本实用新型专利技术属于蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置，包括加热室和冷凝室，冷凝室内设置有冷凝基体，加热室内设置有原料容器，原料容器的开口端和冷凝基体的开口端连通，冷凝室可拆卸地设置于加热室的上方，加热室和冷凝室之间设置有隔热板，并且隔热板穿设于原料容器和冷凝基体的连通处。相对于现有技术，本实用新型专利技术通过在加热室和冷凝室之间设置隔热板，并在隔热板上设置贯通孔或使隔热板不完全遮住原料容器的开口，从而在保证在加热室发生升华的气体能够顺利进入冷凝室进行冷凝的情况下，有效地阻隔加热室对冷凝室的热辐射，而且若沉积在冷凝基体上的产品发生剥落，掉落的产品仅会落在隔热板上，而不会堵住气体从加热室进入冷凝室的通道。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于蒸镀设备
，尤其涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
SiO等硅氧化物相对于锂的电极电位低，不会发生由充放电时的锂离子的吸留释放造成的晶体结构的破坏或不可逆物质的生成等现象，并且可以可逆地吸留释放锂离子，因此有希望成为有效的负极活性物质。若将硅氧化物作为锂离子电池的负极活性物质使用，可以期待获得高电压、高能量密度并且充放电特性优良、放电容量的维持（循环）寿命长的锂离子二次电池。基于此，公开号为CN 1989639A的专利申请公开了一种二次电池用SiO粉末以及用于制备该粉末的蒸镀装置，该装置的结构如图1所示，其由位于下部的原料室11和位于上部的析出室12构成，这两个部分是同轴关系，并且封闭于一个密闭系统（真空室13）中，原料室11中心部配制有用于盛装混合造粒原料17的原料容器14，原料容器14外围设有加热源15（如电热加热器）。原料室11和析出室12之间使用缩口处理，以降低下部的原料室11的热辐射对上部的析出室12中析出基体16的影响。析出室12中用于沉积SiO 18的析出基体16为简单的不锈钢圆筒，并且与原料室11同处于一个密闭系统中，这样为了使整个系统同处于一个真空度下，原料室11和析出室12必须保证是同轴关系。其原料室11中的原料容器14的顶部与位于其上部的缩口存在一定的距离，如此便于原料容器14的取放。这种蒸镀装置具有如下不足之处：第一，由于原料室11的温度很高（高达1400℃以上），势必造成大量的热辐射，因此仅仅使用简单的缩口处理，尽管能够在一定程度上减缓热辐射的影响，但由于原料室11相对于析出室12来说是敞开式的结构，该热辐射还是很可观，在实际工作中不容忽视。而且，经我们在实际生产中的测试，在析出室12的下端温度可达1000℃，而上端却仅为300℃左右，这就导致整个析出室12内部的温度严重不均，无法制备出结构均一的产品，同时也造成大量的能量损失；第二，这种敞开式的结构在实际操作中还存在一个问题，那就是，位于上部的析出基体16上沉积一定厚度的物料后，在重力的作用下，势必有部分物料会脱离析出基体16而剥落，从而堵住缩口，影响后续的蒸镀进程；第三，原料容器14的顶部与位于其上部的缩口存在一定的距离（缝隙），这样的结构设计对整个装置的使用寿命具有很大的副作用，这是因为原料在高温下升华，部分的气体将会从该缝隙中溢出而直接充满原料室11，并在后期沉积于加热源15上。此外，蒸镀装置对原料室11的温度要求较高，高温需达到1800℃左右，因此其对加热源15的要求比较苛刻。目前一般使用钼丝作为加热元件，虽然钼丝可以满足高温要求，但是如上所述，在反复使用过程中，特别是在实际生产中，从原料容器14中逸出的气体会沉积到加热源15上，这不仅影响了加热效率，还会导致钼丝变脆，大大影响了其使用寿命。而且在不停的冷热交替使用过程中，钼丝容易发生失效，如此就需要在使用一段时间后更换元器件，这就需要拆卸该装置，大大增加了成本，也不利于连续生产。第四，在实际生产过程中，对析出基体16的温度控制显得尤为重要，因为该温度的高低直接影响了产品的均一性，如果仅仅是使用简单的圆筒不锈钢，是无法控制温度的，同时该结构的析出基体16也不便于取料。 有鉴于此，确有必要提供一种蒸镀装置，该装置既可降低加热室对冷凝室的热辐射影响，提高加热元件的加热效率与使用寿命，又能便捷地收集沉积物料，并且能够实现对冷凝基体温度的控制。
技术实现思路
本技术的目的在于：针对现有技术的不足，而提供一种蒸镀装置，该装置既可降低加热室对冷凝室的热辐射影响，提高加热元件的加热效率与使用寿命，又能便捷地收集沉积物料，并且能够实现对冷凝基体温度的控制。为了达到上述目的，本技术采用如下技术方案：蒸镀装置，包括加热室和冷凝室，所述冷凝室和所述加热室形成一个密闭系统，所述密闭系统连接有真空系统，所述冷凝室内设置有冷凝基体，所述加热室内设置有原料容器，所述原料容器的开口端和所述冷凝基体的开口端连通，所述冷凝室可拆卸地设置于所述加热室的上方，所述加热室和所述冷凝室之间设置有隔热板，并且所述隔热板从所述原料容器和所述冷凝基体的连通处穿过；所述隔热板的位于所述原料容器和所述冷凝基体之间的区域上设置有贯通孔，或者，所述隔热板上位于所述原料容器和所述冷凝基体之间的区域的横截面积小于所述原料容器的开口端的横截面积。作为本技术蒸镀装置的一种改进，从内向外，所述原料容器的外表面上依次围设有石墨层和感应加热器。作为本技术蒸镀装置的一种改进，所述石墨层和所述感应加热器之间还设置有绝缘保温层。作为本技术蒸镀装置的一种改进，所述原料容器的开口端紧靠所述隔热板的底面设置。作为本技术蒸镀装置的一种改进，所述冷凝基体的纵向截面包括第一倾斜段、第二倾斜段和水平段，所述第一倾斜段的一端和所述第二倾斜段的一端通过所述水平段连接，所述第一倾斜段的另一端和所述第二倾斜段的另一端分别与所述原料容器的开口端的两端连接。作为本技术蒸镀装置的一种改进，所述第一倾斜段与所述水平段所呈的夹角为95°～150°，所述第二倾斜段与所述水平段所呈的夹角为95°～150°。作为本技术蒸镀装置的一种改进，所述冷凝基体的外表面上围设有循环冷却装置。作为本技术蒸镀装置的一种改进，所述冷凝基体的外表面上还围设有加热装置，并且所述循环冷却装置设置于所述冷凝基体的外表面和所述加热装置之间。作为本技术蒸镀装置的一种改进，所述隔热板上位于所述原料容器和所述冷凝基体之间的区域的横截面积为所述原料容器的开口端的横截面积的70～90%。作为本技术蒸镀装置的一种改进，所述隔热板设置为多块，并且多块所述隔热板重叠设置或交错设置。相对于现有技术，本技术通过在加热室和冷凝室之间设置隔热板，并在隔热板上设置贯通孔或使得隔热板不完全遮住原料容器的开口端，从而在保证在加热室发生升华的气体能够顺利进入冷凝室进行冷凝的情况下，有效地阻隔加热室对冷凝室的热辐射，而且若沉积在冷凝基体上的产品发生剥落，掉落的产品仅会落在隔热板上，而不会堵住气体从加热室进入冷凝室的通道，从而保证生产的持续进行。附图说明图1为现有技术中蒸镀装置的结构示意图。其中：11-原料室，12-析出室，13-真空室，14-原料容器，15-加热源，16-析出基体，17-混合造粒原料，18-SiO。图2为本技术中实施例1的剖视图。图3为本技术中实施例2的剖视图。其中：1-加热室，2-冷凝室，3-真空系统，4-冷凝基体，41-第一倾斜段，42-第二倾斜段，43-水平段，5-原料容器，6-隔热板，61-贯通孔，7-石墨层，8-感应加热器，9-绝缘保温层，10-循环冷却装置，20-加热装置。具体实施方式以下的具体实施方式中，以SiO粉末为例，但是本技术的具体实施方式并不限于此。实施例1如图2所示，本技术提供的蒸镀装置，包括加热室1和冷凝室2，冷凝室2和加热室1形成一个密闭系统，密闭本文档来自技高网...
【技术保护点】
蒸镀装置，包括加热室和冷凝室，所述冷凝室和所述加热室形成一个密闭系统，所述密闭系统连接有真空系统，所述冷凝室内设置有冷凝基体，所述加热室内设置有原料容器，所述原料容器的开口端和所述冷凝基体的开口端连通，其特征在于：所述冷凝室可拆卸地设置于所述加热室的上方，所述加热室和所述冷凝室之间设置有隔热板，并且所述隔热板从所述原料容器和所述冷凝基体的连通处穿过；所述隔热板的位于所述原料容器和所述冷凝基体之间的区域上设置有贯通孔，或者，所述隔热板上位于所述原料容器和所述冷凝基体之间的区域的横截面积小于所述原料容器的开口端的横截面积。
【技术特征摘要】
1.蒸镀装置，包括加热室和冷凝室，所述冷凝室和所述加热室形成一个密闭系统，所述密闭系统连接有真空系统，所述冷凝室内设置有冷凝基体，所述加热室内设置有原料容器，所述原料容器的开口端和所述冷凝基体的开口端连通，其特征在于：所述冷凝室可拆卸地设置于所述加热室的上方，所述加热室和所述冷凝室之间设置有隔热板，并且所述隔热板从所述原料容器和所述冷凝基体的连通处穿过；
所述隔热板的位于所述原料容器和所述冷凝基体之间的区域上设置有贯通孔，或者，所述隔热板上位于所述原料容器和所述冷凝基体之间的区域的横截面积小于所述原料容器的开口端的横截面积。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：从内向外，所述原料容器的外表面上依次围设有石墨层和感应加热器。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于：所述石墨层和所述感应加热器之间还设置有绝缘保温层。
4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述原料容器的开口端紧靠所述隔热板的底面设置。
5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄起森，张五堂，钟开富，
申请(专利权)人：宁德新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。