光量调节机构制造技术

本发明专利技术提供一种进行光衰减率的变更并防止在具有规定的束直径的光束内径向观察的透射率产生差别的光量调节机构，具有：形成平坦的入射面且透射率在入射面的方向观察时连续变化的入射侧滤光器部件(11)；以及形成平坦的出射面并具有与入射侧滤光器部件(11)相等的光学浓度斜率的出射侧滤光器部件(12)，在入射侧滤光器部件(11)中，以对于从入射面射入的光束的透射率连续变化的方向为位置调节方向(P)，出射侧滤光器部件(12)的透射率减小方向与入射侧滤光器部件(11)的透射率减小的方向相反，且出射侧滤光器部件(12)沿位置调节方向(P)与入射侧滤光器部件(11)并列并进行与入射侧滤光器部件(11)间的沿位置调节方向(P)的相对移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供一种进行光衰减率的变更并防止在具有规定的束直径的光束内径向观察的透射率产生差别的光量调节机构，具有：形成平坦的入射面且透射率在入射面的方向观察时连续变化的入射侧滤光器部件(11)；以及形成平坦的出射面并具有与入射侧滤光器部件(11)相等的光学浓度斜率的出射侧滤光器部件(12)，在入射侧滤光器部件(11)中，以对于从入射面射入的光束的透射率连续变化的方向为位置调节方向(P)，出射侧滤光器部件(12)的透射率减小方向与入射侧滤光器部件(11)的透射率减小的方向相反，且出射侧滤光器部件(12)沿位置调节方向(P)与入射侧滤光器部件(11)并列并进行与入射侧滤光器部件(11)间的沿位置调节方向(P)的相对移动。【专利说明】光量调节机构
本专利技术涉及调节透射的光的光量的光量调节机构。
技术介绍
在光源装置、受光装置等中，考虑通过使用ND滤光器减小为所希望的光量来对光 量进行调节。这样的ND滤光器大致分为透射率在所有位置均一致的透射率固定式和透射 率因位置而变化的透射率可变式。作为透射率固定式的滤光器，有使光吸收物质分散形成 于光学玻璃中的吸收型滤光器、通过在玻璃基板上形成蒸镀膜而形成的反射型滤光器。作 为透射率可变式的滤光器，有通过改变在玻璃基板上形成的蒸镀膜的厚度而形成的滤光 器。另外，作为透射率可变式的滤光器，有将连续地调节银盐膜的光学浓度而形成的滤光 器。进而，作为透射率可变式的滤光器，还有通过在玻璃基板上形成蒸镀膜并在该蒸镀膜设 置多个微小开口，而使玻璃基板上的微小的区域中存在无数个不具有蒸镀膜的部位而形成 的滤光器（例如，参照专利文献1)。 因此，通过将透射率可变式的ND滤光器配设于光路内，并且通过使在沿ND滤光器 的透射率变化的方向上观察的该ND滤光器存在于光路上的部位变化，由此可以变更光路 上的光衰减率，而可以调节光量。另外，使用透射率不同的多个透射率固定式的ND滤光器 并且适当地对它们进行交换，据此可以变更光路上的光衰减率，而可以调节光量。 (现有技术文献） (专利文献） 专利文献1 :日本特开2010-112964号公报
技术实现思路
(专利技术所要解决的问题） 然而，透射率可变式的ND滤光器为透射率根据位置而变化的结构，即根据位置的 变化使光衰减率变更的结构。在此，透过光量调节滤光器的光束具有规定的束直径（在与 行进方向正交的方向（以下，也称为径向）观察的大小）。因此，在透射率可变式的ND滤光 器中，在透射的单个光束内，在径向观察的透射率上产生差别（差异）。 另外，在透射率固定式的ND滤光器中，透过的单个的光束内在径向观察的透射率 上产生差别（差异）可防止。然而，在透射率固定式的ND滤光器中，由于通过对透射率不 同的多个滤光器的交换而使光衰减率变化，因此只能阶跃性地调节光量。 本专利技术正是鉴于上述情况而形成的，其目的在于提供一种能够对光衰减率进行变 更并且能够防止在具有规定的束直径的光束内在径向观察的透射率产生差别的光量调节 机构。 (解决问题的措施） 技术方案一所记载的专利技术的光量调节机构的特征在于，具有：入射侧滤光器部件， 其形成平坦的入射面，且透射率在沿着该入射面的方向观察时连续地变化；以及出射侧滤 光器部件，其形成平坦的出射面，并具有与该入射侧滤光器部件相等的光学浓度斜率，在上 述入射侧滤光器部件中，以针对从上述入射面射入的光束的透射率连续变化的方向作为位 置调节方向，上述出射侧滤光器部件的透射率减小的方向与上述入射侧滤光器部件的使透 射率减小的方向为相反的方向，并且上述出射侧滤光器部件沿上述位置调节方向与上述入 射侧滤光器部件并列，上述出射侧滤光器部件能够进行与该入射侧滤光器部件间的沿上述 位置调节方向的相对移动。 技术方案十四所记载的专利技术的特征在于，具有：由规定的透射率的部件构成且形 成平坦的第一光路面的第一基板；由比该第一基板低的规定的透射率的部件构成且形成平 坦的第二光路面的第二基板；由与上述第一基板相同的部件构成且形成平坦的第三光路面 的第三基板；以及由与上述第二基板相同的部件构成且形成平坦的第四光路面的第四基 板，上述第一基板在与上述第一光路面正交的厚度方向观察的上述第一光路面的相反侧具 有相对于该第一光路面以规定的角度倾斜的平坦的第一接合面，上述第二基板具有能够维 持上述第二光路面与上述第一光路面平行的状态而与上述第一接合面面抵接的第二接合 面，上述第一基板与上述第二基板具有大致相等的折射率，上述第一基板与上述第二基板 通过上述第一接合面与上述第二接合面面抵接而结合在一起，上述第三基板被设置为上述 第三光路面与上述厚度方向正交，并且在该厚度方向观察的上述第三光路面的相反侧具有 相对于该第三光路面以上述规定的角度倾斜的平坦的第三接合面，上述第四基板被设置为 上述第四光路面与上述厚度方向正交，并且具有能够维持上述第四光路面与上述第三光路 面平行的状态并与上述第三接合面面抵接的第四接合面，上述第三基板与上述第四基板通 过上述第三接合面与上述第四接合面面抵接而结合在一起，上述第一基板与上述第三基板 被形成为如下的位置关系，即：如果将与上述厚度方向正交的方向作为位置调节方向来设 定该位置调节方向上的相对位置，则上述第一基板与上述第三基板相互重叠的部位在上述 厚度方向上观察的厚度尺寸的合计值恒定，而与上述位置调节方向上的位置无关。 (专利技术的效果） 根据本专利技术的光量调节机构，通过使具有规定的束直径的光束通过入射侧滤光器 部件与出射侧滤光器部件双方，可以防止在该光束的径向观察的透射率上产生差别（差 异）。 另外，通过适当调节在位置调节方向上的入射侧滤光器部件与出射侧滤光器部件 的位置，可以使作为整体的透射率变化。 【专利附图】【附图说明】 图1为示意性示出本申请专利技术的光量调节机构1的结构的剖视图。 图2为表示光量调节机构1的入射侧滤光器部件2的结构的立体图。 图3为表示光量调节机构1的入射侧滤光器部件2的结构的与图2不同的说明图， (a)以主视图示出，（b)以侧视图示出。 图4为表示入射侧滤光器部件2的透射率特性的图表，横轴为以入射侧滤光器部 件2的一端为基准的长度方向上的位置pp，纵轴为透射率T。 图5为表示入射侧滤光器部件2的光学浓度特性的图表，横轴为以入射侧滤光器 部件2的一端为基准的长度方向上的位置pp，纵轴为光学浓度0D。 图6为将光量调节机构1中的入射侧滤光器部件2以及出射侧滤光器部件3的位 置关系与处于该所示的位置关系下的光量调节机构1、入射侧滤光器部件2以及出射侧滤 光器部件3的光学浓度特性的图表一并示出的说明图，在该图表中，横轴为以光量调节机 构1的一端为基准的位置调节方向P上的位置ph，纵轴为光学浓度0D。 图7为将光量调节机构1中的入射侧滤光器部件2以及出射侧滤光器部件3的不 同于图6的位置关系与处于该所示的位置关系下的光量调节机构1、入射侧滤光器部件2以 及出射侧滤光器部件3的光学浓度特性的图表一并示出的说明图，在该图表中，横轴为以 光量调节机构1的一端为基准的位置调节方向P上的位置ph，纵轴为光学浓度0D。 图8表示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光量调节机构，其特征在于，具有：入射侧滤光器部件，其形成有平坦的入射面，且透射率在沿着上述入射面的方向观察时连续地变化；以及出射侧滤光器部件，其形成有平坦的出射面，并具有与上述入射侧滤光器部件相等的光学浓度斜率，在上述入射侧滤光器部件中，以针对从上述入射面射入的光束的透射率连续变化的方向作为位置调节方向，上述出射侧滤光器部件的使透射率减小的方向与上述入射侧滤光器部件的透射率减小的方向为相反的方向，上述出射侧滤光器部件沿上述位置调节方向与上述入射侧滤光器部件并列，并且能够进行与上述入射侧滤光器部件间的沿上述位置调节方向的相对移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：林邦广，赵鹏，
申请(专利权)人：株式会社拓普康，
类型：发明
国别省市：日本;JP