波纹板及其拼接单元制造技术

本实用新型专利技术提供了一种拼接单元及波纹板，拼接单元包括板体及加强筋。由于在板体的一侧设有加强筋，从而可有效的减轻在加热过程中板体的形变程度。并且，由于板体是通过螺纹安装孔进行固定，故即使板体变形，也不会像采用挂钩固定方式一样出现卡死的状况，从而便于拆装。此外，波纹板由多块拼接单元拼接而成。因此，在受热膨胀时，各个拼接单元之间的间隙可有效的缓冲应力，从而减小板体的形变。因此，上述波纹板在加热，变形后也便于拆装，从而有效的提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供了一种拼接单元及波纹板，拼接单元包括板体及加强筋。由于在板体的一侧设有加强筋，从而可有效的减轻在加热过程中板体的形变程度。并且，由于板体是通过螺纹安装孔进行固定，故即使板体变形，也不会像采用挂钩固定方式一样出现卡死的状况，从而便于拆装。此外，波纹板由多块拼接单元拼接而成。因此，在受热膨胀时，各个拼接单元之间的间隙可有效的缓冲应力，从而减小板体的形变。因此，上述波纹板在加热，变形后也便于拆装，从而有效的提高了工作效率。【专利说明】波纹板及其拼接单元
本技术涉及磁控溅射技术，特别是涉及一种波纹板及其拼接单元。
技术介绍
在磁控溅射室中，通常需要采用波纹板对热源进行隔离。目前，在溅射过程中使用的波纹板都是挂钩式的。然而，但是通过加热器加热后，波纹板就会有轻微变形。而且，随着时间的延续，波纹板就变形就会越发严重。为了保证溅射室的洁净度，定期要对波纹板上附着的膜层进行清洁。而由于波纹板变形严重，挂钩卡死，从而导致波纹板难以拆卸。因此，传统的波纹板存在拆装不方便，浪费人力和工时的问题。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种便于拆装，以提高工作效率的波纹板及其拼接单元。 一种波纹板的拼接单元，用于组装应用于磁控溅射的波纹板，包括: 板体，呈矩形板状结构，所述板体上设有多个相互交替设置的沟槽及凸起，以使所述板体呈波浪形，所述板体上开设有多个螺纹安装孔，以固定所述板体；及 加强筋，设置于所述板体的一侧，所述加强筋呈条形，并相对于所述沟槽垂直设置。 在其中一个实施例中，所述螺纹安装孔为多列，且多列所述螺纹安装孔等间隔分布于所述板体上。 在其中一个实施例中，所述螺纹安装孔为4列，且每列包括3个所述螺纹安装孔。 在其中一个实施例中，所述加强筋为3条，且间隔设置于所述板体上。 在其中一个实施例中，所述板体背向所述加强筋的一侧还设有多个螺纹紧固件，多个所述螺纹紧固件分别与多个所述螺纹安装孔螺合，以固定所述板体。 在其中一个实施例中，所述板体一端的边缘设有插槽，与所述插槽相对一端的边缘设有插条，所述板体与所述插槽及所述插条相邻一端的边缘设有卡槽，与所述卡槽相对的一端为底边，所述插槽与另一个所述板体的所述插条可插接，所述卡槽与另一个所述板体的所述底边可卡合，以将多个所述拼接单元拼接成一体。 一种波纹板，包括多个如上述优选实施例中所述的波纹板的拼接单元，所述拼接单元的所述插槽与相邻的所述拼接单元的所述插条插接，所述卡槽与相邻的所述拼接单元的所述底边卡合，以将多个所述拼接单元拼接成所述波纹板。 上述拼接单元，由于在板体的一侧设有加强筋，从而可有效的减轻在加热过程中板体的形变程度。并且，由于板体是通过螺纹安装孔进行固定，故即使板体变形，也不会像采用挂钩固定方式一样出现卡死的状况，从而便于拆装。此外，波纹板由多块拼接单元拼接而成。因此，在受热膨胀时，各个拼接单元之间的间隙可有效的缓冲应力，从而减小板体的形变。因此，上述波纹板在加热，变形后也便于拆装，从而有效的提高了工作效率。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术较佳实施例中波纹板的结构示意图； 图2为图1所示波纹板中拼接单元的结构示意图； 图3为图2所示拼接单元的纵向剖视图； 图4为图2所示拼接单元的横向剖视图。 【具体实施方式】 为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。 需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。 除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。 请参阅图1、图2及图3，本专利技术较佳实施例中的波纹板10包括多个拼接单元100。其中，多个拼接单元100之间相互连接，形成波纹板10。拼接单元包括板体110、加强筋120及螺纹紧固件130。 板体110呈矩形板状结构。板体100 —般由表面光滑的金属制成，可有效的反射关和热。板体110上设有多个相互交替设置的沟槽(图未标)及凸起(图未标)，以使板体110呈波浪形。因此，板体110的表面积增大，增大与光线的接触面积。板体110上开设有多个螺纹安装孔111，以固定板体110。 在本实施例中，螺纹紧固件130为多个，多个螺纹紧固件130分别与多个螺纹安装孔111螺合，以固定板体110。具体的，螺纹紧固件130穿过螺纹安装孔111并与溅射室的内壁螺合，从而将板体110固定在溅射室内。 与挂钩固定的方式相比，螺纹紧固连接的方式受板体110形变的影响较小。因此，即使板体110变形，也可通过拧紧或拧松螺纹紧固件130实现对板体110的拆装。 可以理解，在其他实施例中，螺纹紧固件130可省略。在需要安装波纹板10时，选取与螺纹安装孔111相适配的螺钉即可。 在本实施例中，螺纹安装孔111为多列，且多列螺纹安装孔111等间隔分布于板体110上。进一步的，螺纹安装孔111为4列，且每列包括3个螺纹安装孔111。由于螺纹安装孔111均匀分布。因此，在板体110通过螺纹紧固件130固定时，板体110受到的支撑更均匀，更不易变形。 请一并参阅图4，加强筋120设置于板体110的一侧。具体的，加强筋120与螺纹紧固件130分别位于板体110的不同两侧。加强筋120呈条形，并相对于沟槽垂直设置。加强筋120可有效的对板体110形成支撑，从而减轻板体110在受热过程中产生的形变。 在本实施例中，加强筋120为3条，且间隔设置于板体110上。3条加强筋120便可分别对板体110的上中下三部分提供支撑，从而在防止变形的同时不会过于增加板体110 的质量。 在本实施例中，板体110 —端的边缘设有插槽112，与插槽112相对一端的边缘设有插条114。板体110与插槽112及插条114相邻一端的边缘设有卡槽113，与卡槽113相对的一端为底边115。插槽112与另一个板体110的插条114可插接，卡槽113与另一个板体110的底边115可卡合，以将多个拼接单元100拼接成一体。 具体在本实施例中，拼接单元100的插槽112与相邻的拼接单元100的插条114插接，卡槽113与相邻的拼接单元100的底边115卡合，以将多个拼接单元100拼接成波纹板10。由于各个拼接单元100之间的间隙可有效的缓冲应力。因此，板体110在受热膨胀时，与整块板状的波纹板相比，波纹板100的中部所受的应力较小，从而进一步减小波纹板10的形变。 拼接单元100，由于在板体110的一侧设有加强筋120，从而可有效的减轻在加热过程中板体110的形变程度。并且，由于板体110是通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波纹板的拼接单元，用于组装应用于磁控溅射的波纹板，其特征在于，包括：板体，呈矩形板状结构，所述板体上设有多个相互交替设置的沟槽及凸起，以使所述板体呈波浪形，所述板体上开设有多个螺纹安装孔，以固定所述板体；及加强筋，设置于所述板体的一侧，所述加强筋呈条形，并相对于所述沟槽垂直设置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张迅，阳威，欧阳小园，易伟华，
申请(专利权)人：江西沃格光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36