一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统，包括电机、真空腔体和基片架回架，还包含导向轮、摩擦R轮和双导杆可调整基片装载框，所述导向轮和所述摩擦R轮均固定在所述真空腔体和所述基片架回架上，所述双导杆可调整基片装载框的重力线倾斜设置。本实用新型专利技术提供了一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统，将双导杆可调整基片装载框倾斜布置，由重力的分量将玻璃固定在其框架上；采用摩擦R轮和导杆摩擦产生驱动力，无跳动传送；采用导向轮和导杆进行方向导向，无跳动传送；可实现大批量稳定连续生产。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统，包括电机、真空腔体和基片架回架，还包含导向轮、摩擦R轮和双导杆可调整基片装载框，所述导向轮和所述摩擦R轮均固定在所述真空腔体和所述基片架回架上，所述双导杆可调整基片装载框的重力线倾斜设置。本技术提供了一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统，将双导杆可调整基片装载框倾斜布置，由重力的分量将玻璃固定在其框架上；采用摩擦R轮和导杆摩擦产生驱动力，无跳动传送；采用导向轮和导杆进行方向导向，无跳动传送；可实现大批量稳定连续生产。【专利说明】一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统
本技术涉及一体式(OGS)触摸屏磁控溅射镀膜生产线无镀膜阴影的玻璃镀膜产品的大面积连续生产领域，尤其涉及一种一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统。
技术介绍
大面积磁控溅射镀膜技术广泛电容式触摸屏的各种电极和线路的镀膜上，尤其是最近发展的采用一体式(OGS)设计的触摸屏结构，所有的镀膜都在一片玻璃上完成，这对磁控溅射的工艺提出了严格的要求，尤其是不能在镀膜的过程中在玻璃的边缘产生镀膜阴影区。 现有的触摸屏大面积连续磁控溅射镀膜生产线的都是采用的垂直放置基片，玻璃垂直装夹的方式进行玻璃装夹，在进行镀膜工艺的同时将在玻璃上面产生镀膜的家具阴影，造成玻璃的四周有一定区域的浪费。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统。 本技术通过以下技术方案来实现上述目的: 一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统，包括电机、真空腔体和基片架回架，还包含导向轮、摩擦R轮和双导杆可调整基片装载框，所述导向轮和所述摩擦R轮均固定在所述真空腔体和所述基片架回架上。 具体地，所述双导杆可调整基片装载框的重力线倾斜设置。 进一步地，所述双导杆可调整基片装载框的重力线与竖直方向夹角为5° -10°。 本技术的有益效果在于: 本技术提供了一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统，将双导杆可调整基片装载框倾斜布置，由重力的分量将玻璃固定在其框架上；采用摩擦R轮和导杆摩擦产生驱动力，无跳动传送；采用导向轮和导杆进行方向导向，无跳动传送；可实现大批量稳定连续生产。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的倾斜式传送系统的结构示意图； 图2为本技术一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的倾斜式传送系统中所述双导杆可调整基片装载框的结构示意图； 图3为本技术中所述重力线的结构示意图。 图中:1-导向轮，2-双导杆可调整基片装载框，3-摩擦R轮，4-重力线，5-电机。 【具体实施方式】 下面结合附图对本技术作进一步说明: 如图1、图2和图3所示，本技术一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统，包括电机5、真空腔体、基片架回架、导向轮1、摩擦R轮3和双导杆可调整基片装载框，2所述导向轮I和所述摩擦R轮3均固定在所述真空腔体和所述基片架回架上，所述摩擦R轮通过电机5驱动。所述双导杆可调整基片装载框2的重力线倾斜设置。所述双导杆可调整基片装载框2的重力线与竖直方向夹角为5° -10°。双导杆可调基片装载框2的有效沉积区域的大小为I = dctg Θ -dQ，其中L为有效沉积区域，d为靶材到基片架的垂直距离，Θ为倾斜角度，d0为溅射端部截留距离；倾斜式传送系统中除了双导杆外的所有材料均采用非导磁材料制成。 上面的实施例仅仅是对本技术的优选实施方式进行描述，并非对本技术的范围进行限定，在不脱离本技术设计精神前提下，本领域普通工程技术人员对本技术技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本技术的权利要求书确定的保护范围内。【权利要求】1.一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统，包括电机、真空腔体和基片架回架，其特征在于:还包含导向轮、摩擦R轮和双导杆可调整基片装载框，所述导向轮和所述摩擦R轮均固定在所述真空腔体和所述基片架回架上。2.根据权利要求1所述的一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统，其特征在于:所述双导杆可调整基片装载框的重力线倾斜设置。3.根据权利要求2所述的一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统，其特征在于:所述双导杆可调整基片装载框的重力线与竖直方向夹角为5° -10°。【文档编号】C23C14/35GK203960322SQ201420253866【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年5月19日 优先权日:2014年5月19日 【专利技术者】郭爱云 申请人:红安华州光电科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一体式触摸屏磁控溅射镀膜生产线的传送系统，包括电机、真空腔体和基片架回架，其特征在于：还包含导向轮、摩擦R轮和双导杆可调整基片装载框，所述导向轮和所述摩擦R轮均固定在所述真空腔体和所述基片架回架上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭爱云，
申请(专利权)人：红安华州光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42