一种NH3声表面波气体传感器制造技术

技术编号:10591613 阅读:118 留言:0更新日期:2014-10-29 18:42
一种NH3声表面波气体传感器,包括双层压电衬底、输入叉指换能器、输出叉指换能器、单层敏感薄膜、对称镂空反射栅组成,该声表面波气体传感器结构简单、制作工艺简化、选择性好、灵敏度高、性能稳定、检测质量高、导热性和耐热性好。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种NH3声表面波气体传感器,由双层压电衬底、输入叉指换能器、输出叉指换能器、单层敏感薄膜、对称镂空反射栅组成,其特征在于,所述输入叉指换能器、输出叉指换能器、单层敏感薄膜、对称镂空反射栅固定在双层压电衬底上;输入叉指换能器、输出叉指换能器位于单层敏感薄膜两端呈对称分布;输入叉指换能器、输出叉指换能器和对称镂空反射栅平行排列,对称镂空反射栅位于输入叉指换能器、输出叉指换能器的外端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朱小萍刘传祥
申请(专利权)人:淮南联合大学朱小萍
类型:新型
国别省市:安徽;34

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