桶体内液体的液面以下,实现液体的持续输出,避免现有技术桶内所存储的液体不能充分利用的问题。 【专利附图】【附图说明】 图1表不现有技术光刻胶供给结构在使用时的第一状态不意图; 图2表示现有技术光刻胶供给结构在使用时的第二状态示意图; 图3表示本技术第一实施例所述液体供给装置的结构示意图; 图4表示本技术第二实施例所述液体供给装置的部分结构示意图; 图5表示本技术第二实施例所述液体供给装置的第一状态结构示意图; 图6表示本技术第二实施例所述液体供给装置的第二状态结构示意图。 【具体实施方式】 为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例对本技术进行详细描述。 本技术实施例所述液体供给装置,包括用于存储液体的桶体以及插伸进入所述桶体内部的液体传输管路,其中所述液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,且所述液体传输管路位于所述桶体内部的管口与所述桶体的内壁抵压连接。 所述液体供给装置通过在液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,并使液体传输管路的管口与桶体的内壁抵压连接,这样当进行液体传输时,即使桶体变形导致液体传输管路上移时,利用弹性伸缩结构部分的弹性而伸长保证使管口保持与桶体的内壁抵接状态,管口始终位于桶体内液体的液面以下,实现液体的持续输出,避免现有技术桶内所存储的液体不能充分利用的问题。 本领域技术人员可以理解,所述液体传输管路通常竖直插设于桶体内部,因此采用本实施例,液体传输管路位于桶体内部的管口延伸至与桶体的底面接触。 此外,为进一步保证桶体内部的液体能够顺利进入液体传输管路,在液体传输管路的管口处设置有用于液体流入所述液体传输管路的侧开口。 图3表示本技术第一实施例所述液体供给装置的结构示意图,包括桶体10、盖设于桶体10上的盖体11以及穿伸盖体11上的通透孔进入桶体11内部的液体传输管路20。 采用本技术第一实施例,该液体传输管路20的中间区域段形成为弹性伸缩结构21,液体传输管路20与弹性伸缩结构21两端连接的部分不具备弹性伸缩功能,且液体传输管路20的管口 22与桶体10的底面接触。 该弹性伸缩结构21包括第一端24和第二端25,其中所述第一端24较所述第二端25为远离所述管口 22的一端,如图所示,所述第一端24到所述管口 22的距离为S,第二端25到管口 22的距离为S,而弹性伸缩结构21在自由伸缩状态时的长度为L,为使管口 22与桶体10的底面保持接触状态,具体地,上述各长度之间的关系应满足以下公式:S ( s+L。也即,当液体传输管路20插伸放置于桶体10内时,使液体传输管路20的管口 22压设于桶体10的底面上,弹性伸缩结构21被压缩,当由于桶体10的变形膨胀导致液体传输管路20上移时,管口 22在脱离桶体10的底面过程中,弹性伸缩结构21逐渐伸长至自由伸缩状态,这样由于弹性伸缩结构21的伸长,使得当S ( s+L时,管口 10始终保持与桶体10的底面接触状态。 本领域技术人员可以理解,桶体10的膨胀变形量通常很小,而弹性伸缩定结构21的压缩量完全能够保证管口 10始终本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种液体供给装置,包括用于存储液体的桶体以及插伸进入所述桶体内部的液体传输管路,其特征在于,所述液体传输管路的至少一部分形成为弹性伸缩结构,所述液体传输管路位于所述桶体内部的管口与所述桶体的内壁抵压连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:由振琪王建峰祝磊蔺连杰吴凯民
申请(专利权)人:北京京东方显示技术有限公司京东方科技集团股份有限公司
类型:新型
国别省市:北京;11

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