【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种利用激光干涉制备微结构的方法，其特征在于包括下列步骤：（1）在金属衬底上旋涂光刻胶并进行前烘处理，其中需要控制涂胶的厚度；（2）使用激光器多光束激光干涉，对光刻胶进行曝光处理，根据想制备的结构类型从而选择激光束的数量，排列方式和曝光次数；（3）在烘箱中后烘处理，然后在显影液中显影得到周期性结构，（4）在光刻胶的辅助下，在腐蚀溶液中对露出来的金属表面进行腐蚀，得到周期性微结构；（5）去除未曝光过的光刻胶，然后对金属表面进行测量和观察。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张雷，曹小文，向如意，王昕，孙慧超，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：吉林;22
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。