一种蒸发设备结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蒸发设备结构，包括蒸发设备的筒体（4），在筒体（4）的下方设有加热器（7），筒体（4）底部装有硅油（1），硅油（1）液面以上的筒壁上设有排气口（2），筒体（4）内设有蒸汽导管（3），蒸汽导管（3）顶部设有喷嘴（5），筒体（4）的外壁设有冷却水管（6）；所述蒸汽导管（3）与筒体（4）之间设有冷阱（8）。本实用新型专利技术通过在蒸发设备内加装冷阱的方法来控制油分子上返，可以更快速的凝结真空系统中的水蒸汽和其它高沸点气体，减少扩散泵返油造成的真空室污染，提高真空系统的抽速，提高系统真空度。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种蒸发设备结构，包括蒸发设备的筒体（4），在筒体（4）的下方设有加热器（7），筒体（4）底部装有硅油（1），硅油（1）液面以上的筒壁上设有排气口（2），筒体（4）内设有蒸汽导管（3），蒸汽导管（3）顶部设有喷嘴（5），筒体（4）的外壁设有冷却水管（6）；所述蒸汽导管（3）与筒体（4）之间设有冷阱（8）。本技术通过在蒸发设备内加装冷阱的方法来控制油分子上返，可以更快速的凝结真空系统中的水蒸汽和其它高沸点气体，减少扩散泵返油造成的真空室污染，提高真空系统的抽速，提高系统真空度。【专利说明】一种蒸发设备结构
本技术涉及一种蒸发设备结构，属于半导体生产设备改造
。
技术介绍
现有的蒸发设备外壁设有放开式循环冷却水系统，该冷却水系统中的冷却水管太细，使用一段时间之后，冷却水管通常会被污染和腐蚀，冷却水管内充满了污泥和菌藻类物质，造成冷却水管堵塞，致使制冷效果变差，蒸发设备经常出现问题，影响产品质量，降低了产品的成品率，会给企业带来很大的损失。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种蒸发设备结构，以解决蒸发设备冷却水系统失效后制冷效果变差的问题，从而克服现有技术的不足。 本技术的技术方案: 本技术的一种蒸发设备结构，包括蒸发设备的筒体，筒体的下方设有加热器，筒体底部装有硅油，硅油液面以上的筒壁上设有排气口，筒体内设有蒸汽导管，蒸汽导管顶部设有喷嘴，筒体的外壁设有冷却水管；所述蒸汽导管与筒体之间设有冷阱。 上述的蒸发设备结构中，所述排气口以上的筒体内壁设有油分子挡板，冷阱坐落在油分子挡板上。 上述的蒸发设备结构中，所述冷阱的形状为底大顶小的螺旋管，冷阱底端设有进水口，冷阱顶端设有出水口。 由于采用了上述技术方案，本技术与现有技术相比，本技术通过在蒸发设备内加装冷阱的方法来控制油分子上返，可以更快速的凝结真空系统中的水蒸汽和其它高沸点气体，减少扩散泵返油造成的真空室污染，提高真空系统的抽速，提高系统真空度。 【专利附图】【附图说明】 图1是本技术的结构示意图。 图中的标记为:1_硅油、2-排气口、3-蒸汽导管、4-筒壁、5-喷嘴、6-冷却水管、 7-电炉、8-冷讲、9-油分子挡板、10-进水口、11-出水口。 【具体实施方式】 下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明，但不作为对本技术的任何限制。 本技术是根据下述的一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法所构建的，如图1所示，该方法是在蒸发设备内加装一套冷阱，以便更快速的凝结蒸发设备中的水蒸汽和其它高沸点气体，提高蒸发设备的抽速，提高系统真空度。冷阱底部设有油分子挡板，通过油分子挡板减少扩散泵返油造成的真空室污染。冷阱的形状底部直径大于顶部直径的螺旋管，冷却水从冷阱底部的螺旋管入口进入从冷阱顶部的螺旋管出口流出，通过冷却水使冷阱始终处于低温状态，加速蒸发设备中水蒸汽在冷阱表面的凝结。 根据上述方法构成的本技术的一种蒸发设备结构的结构示意图如图1所示，该蒸发设备结构包括筒体4，筒体4的下方设有加热器7，筒体4底部装有硅油I，硅油I液面以上的筒壁上设有排气口 2，筒体4内设有蒸汽导管3，蒸汽导管3顶部设有喷嘴5，筒体4的外壁设有冷却水管6 ;所述蒸汽导管3与筒体4之间设有冷阱8。排气口 2以上的筒体4内壁设有油分子挡板9，冷阱8坐落在油分子挡板9上，冷阱8的形状为底大顶小的螺旋管，冷阱8底端设有进水口 10，冷阱8顶端设有出水口 11。【权利要求】1.一种蒸发设备结构，包括蒸发设备的筒体(4)，其特征在于:在筒体(4)的下方设有加热器(7)，筒体(4)底部装有硅油(1)，硅油(I)液面以上的筒壁上设有排气口(2)，筒体(4)内设有蒸汽导管(3)，蒸汽导管(3)顶部设有喷嘴(5)，筒体(4)的外壁设有冷却水管(6);所述蒸汽导管(3)与筒体(4)之间设有冷阱(8)。2.根据权利要求1所述蒸发设备结构，其特征在于:所述排气口(2)以上的筒体(4)内壁设有油分子挡板(9)，冷阱(8)坐落在油分子挡板(9)上。3.根据权利要求2所述蒸发设备结构，其特征在于:所述冷阱(8)的形状为底大顶小的螺旋管，冷阱(8 )底端设有进水口( 10 )，冷阱(8 )顶端设有出水口( 11)。【文档编号】B01D1/30GK203954702SQ201420205783【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年4月25日 优先权日:2014年4月25日 【专利技术者】贺波, 刘态铭, 朱建凯, 蒋秀英 申请人:中国振华集团永光电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸发设备结构，包括蒸发设备的筒体（4），其特征在于：在筒体（4）的下方设有加热器（7），筒体（4）底部装有硅油（1），硅油（1）液面以上的筒壁上设有排气口（2），筒体（4）内设有蒸汽导管（3），蒸汽导管（3）顶部设有喷嘴（5），筒体（4）的外壁设有冷却水管（6）；所述蒸汽导管（3）与筒体（4）之间设有冷阱（8）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：贺波，刘态铭，朱建凯，蒋秀英，
申请(专利权)人：中国振华集团永光电子有限公司，
类型：新型
国别省市：贵州;52