放电元件制造技术

本发明专利技术提供一种加热器电极的配置的自由度高的放电元件。放电元件(10a)特征在于具备：层叠多个电介质层(16)而成的主体(12)；设置在所述主体(12)的放电电极(18)；隔着所述电介质层(16)而与所述放电电极(18)对置地设置在所述主体(12)的感应电极(20)；和设置在与设有所述放电电极(18)的层以及设有所述感应电极(20)的层不同的层的加热器电极(22)。

【技术实现步骤摘要】
放电元件
本专利技术涉及放电元件，更特定而言涉及产生臭氧或离子的放电元件。
技术介绍
作为与现有的放电元件相关的专利技术，例如已知专利文献1所记载的陶瓷放电基板。在该陶瓷放电基板中，在基板的一个面设置放电电极，在基板的另一面设置感应电极以及电阻加热器。该陶瓷放电基板由于能通过电阻加热器进行放电电极以及感应电极周边的除湿，因此能使启动时的放电稳定地发生。然而，在专利文献1所记载的陶瓷放电基板中，感应电极和电阻加热器设置在基板的另一面。感应电极和电阻加热器需要相离规定距离来配置以免发生短路。因而，在该陶瓷放电基板中，存在着电阻加热器的配置的自由度低这样的问题。专利文献专利文献1：JP特开平11-139807号公报
技术实现思路
为此，本专利技术的目的在于提供加热器电极的配置的自由度高的放电元件。本专利技术的一形态所涉及的放电元件，其特征在于，具备：主体，层叠多个电介质层而成；放电电极，设置在所述主体；感应电极，隔着所述电介质层而与所述放电电极对置地设置在所述主体；和加热器电极，设置在与设有所述放电电极的层以及设有所述感应电极的层不同的层。专利技术效果根据本专利技术，加热器电极的配置的自由度变高。附图说明图1是一实施方式所涉及的臭氧产生元件的分解立体图。图2是重叠显示了图1的臭氧产生元件的放电电极、感应电极以及加热器电极的图。图3是图1的臭氧产生元件的A-A处的截面构造图。图4是第1变形例所涉及的臭氧产生元件的分解立体图。图5是重叠显示了图4的臭氧产生元件的放电电极、感应电极以及加热器电极的图。图6是第2变形例所涉及的臭氧产生元件的分解立体图。图7是重叠显示了图6的臭氧产生元件的放电电极、感应电极以及加热器电极的图。图8是第3变形例所涉及的臭氧产生元件的分解立体图。图9是重叠显示了图8的臭氧产生元件的放电电极、感应电极以及加热器电极的图。具体实施方式以下，说明本专利技术的实施方式所涉及的臭氧产生元件。(臭氧产生元件的构成)以下，参考附图来说明一实施方式所涉及的臭氧产生元件的构成。图1是一实施方式所涉及的臭氧产生元件10a的分解立体图。图2是重叠显示了图1的臭氧产生元件10a的放电电极18、感应电极20以及加热器电极22的图。图3是图1的臭氧产生元件10a的A-A处的截面构造图。在图1至图3中，将臭氧产生元件10a的层叠方向定义为上下方向。将从上侧俯视观察时臭氧产生元件10a的长边延伸存在的方向定义为前后方向。将从上侧俯视观察时臭氧产生元件10a的短边延伸存在的方向定义为左右方向。如图1所示，臭氧产生元件10a具备：主体12、放电电极18、感应电极20、加热器电极22、连接导体24、26、外部电极30a～30c以及通孔导体v1～v4、v11～v13、v21。主体12为呈长方形状的板状的LTCC的层叠体，是保护层17a、电介质层16a～16d以及保护层17b从上侧向下侧按照该顺序层叠而构成的。电介质层16a～16d呈长方形状，由混合了玻璃(CaO-Al2O3-B2O3-SiO2)粉末和氧化铝(Al2O3)填料的玻璃陶瓷来制作。此外，保护层17a、17b呈长方形状，与电介质层16a～16d同样地由玻璃陶瓷来制作。以下，将主体12、电介质层16a～16d以及保护层17a、17b的上侧的面称作表面，将主体12、电介质层16a～16d以及保护层17a、17b的下侧的面称作背面。如图1所示，放电电极18是设置在电介质层16a的表面上的由Ag构成的线状的电极。另外，除了Ag以外，也可以使用Cu、Pd、RuO2等。放电电极18在从电介质层16a的中央(对角线的交点)近旁被引出到左侧的长边附近后，沿着左侧的长边被引出到后侧的短边附近，进而朝向右侧被引出。以下，在放电电极18中，将位于电介质层16a的中央附近的端部称作一端，将位于电介质层16a的右后侧的角附近的端部称作另一端。如图1所示，感应电极20是设置在电介质层16b的表面上的由Ag构成的线状的电极。另外，除了Ag以外，也可以使用Cu、Pd、RuO2等。感应电极20从电介质层16b的右前的角沿着右侧的长边被引出到后侧的短边附近，进而朝向左侧被引出。由此，如图2所示，在放电电极18中从电介质层16a的左侧的长边朝向右侧(放电电极18的另一端)被引出的部分、和在感应电极20中从电介质层16b的右侧的长边朝向左侧被引出的部分，隔着电介质层16a相对置。以下，在感应电极20中，将位于电介质层16b的右前侧的角附近的端部称作一端，将位于电介质层16b的左后侧的角附近的端部称作另一端。如图1所示，加热器电极22是设置在与设有放电电极18以及感应电极20的电介质层16a、16b不同的电介质层16d的表面上的由镍铬合金、RuO2等构成的线状的电极。由此，加热器电极22的材料具有比放电电极18以及感应电极20的材料大的电阻率。另外，除了镍铬合金、RuO2以外，也可以使用Ag、Cu、Pd等。加热器电极22沿着电介质层16d的后侧的短边延伸存在。如图2所示，加热器电极22隔着电介质层16b、16c而与在感应电极20中从电介质层16b的右侧的长边朝向左侧(感应电极20的另一端)被引出的部分相对置。即，在从上侧俯视观察时，在放电电极18中从电介质层16a的左侧的长边朝向右侧(放电电极18的另一端)被引出的部分、在感应电极20中从电介质层16b的右侧的长边朝向左侧(感应电极20的另一端)被引出的部分、和加热器电极22相重叠。以下，将加热器电极22的左侧的端部称作一端，将加热器电极22的右侧的端部称作另一端。此外，如图3所示，放电电极18与加热器电极22的最短距离长于放电电极18与感应电极20的最短距离。即，感应电极20设置得比加热器电极22更靠近放电电极18。此外，感应电极20以及加热器电极22相对于放电电极18而设置在层叠方向的一侧(即下侧)。如图1所示，连接导体24是设置在电介质层16d的表面上的由Ag构成的线状的电极，与加热器电极22的一端连接。另外，除了Ag以外，也可以使用Cu、Pd、RuO2等。连接导体24在从加热器电极22的一端沿着电介质层16d的左侧的长边被引出到前侧的短边附近后，沿着前侧的短边朝向右侧被引出。如图1所示，连接导体26是设置在电介质层16d的表面上的由Ag构成的线状的电极，与加热器电极22的另一端连接。另外，除了Ag以外，也可以使用Cu、Pd、RuO2等。连接导体26从加热器电极22的另一端沿着电介质层16d的右侧的长边被引出到前侧的短边附近。外部电极30a设置在电介质层16d的背面的中央附近。外部电极30b、30c设置在电介质层16d的背面的前侧的短边附近。其中，外部电极30c相对于外部电极30b而设置在右侧。外部电极30a～30c例如为了防锈而在由Ag构成的基底电极上涂敷由RuO2构成的电阻膏来构成。另外，也可以取代由RuO2构成的电阻膏的涂敷而施予Ni镀敷以及Sn镀敷等，但在镀敷的情况下有可能会因腐蚀而导致臭氧的产生量降低，因此优选电阻膏的涂敷。此外，在保护层17b设有开口Op1～Op3。开口Op1～Op3分别与外部电极30a～30c重叠。由此，外部电极30a～30c分别露出在外部。通孔导体v1～v4分别在上下方向上贯通电介质层16a～16d。通孔导体v1～v4通过相互连接而构成了一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放电元件，其特征在于，具备：主体，层叠多个电介质层而成；放电电极，设置在所述主体；感应电极，隔着所述电介质层而与所述放电电极对置地设置在所述主体；和加热器电极，设置在与设有所述放电电极的层以及设有所述感应电极的层不同的层。

【技术特征摘要】
2013.05.16 JP 2013-1039711.一种放电元件，其特征在于，具备：主体，层叠多个电介质层而成；放电电极，设置在所述主体；感应电极，设置在所述主体，使得隔着所述电介质层而与所述放电电极对置；和第1加热器电极以及第2加热器电极，设置在与设有所述放电电极的层以及设有所述感应电极的层不同的层，所述第1加热器电极在从层叠方向俯视观察时与所述放电电极和所述感应电极重叠的部分相重叠，所述第2加热器电极在从层叠方向俯视观察时设置在所述放电电极与所述感应电极之间。2.根据权利要求1所述的放电元件，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：岛中康彦，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP