光学反射元件和致动器制造技术

光学反射元件具有：可动板，具有反射面；第一支承部；第一驱动部；第一框；以及用于检测可动板的转动的监视器部。第一支承部与可动板连接。第一驱动部设置于第一支承部，使可动板绕第一轴转动。在第一框的内侧配置有可动部和第一支承部。第一框与第一支承部连接。监视器部从可动板的外周部分中距第一轴最远的部分伸出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】光学反射元件具有：可动板，具有反射面；第一支承部；第一驱动部；第一框；以及用于检测可动板的转动的监视器部。第一支承部与可动板连接。第一驱动部设置于第一支承部，使可动板绕第一轴转动。在第一框的内侧配置有可动部和第一支承部。第一框与第一支承部连接。监视器部从可动板的外周部分中距第一轴最远的部分伸出。【专利说明】光学反射元件和致动器
本专利技术涉及用于激光打印机、条形码读出器等的光学反射元件，以及用于平视显示器、头盔显示器等图像投影装置的光学反射元件。另外，本专利技术涉及与上述光学反射元件具有类似结构的致动器。
技术介绍
用于扫描从激光器、发光二极管等光源射出的光束的光扫描装置正在得到实用化。用于一维扫描用途的有激光打印机、条形码读出器，用于二维扫描用途的有车载用雷达、投影型显示装置。在这些光扫描装置中，了解反射镜面的位置是很重要的，为了实现用于检测反射镜面位置的监视器功能，做出了各种改进。 例如，专利文献I中公开了如下方法:在元件外部设置受光元件，受光元件接收从元件反射的光，由此检测反射镜面的位置。 另外，例如专利文献2中公开了如下方法:在驱动反射镜面时发生扭曲或弯曲的地方，设置压电电阻元件或压电元件等监视元件，由此检测反射镜面的位置。 此外，专利文献3中公开了如下专利技术:设置与反射镜部和用于转动该反射镜部的扭力杆连接的压电传感器，由此检测反射镜部的转动状态。另外，专利文献4中公开了如下专利技术:为了解决专利文献3的问题，设置经由狭缝位于反射镜的外周侧的压电传感器。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本专利公开公报特开2009-93120号 专利文献2:日本专利公开公报特开2009-77595号 专利文献3:日本专利公开公报特开2009-169325号 专利文献4:日本专利公开公报特开2011-150055号
技术实现思路
本专利技术提供一种光学反射元件，能够在不降低反射镜的驱动效率的情况下直接检测反射镜面的运动，并且适用对反射镜部与支承体的连接方法不加以限制的、设计自由度高的监视器结构。 本专利技术的光学反射元件具有:可动板，具有反射面；第一支承部；第一驱动部；第一框；以及用于检测可动板的转动的监视器部。第一支承部与可动板连接。第一驱动部设置于第一支承部，使可动板绕第一轴转动。在第一框的内侧配置有可动部和第一支承部。第一框与第一支承部连接。监视器部从可动板的外周部分中距第一轴最远的部分伸出。 在该结构中，监视器部由于可动板转动时的惯性力而发生变形。也就是说，光学反射元件自身具有监视器功能，因此能够实现显示系统的小型化。另外，监视器部由于与反射面的运动相伴随的惯性力而发生变形，因此能够直接检测反射面的运动。另外，在发生用于转动的变形的位置以外附加监视器部，因此能够抑制驱动效率的降低，减少耗电。此外，监视器部仅连接于距反射镜部的转动轴最远的端部，因此对反射镜部与固定框之间的连接方法不产生限制，光学反射元件的设计自由度较高。 【专利附图】【附图说明】 图1是本专利技术实施方式I的光学反射元件的立体图。 图2A是图1所示的光学反射元件的监视器部的立体图。 图2B是图2A所示的监视器部的剖视图。 图2C是表示图2A所示的监视器部的形状的俯视图。 图2D是表示图1所示的光学反射元件的监视器部的其他形状的俯视图。 图3A是在图2A所示的监视器部上附加了重物时的剖视图。 图3B是表示图3A所示的监视器部的形状的俯视图。 图3C是表示图3A所示的监视器部的其他形状的俯视图。 图3D是表示图3A所示的监视器部的另一其他形状的俯视图。 图4是表示图1所示的光学反射元件的反射镜部转动时监视器部的变形情况的示意图。 图5A是表示图1所示的光学反射元件的制作方法的示意性剖视图。 图5B是接着图5A表示光学反射元件的制作方法的示意性剖视图。 图5C是接着图5B表示光学反射元件的制作方法的示意性剖视图。 图是接着图5C表示光学反射元件的制作方法的示意性剖视图。 图5E是接着图表示光学反射元件的制作方法的示意性剖视图。 图5F是接着图5E表示光学反射元件的制作方法的示意性剖视图。 图5G是接着图5F表示光学反射元件的制作方法的示意性剖视图。 图5H是接着图5G表示光学反射元件的制作方法的示意性剖视图。 图6是本专利技术实施方式2的光学反射元件的俯视图。 图7是图6所示的光学反射元件的监视器部的立体图。 图8是使用图7所示的光学反射元件的显示系统的示意图。 【具体实施方式】 在说明本专利技术的实施方式之前说明现有技术的问题。首先，如专利文献I那样将受光元件设置在外部的监视器方法会使系统变得大型化。另外，如专利文献2那样在随着反射镜面的驱动发生扭曲变形或弯曲变形的地方设置监视器元件，用该监视器元件进行检测，在这种方法中，监视器元件有可能妨碍变形，降低驱动效率。另外，由于并不直接检测反射镜的运动，所以检测到的运动有可能并不对应于反射镜的运动。 如专利文献3那样，设置与反射镜部和用于转动该反射镜部的扭力杆连接的压电传感器，由此检测反射镜部的转动状态，在这种方法中，施加于压电传感器的应力较小，信号较小。另外，如专利文献4那样，设置经由狭缝位于反射镜外周侧的压电传感器，在这种结构中，由于将压电传感器设置在反射镜外周，所以元件大小较大。而且，在专利文献3、专利文献4的结构中，压电传感器与支承部连结，该支承部连接反射镜与支承体。因此，连接反射镜与支承体的部分的设计自由度较小。 (实施方式I) 以下，参考【专利附图】【附图说明】本专利技术实施方式I的光学反射元件。图1是本实施方式的光学反射元件I的立体图。 光学反射元件I具有:可动板105、作为第一支承部的支承部104、作为第一驱动部的驱动部106、固定框101、以及用于检测可动板105的转动的监视器部108。配置在固定框101内侧的可动板105具有设置在反射面121上的反射镜部102。支承部104也配置在固定框101内侧，与可动板105连接。第一驱动部106设置在支承部104上，使可动板105绕着作为第一轴的转动轴103转动。作为第一框的固定框101与支承部104连接。也就是说，固定框101与可动板105以可动板105能够绕转动轴103转动的方式由一对支承部104连结。通过设置在光学反射元件I内的驱动部106，可动板105能够绕转动轴103转动。 监视器部108从可动板105的外周部分中距转动轴103最远的部分伸出。具体而言，监视器部108在远离转动轴103的端部形成。监视器部108随着可动板105绕转动轴103的转动而发生变形，通过检测其变形情况，能够检测可动板105 (反射镜部102)的驱动状态。 各支承部104具有蜿蜒形状，由折叠连接的振动梁151?153构成。振动梁151?153由娃构成。 驱动部106由驱动体161和驱动体163构成。驱动体161在振动梁151上形成，驱动体163在振动梁153上形成。驱动体161、163由压电体、以及形成于压电体上下的上部电极和下部电极(均未图示)构成。 驱动体161、163的上部电极、下部电极分别通过配线电极171连结，分别连接到驱动电极焊盘172、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学反射元件，具备：可动板，具有反射面；第一支承部，与所述可动板连接；第一驱动部，设置于所述第一支承部，使所述可动板绕第一轴转动；第一框，与所述第一支承部连接，内侧配置有所述可动部和所述第一支承部；以及监视器部，从所述可动板的外周部分中距所述第一轴最远的部分伸出，用于检测所述可动板的转动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中园晋辅，黑塚章，山本雄大，小牧一树，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP