【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种闭环压电薄膜泵，其包括压电振子、流量传感器、压电泵基体、电路控制模块以及控制流体运动方向的进液阀与出液阀，所述压电泵基体设有管路以及形成于压电泵基体内的泵腔，所述压电振子、进液阀、出液阀均安装于压电泵基体上，所述流量传感器和压电泵基体集成为一整体结构，所述流量传感器设有一个用以接收流体的微通道及一个信号转换模块，所述微通道在出液阀开启时与泵腔连通，所述流量传感器检测流体的体积并将检测结果转化成电信号后反馈给电路控制模块，所述电路控制模块根据反馈的流量信号和目标流量信号比较后控制压电振子的运动变形量，其特征在于，所述微通道和出液阀之间设有流量滤波器，所述流量滤波器控制流体的压力使流体匀速流入流量传感器中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：潘明强，陈立国，贺文元，孙立宁，王阳俊，刘吉柱，陈涛，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。