有机发光二极管显示器的制造方法及等离子工艺方法技术

公开有机发光二极管显示器的制造方法及等离子体工艺方法。所述有机发光二极管（OLED）显示器的制造方法包括：制造母基板，该母基板包括对于各个像素形成有多个阳极的多个面板以及连接到面板的各个阳极的测试焊盘。该方法进一步包括将母基板加载到等离子体室中，并对母基板的测试焊盘施加等离子体电压，以进行等离子体表面处理工艺。对于各个像素，测试焊盘被施加不同的等离子体电压。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】公开有机发光二极管显示器的制造方法及等离子体工艺方法。所述有机发光二极管（OLED）显示器的制造方法包括：制造母基板，该母基板包括对于各个像素形成有多个阳极的多个面板以及连接到面板的各个阳极的测试焊盘。该方法进一步包括将母基板加载到等离子体室中，并对母基板的测试焊盘施加等离子体电压，以进行等离子体表面处理工艺。对于各个像素，测试焊盘被施加不同的等离子体电压。【专利说明】
本公开的示例性实施例涉及有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法以及在包括多个像素的母基板上执行等离子体工艺的方法。
技术介绍
有机发光二极管显示器包括两个电极和插在两个电极之间的有机发光层。来自一个电极(例如阴极)的电子可以和来自另一电极(例如阳极)的空穴在有机发光层中结合，从而形成激子。由于这种结合，当激子释放能量时就可发光。 有机发光二极管(OLED)显示器的阳极由例如ITO (氧化铟锡)或IZO (氧化铟锌)之类的透明材料形成。在形成阳极之后可以对阳极进行清洁，然后可以用氧(O2)等离子体表面处理工艺进行处理。氧等离子体表面处理工艺降低阳极的功函数，以增加空穴注入量并在阳极移除剩余层，从而提高驱动性能(例如驱动电压)、电压-电流密度曲线、发光效率和寿命。 然而，现有的氧等离子体表面处理工艺并不根据颜色区分像素。等离子体工艺可以在形成有阳极的整个母基板上进行，但是不能对于各种颜色的像素控制阳极的表面特性，例如空穴注入量。结果，可不能控制对于每种颜色的像素优化表面特性。 在此
技术介绍
部分公开的上述信息只是用于增加对所公开主题的背景的理解，因此可能包含并不构成本领域普通技术人员已经知晓的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的示例性实施例提供一种有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法，通过对于红像素、绿像素和蓝像素不同地使用氧等离子体进行表面处理工艺，使得对于各个像素具有优化的驱动性能，以及在包括多个像素的母基板上执行等离子体工艺的方法。 本公开的另外特征将在随后的描述中提出，并从描述中部分地变得明显，或者可以通过实践所公开主题而得到。 本公开的示例性实施例公开了一种有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法。该方法包括形成母基板，该母基板包括多个面板，每个面板形成有多个阳极，每个阳极对应于所述多个像素之一，以及连接到面板的各个阳极的测试焊盘；并对测试焊盘施加等离子体电压，以执行等离子体表面处理工艺。对测试焊盘施加等离子体电压包括对于所述多个像素中的第一像素施加第一等离子体电压和对于所述多个像素中的第二像素施加第二等离子体电压。 本公开的示例性实施例还公开了一种在包括多个像素的母基板上执行等离子体工艺的方法。该方法包括经由母基板的测试焊盘，对和第一颜色相关联的第一像素、和第二颜色相关联的第二像素、和第三颜色相关联的第三像素中的一个施加第一电压，并经由测试焊盘，对第一像素、第二像素和第三像素中的另外一个施加第二电压，第二电压不同于第一电压。 可以理解前述总的说明和后述详细说明是示例性和解释性的，用来对所要求权利的所公开主题提供进一步解释。 【专利附图】【附图说明】 被包括以提供对所公开主题的进一步理解并包含在申请文件中同时构成申请文件一部分的附图示出了所公开主题的示例性实施例，并和说明书一起用来解释所公开主题的原理。 图1是根据本公开示例性实施例的有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法的流程图。 图2是根据本公开示例性实施例的母基板的俯视图。 图3是根据本公开示例性实施例的向母基板施加等离子体电压的状态的视图。 图4是根据本公开示例性实施例的有机发光二极管(OLED)显示器的等效电路。 【具体实施方式】 下面参考附图更充分地描述所公开主题的示例性实施例。然而，所公开主题可以通过多种不同形式实施，不应当被解释为局限于这里提出的示例性实施例。相反，提供示例性实施例的目的在于使得公开充分和完整，并且可以对本领域技术人员表达所公开主题的范围。在图中，为了清楚起见，可能对层和区域的尺寸和相对尺寸进行了放大。图中相似的附图标记代表相似的元件。 可以理解当元件或层被提及为在另一元件或层“上”，或者“连接到”、“联接到”另一元件或层时，它可以是直接在另一元件或层上，或者直接连接或直接联接到另一元件或层，也可以存在中间元件或中间层。相反，当元件或层被提及为“直接”在另一元件或层“上”，或者“直接连接到”、“直接联接到”另一元件或层时，则不存在中间元件或中间层。如这里所使用的，术语“和/或”包括一个或多个相关联的列出项目的任意和所有组合。还应当理解出于本公开的目的，“X、Y和Z中至少一个”可以被解释为只有X、只有Y、只有Y，或者X、Y和Z中两项或更多项的任意组合(例如ΧΥΖ、ΧΥ、ΥΖ、ΧΖ)。 可以理解，尽管这里可以用术语第一、第二、第三等来描述不同的元件、组件、区域、层和/或部分，这些元件、组件、区域、层和/或部分并不受这些术语限制。这些术语仅仅用来区别一个元件、组件、区域、层或部分和另一个元件、组件、区域、层或部分。因此，下面讨论的第一元件、组件、区域、层或部分可以被命名为第二元件、组件、区域、层或部分，而不会背离本专利技术的教导。 这里使用的用辞仅仅用于描述示例性实施例，并不用来限制所公开主题。如这里所使用的，单数形式的“一”和“该”也包括复数形式，除非上下文做了清楚的相反指示。可以进一步理解术语“包括”在本申请文件中使用时表明存在所说的特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但并不排除存在或增加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。 这里将参考作为所公开主题的理想化实施例(和中间结构)的示意性例示的截面例示来描述所公开主题的示例性实施例。如此，可以预期由于例如制造技术和/或公差得到的例示的形状的变化。因此，所公开主题的示例性实施例不应当被解释为限制于这里例示的区域的特定形状，而是应当包括由例如制造得到的形状偏差。 下面将参考附图详细描述所公开主题的示例性实施例。将参考图1、图2和图3描述根据示例性实施例的有机发光二极管(OLED)显示器。 如图1和图2所示，在根据示例性实施例的有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法中，可以制造具有测试焊盘19的母基板I (S100)。 母基板I可包括形成有多个阳极191的多个面板18、连接到面板18的各个阳极191的测试焊盘19以及连接阳极191和测试焊盘19的连接线20。总地来说，多个面板18可以形成在母基板I的中心部分P处，测试焊盘19可以形成在母基板I的边缘部分Q处。然而，应当理解，面板18和测试焊盘19可以形成在母基板I的任何适当的部分中。 面板18在母基板I上被形成为彼此分离，并且在有机发光二极管(OLED)显示器的最终完成步骤中从母基板I分离。为了避免不必要地使图难以理解，在图2中没有示出在使面板18彼此分离中使用的水平和垂直切割线。此外，尽管每个面板18上只示出有三个阳极191，但应当理解，根据面板的分辨率，每个面板18包括数千或数百万的阳极191。 阳极191可以由例如ITO (氧化铟锡)或IZO (氧化铟锌)之类的透明材料形成。在阳极191下可以形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机发光二极管显示器的制造方法，包括：形成母基板，该母基板包括：多个面板，每个面板形成有多个阳极，每个阳极对应于多个像素之一；和连接到所述面板的各个阳极的测试焊盘；和对所述测试焊盘施加等离子体电压，以进行等离子体表面处理工艺，其中对所述测试焊盘施加等离子体电压包括对于所述多个像素中的第一像素施加第一等离子体电压和对于所述多个像素中的第二像素施加第二等离子体电压，并且其中所述第一等离子体电压不同于所述第二等离子体电压。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李宰瑛，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR