【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于对TCO层进行激光刻蚀后的基板玻璃的清洗工艺，其特征在于：本工艺是借助在TCO基板玻璃传送辊（9）上依次设置的预喷淋清洗腔室（1）、清洗剂喷淋清洗腔室（2）、再次喷淋清洗腔室（3）、漂洗腔室（4）及烘干腔室（5）实现的，所述的工艺步骤中包括：A、预喷淋清洗：将预喷淋清洗腔室（1）控制在常温状态下，将去离子水作为清洗液、将在TCO基板玻璃传送辊上、下方90‑110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行预喷淋，其中，每组喷嘴组件中包括18‑25个扇形喷嘴，每个喷嘴在0.12‑0.16Mpa压力下的流量为1‑1.1 L/Min；B、清洗剂喷淋清洗：将清洗剂喷淋清洗腔室（2）控制在45℃±2℃温度下，将在传送辊上、下方90‑110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具喷淋弱碱性清洗剂，其中，每组喷嘴组件中包括30‑35个扇形喷嘴，每个喷嘴在0.12‑0.16Mpa压力下的流量为1‑1.1 L/Min；C、再次喷淋清洗：将再次喷淋清洗腔室（3）控制在常温状态下，以去离子水作为清洗剂、将在传送辊上方90‑110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行再次喷淋清洗，其中，每组喷嘴...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李岩，李兆廷，朱华，郭婷婷，
申请(专利权)人：成都旭双太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51
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