一种全自动硅片清洗机制造技术

技术编号:10591361 阅读:101 留言:0更新日期:2014-10-29 18:30
本实用新型专利技术公开了一种全自动硅片清洗机,包括机体,所述的机体上依次线性排布有酸洗槽、漂洗槽和水洗槽,所述的机体上还设有在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返搬运硅片的硅片搬运装置,所述的硅片搬运装置包括有支撑座、连接臂、搬运勾手、和用于承载硅片的花篮,所述的支撑座装于机体上,并可在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动,所述的支撑座上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机和滑动丝杆,所述的连接臂装于支撑座上,并可相对支撑座上下升降,所述的连接臂上连接有用于驱动其上下升降的升降电机和升降丝杆,采用上述结构,本实用新型专利技术提供了一种不仅可有效提高生产效率,而且在搬运过程中还不易损坏硅片的全自动硅片清洗机。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种全自动硅片清洗机,包括机体,所述的机体上依次线性排布有酸洗槽、漂洗槽和水洗槽,所述的机体上还设有在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返搬运硅片的硅片搬运装置,所述的硅片搬运装置包括有支撑座、连接臂、搬运勾手、和用于承载硅片的花篮,所述的支撑座装于机体上,并可在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动,所述的支撑座上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机和滑动丝杆,所述的连接臂装于支撑座上,并可相对支撑座上下升降,所述的连接臂上连接有用于驱动其上下升降的升降电机和升降丝杆,采用上述结构,本技术提供了一种不仅可有效提高生产效率,而且在搬运过程中还不易损坏硅片的全自动硅片清洗机。【专利说明】一种全自动娃片清洗机
本技术涉及一种太阳能硅片制造设备,具体涉及一种全自动硅片清洗机。
技术介绍
在太阳能硅片制造过程中有一道工序是需要对硅片进行清洗,且硅片清洗需依次 经过酸洗槽酸洗、漂洗槽漂洗和水洗槽纯水洗,但目前,在现有技术中人们将硅片从酸洗槽 搬运至漂洗槽、以及将硅片从漂洗槽搬运至水洗槽均由人工手动完成,不仅费时费力,造成 生产效率低下,而且在人工搬运硅片过程中还极易使硅片受到损坏。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供了一种不仅可有效提高生产效率,而且在 搬运过程中还不易损坏硅片的全自动硅片清洗机。 为实现上述目的,本技术提供了一种全自动硅片清洗机,包括机体,所述的机 体上依次线性排布有酸洗槽、漂洗槽和水洗槽,所述的机体上还设有在所述酸洗槽、漂洗槽 和水洗槽之间往返搬运硅片的硅片搬运装置,所述的硅片搬运装置包括有支撑座、连接臂、 搬运勾手、和用于承载硅片的花篮,所述的支撑座装于机体上,并可在所述酸洗槽、漂洗槽 和水洗槽之间往返滑动,所述的支撑座上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机和滑动丝 杆,所述的连接臂装于支撑座上,并可相对支撑座上下升降,所述的连接臂上连接有用于驱 动其上下升降的升降电机和升降丝杆,所述搬运勾手的上端端部对应设有可卡装于所述连 接臂上的C形卡块,且所述C形卡块的开口端两侧平行延伸有两凸块,两凸块之间通过螺栓 锁紧固定,所述搬运勾手的下端端部对应形成倒钩,所述的花篮由用于承载硅片的篮体和 用于提拉的横梁连接构成,所述的篮体上均布有若干个漏水孔,所述的横梁上设有可与所 述搬运勾手上的倒钩形成钩配的凹口。 本技术的有益效果是:采用上述结构,由于所述花篮是通过搬运勾手分体式 连接于连接臂上,且所述连接臂可在升降电机和升降丝杆的作用下相对支撑座上下升降, 因此通过所述上下升降操作,人们可将装有硅片的花篮放置到对应地清洗槽内,或是将清 洗好的硅片从清洗槽内提出,然后由于所述支撑座可在滑动电机和滑动丝杆的作用下在酸 洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动,因此通过所述往返滑动操作,人们可将硅片从酸洗槽 内酸洗完后搬运至漂洗槽内漂洗,或是将硅片从漂洗槽内漂洗完后搬运至水洗槽内完成最 后的水洗。综上所述,采用上述结构,可实现对硅片的全自动清洗操作,不仅可有效提高生 产效率,而且在搬运过程中还不易损坏硅片。另,所述搬运勾手通过C形卡块卡接固定于连 接臂上,不仅连接牢固,而且拆装都更为方便。 本技术可进一步设置为所述的花篮上方还设有喷淋装置,所述的喷淋装置包 括有一个呈田字形设置的水管,所述水管的下表面上均布有若干喷淋头,所述水管的上表 面中心设有与外部进水管连接的接头,所述的连接臂优选为两条,且每条连接臂上均设有 两个搬运勾手,同一条连接臂上的两个搬运勾手之间均设有一连接横杆,每条连接横杆上 均轴向线性排布有至少两个支撑块,每块支撑块的上端面上均设置有一个用于承载所述田 字形水管的卡口。 采用上述结构,在硅片从酸洗槽内酸洗完后搬运至漂洗槽的过程中以及在硅片从 漂洗槽内漂洗完后搬运至水洗槽的过程中,人们都可打开所述喷淋装置,使所述喷淋装置 冲刷掉上一清洗槽残留于硅片上的化学药水,从而可有效避免上一清洗槽内的化学药水经 硅片搬运而流入下一清洗槽内,进而进一步提升硅片的清洗效果。另,所述喷淋装置通过 所述连接横杆和支撑块固装于搬运勾手,不仅使得本技术的整体结构显得更为合理紧 凑,而且拆装也较为方便。 本技术还可进一步设置为所述的机体上还设置有供所述支撑座往返滑动的 导槽。 采用上述结构,通过所述导槽的作用,可使支撑座在机体上的往返滑动能更加顺 畅并更具导向性。 本技术还可进一步设置为所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽的底面上还均设有可 与所述花篮连接的垫块,且所述的垫块上还设置有延伸至槽侧壁的斜面导块。 采用上述结构,通过所述垫块的作用,可有效避免花篮的篮体底面因直接与对应 清洗槽的底面接触而发生吸合,从而有效减小花篮被提起时的阻力,另,通过所述斜面导块 的作用,有助于花篮更加顺畅平稳地放置到对应清洗槽底面的垫块上。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术的结构立体图; 图2为本技术的局部结构立体图; 图3为本技术的局部结构正视图。 【具体实施方式】 如图1、2、3所示给出了一种全自动硅片清洗机,包括机体1,所述的机体1上依次 线性排布有酸洗槽2、漂洗槽3和水洗槽4,所述的机体1上还设有在所述酸洗槽2、漂洗槽 3和水洗槽4之间往返搬运硅片的硅片搬运装置5,所述的硅片搬运装置5包括有支撑座 51、连接臂52、搬运勾手53、和用于承载硅片的花篮54,所述的支撑座51装于机体1上,并 可在所述酸洗槽2、漂洗槽3和水洗槽4之间往返滑动,所述的支撑座51上连接有用于驱 动其往返滑动的滑动电机55和滑动丝杆56,所述的机体1上还设置有供所述支撑座51往 返滑动的导槽11。所述的连接臂52装于支撑座51上,并可相对支撑座51上下升降,所述 的连接臂52上连接有用于驱动其上下升降的升降电机57和升降丝杆58,所述搬运勾手53 的上端端部对应设有可卡装于所述连接臂52上的C形卡块531,且所述C形卡块531的开 口端两侧平行延伸有两凸块532,两凸块532之间通过螺栓533锁紧固定,所述搬运勾手53 的下端端部对应形成倒钩534,所述的花篮54由用于承载硅片的篮体541和用于提拉的横 梁542连接构成,所述的篮体541上均布有若干个漏水孔5411,所述的横梁542上设有可与 所述搬运勾手53上的倒钩534形成钩配的凹口 5421。所述的花篮54上方还设有喷淋装 置6,所述的喷淋装置6包括有一个呈田字形设置的水管61,所述水管61的下表面上均布 有若干喷淋头62,所述水管61的上表面中心设有与外部进水管连接的接头63,所述的连接 臂52优选为两条,且每条连接臂52上均设有两个搬运勾手53,同一条连接臂52上的两个 搬运勾手53之间均设有一连接横杆7,每条连接横杆7上均轴向线性排布有至少两个支撑 块8,每块支撑块8的上端面上均设置有一个用于承载所述田字形水管61的卡口 81。所述 酸洗槽2、漂洗槽3和水洗槽4的底面上还均设有可与所述花篮54连接的垫块9,且所述的 垫块9上还设置有延伸至槽侧壁的斜面导块91。采用上述结构,由于所述花篮54是通过搬 运勾手53分体式连接于连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全自动硅片清洗机,包括机体,所述的机体上依次线性排布有酸洗槽、漂洗槽和水洗槽,其特征在于:所述的机体上还设有在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返搬运硅片的硅片搬运装置,所述的硅片搬运装置包括有支撑座、连接臂、搬运勾手、和用于承载硅片的花篮,所述的支撑座装于机体上,并可在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动,所述的支撑座上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机和滑动丝杆,所述的连接臂装于支撑座上,并可相对支撑座上下升降,所述的连接臂上连接有用于驱动其上下升降的升降电机和升降丝杆,所述搬运勾手的上端端部对应设有可卡装于所述连接臂上的C形卡块,且所述C形卡块的开口端两侧平行延伸有两凸块,两凸块之间通过螺栓锁紧固定,所述搬运勾手的下端端部对应形成倒钩,所述的花篮由用于承载硅片的篮体和用于提拉的横梁连接构成,所述的篮体上均布有若干个漏水孔,所述的横梁上设有可与所述搬运勾手上的倒钩形成钩配的凹口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈德榜
申请(专利权)人:温州海旭科技有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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