监控储液罐内液量的系统及方法技术方案

本发明专利技术提供了一种监控储液罐内液量的系统及方法，包括：设置于储液罐上的传感器，用于实时获取储液罐内的液量数据，并将所述液量数据发送至控制处理器；与所述传感器相连的控制处理器，用于根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号并发送至主机模块，如果否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号并发送至报警模块；与所述控制处理器相连的主机模块，用于在接收到所述第一信号后，执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产；与所述控制处理器相连的报警模块，用于在接收到所述第二信号后，发出补液警报，以此来减少人工成本，避免没有及时补充液体而导致的产品报废等问题。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供了一种，包括：设置于储液罐上的传感器，用于实时获取储液罐内的液量数据，并将所述液量数据发送至控制处理器；与所述传感器相连的控制处理器，用于根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号并发送至主机模块，如果否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号并发送至报警模块；与所述控制处理器相连的主机模块，用于在接收到所述第一信号后，执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产；与所述控制处理器相连的报警模块，用于在接收到所述第二信号后，发出补液警报，以此来减少人工成本，避免没有及时补充液体而导致的产品报废等问题。【专利说明】
本专利技术涉及半导体工艺
，更具体地说，涉及一种监控储液罐内液量的系 统及方法。
技术介绍
目前，涂胶机所需的光阻液或显影机所需的显影液等都是密闭储存在具有一定体 积的储液罐内。在涂胶或显影的过程中，会从相应的储液罐中抽取光阻液或显影液，进行涂 胶或显影的工序。 在涂胶或显影的过程中，并不能直接观看到储液罐内液体的剩余量，而是需要工 作人员先打开储液罐的盖子，然后用手电筒查看储液罐内液体的剩余量，这种查看储液罐 内剩余液量的方式相当麻烦。并且，当液体的用量过大时，需要专人定期查看储液罐内的剩 余液量，定期向储液罐中补充液体，但是，这样不但会导致人力成本过高，而且在人工定期 查看剩余液量时，难免会出现忘记查看或没有查看到实际的剩余液量，而造成没有及时补 充液体，导致储液罐内的液体消耗殆尽，使得生产的产品报废等问题。 【专利技术内容】 有鉴于此，本专利技术提供了一种，以解决现有技术 中通过人工监控储液罐内液体剩余量时，出现的人工成本高，以及工作人员忘记查看或者 没有查看到实际的剩余液量，而造成没有及时补充液体导致产品报废等问题。 为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案： -种监控储液罐内液量的系统，所述储液罐与特定的设备相连，以向所述设备内 提供液体，包括： 设置于储液罐上的传感器，用于实时获取储液罐内的液量数据，并将所述液量数 据发送至控制处理器； 与所述传感器相连的控制处理器，用于根据所述液量数据判断所述储液罐内的液 量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号并发送至主机模块，如果否，判断所述液 量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号并发送至报警模块； 与所述控制处理器相连的主机模块，用于在接收到所述第一信号后，执行相应地 动作，使应用所述液体的设备停止生产； 与所述控制处理器相连的报警模块，用于在接收到所述第二信号后，发出补液警 报。 优选的，所述传感器为设置于所述储液罐的外侧底部的重力传感器。 优选的，所述控制处理器包括： 处理模块，用于根据接收到的所述液量数据获得相应的显示数据。 优选的，还包括： 与所述控制处理器相连的显示输入模块，用于显示所述控制处理器发送的显示数 据或输入预设参数，所述预设参数包括第一预设液量和第二预设液量。 优选的，所述控制处理器还包括： 存储模块，用于存储所述传感器发送的液量数据以及所述显示输入模块输入的预 设参数。 一种监控储液罐内液量的方法，包括： 实时获取储液罐内的液量数据； 根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生 成第一信号，并根据所述第一信号执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产，如果 否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号，并根据所述第二信号发 出补液警报。 优选的，还包括： 输入预设参数，所述预设参数包括第一预设液量和第二预设液量。 优选的，所述实时获取储液罐内的液量数据之后，还包括： 根据所述液量数据获得相应的显示数据，并显示所述显示数据。 与现有技术相比，本专利技术所提供的技术方案具有以下优点： 本专利技术所提供的，通过传感器实时获取储液罐内 的液量数据，通过控制处理器判断所述液量是否低于第一预设液量和第二预设液量，并根 据判断结果控制主机模块或报警模块分别执行相应的动作，使应用所述液体的设备停止生 产，或者发出补液警报，提示工作人员向储液罐内补充液体，从而不需要工作人员定期查看 储液罐内的液量，减少了人工成本，也避免了人工定期查看液量时，出现忘记查看或没有查 看到实际的剩余液量，而造成的没有及时补充液体导致产品报废等问题。 【专利附图】【附图说明】 为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本 专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以 根据这些附图获得其他的附图。 图1为本专利技术的一个实施例提供的监控储液罐内液量的系统的结构示意图； 图2为本专利技术的另一个实施例提供的监控储液罐内液量的方法流程图。 【具体实施方式】 正如
技术介绍
所述，现有技术中都是通过人工定期查看储液罐内的剩余液量，来 定期向储液罐中补充液体，这样不但会导致人力成本过高，而且在人工定期查看剩余液量 时，难免会出现忘记查看或没有查看到实际的剩余液量，而造成的没有及时补充液体，导致 储液罐内的液体消耗殆尽，使得生产的产品报废等问题。 基于此，本专利技术提供了一种监控储液罐内液量的系统，以克服现有技术存在的上 述问题，所述储液罐与特定的设备相连，以向所述设备内提供液体，包括： 设置于储液罐上的传感器，用于实时获取储液罐内的液量数据，并将所述液量数 据发送至控制处理器；与所述传感器相连的控制处理器，用于根据所述液量数据判断所述 储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号并发送至主机模块，如果 否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号并发送至报警模块；与所 述控制处理器相连的主机模块，用于在接收到所述第一信号后，执行相应地动作，使应用所 述液体的设备停止生产；与所述控制处理器相连的报警模块，用于在接收到所述第二信号 后，发出补液警报。 本专利技术还提供了一种监控储液罐内液量的方法，包括： 实时获取储液罐内的液量数据；根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否 小于第一预设液量，如果是，生成第一信号，并根据所述第一信号执行相应地动作，使应用 所述液体的设备停止生产，如果否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第 二信号，并根据所述第二信号发出补液警报。 本专利技术所提供的，通过传感器实时获取储液罐内 的液量数据，通过控制处理器判断所述液量是否低于第一预设液量和第二预设液量，并根 据判断结果控制主机模块或报警模块分别执行相应的动作，使应用所述液体的设备停止生 产，或者发出补液警报，提示工作人员向储液罐内补充液体，从而不需要工作人员定期查看 储液罐内的液量，减少了人工成本，也避免了人工定期查看液量时，出现忘记查看或没有查 看到实际的剩余液量，而造成的没有及时补充液体导致产品报废等问题。 以上是本专利技术的核心思想，为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易 懂，下面结合附图对本专利技术的【具体实施方式】做详本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种监控储液罐内液量的系统，所述储液罐与特定的设备相连，以向所述设备内提供液体，其特征在于，包括：设置于储液罐上的传感器，用于实时获取储液罐内的液量数据，并将所述液量数据发送至控制处理器；与所述传感器相连的控制处理器，用于根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号并发送至主机模块，如果否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号并发送至报警模块；与所述控制处理器相连的主机模块，用于在接收到所述第一信号后，执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产；与所述控制处理器相连的报警模块，用于在接收到所述第二信号后，发出补液警报。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：向舟翊，徐立辉，彭逆舟，李朝阳，
申请(专利权)人：四川飞阳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51