本实用新型专利技术公开了一种用于太阳能电池扩散机台的新型石英管，所述石英管尾端包括用于喷淋工艺的喷淋小管、第二小管、热电偶固定尾管和用于排放尾气的第四小管，所述第二小管用于通入电子掺杂剂。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种用于太阳能电池扩散机台的新型石英管，所述石英管尾端包括用于喷淋工艺的喷淋小管、第二小管、热电偶固定尾管和用于排放尾气的第四小管，所述第二小管用于通入电子掺杂剂。【专利说明】-种用于太阳能电池扩散机台的新型石英管
本技术涉及一种石英管，具体涉及一种用于太阳能电池扩散机台的新型石英 管。
技术介绍
在太阳能电池片的生产过程中，扩散为重要工序，扩散后的硅片质量直接影响着 电池片的主要性能，扩散工艺流程中，需要将硅片连通石英托架一起放入石英管中，为了使 扩散更稳定，PN结更均匀分布，必须保证炉管内压力稳定和气密性良好，首先用负压检测来 检测炉管的气密性是否符合要求，若符合，则进行下一步，若不符合，则工艺终止，经检查和 调节气密性后方可再次运行工艺。然而，在清洗石英管时将石英管拆下前，经常因为管尾处 小管空间较小，拆除时稍不注意就会导致其断裂，而使石英管失去使用价值。 石英管使用频繁且价格昂贵，在正常生产过程中，在石英管尾部，用于喷淋工艺的 小管在炉内和炉外高低温分界处，石英管喷淋小管处经常被腐蚀，腐蚀严重后容易出现小 孔，导致炉管气密性不达标，只能更换新的石英管并将已腐蚀的石英管返修，但石英管返修 仅将小孔堵住，维修虽然简单，但需要专业设备来进行，所以返厂维修费用较高，返修后的 石英管再次投入使用时，也会因为同样的问题导致无法使用，被腐蚀后再次返修。 故，需要一种新的技术方案以解决上述问题。
技术实现思路
技术目的：针对上述现有技术存在的问题和不足，本技术的目的是提供 一种用于太阳能电池扩散机台的新型石英管，可有效避免石英管的喷淋尾管被腐蚀的情 况，延长石英管的使用寿命。 技术方案：为实现上述技术目的，本技术采用的技术方案为一种用于太 阳能电池扩散机台的新型石英管，所述石英管尾端包括用于喷淋工艺的喷淋小管、第二小 管、热电偶固定尾管和用于排放尾气的第四小管，所述第二小管用于通入电子掺杂剂。 作为本技术的进一步优化，所述喷淋小管用与之直径相适配的石英圆块替 代。 有益效果：本技术与现有技术相比，本技术通过切除喷淋小管用适配 的石英块替代，有以下优点： 1、能有效避免因为喷淋小管被腐蚀而导致石英管无法使用的现象； 2、能有效避免由于喷淋小管的球碗密封不好而导致工艺无法正常运行的现象，有 效降低扩散机台的故障发生率； 3、减少石英球碗的使用，实现降低成本的目的； 4、切除喷淋小管后的石英管，在拆卸过程中具有较大的安全距离，大大降低了拆 除时因人为因素导致其他尾管被碰断的几率。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术的结构示意图； 图2为实施例中切除喷淋小管后的石英管尾部结构示意图。 【具体实施方式】 下面结合附图，进一步阐明本技术，应理解这些实施例仅用于说明本实用新 型而不用于限制本技术的范围，在阅读了本技术之后，本领域技术人员对本实用 新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。 如图1所示，石英管的尾端包括4根尾管，喷淋小管1，用于喷淋工艺，电子掺杂 剂用气体带入喷淋小管1内且均匀喷洒在管内，当不使用喷淋工艺，用球碗将此小管堵住； 第二小管2的作用为工艺进行时向管内通入电子掺杂剂，同时用大量氮气将电子掺杂剂推 进，保证电子掺杂剂在炉内分布均匀以达到均匀的扩散效果；邀虫偶固定尾管3,热偶用于 检测炉内实时温度，同时引出一根细管，用于检测炉内气体压力，使用压差传感器控制补充 气体的大小，保证炉内压力稳定；第四小管4为尾气排放管固定尾管，用排风将炉内废气抽 走，当炉内压力降低时，由第四小管4通入补充气体。 由于光伏电池现状，极少用到喷淋工艺，在非喷淋工艺中，喷淋小管都会用石英球 碗将管尾处堵住，而在喷淋工艺中，喷淋小管容易被腐蚀而造成石英管无法使用，故喷淋小 管为多余装置。 实施例： 由于石英管的硬度很高，先用专业切割工具，如树脂金刚石超薄切割刀，将喷淋小 管1沿着石英管管壁切除；切除后，石英管尾部外壁上会留下外径为28mm的圆孔，选择厚度 3mm石英块，切割好直径为28±0. 5mm的圆块，由于石英管的熔点约1730°C，故选择氢氧焰 焊接机将此石英圆块焊接在切除喷淋尾管后的圆孔处；为避免焊接处凹凸不平将石英管压 碎，必须将焊接处打磨平整；为防止石英管在长期使用后由于受力不均或受到不同程度腐 蚀出现小孔，需要消除焊接处厚薄不均的现象；焊接完成后，测试焊接处的密封性，必须保 证焊接处无丝毫漏气，确认无漏气后才能再次投入使用。 如图2所示，切除后的石英管仅保留三根尾管。 本技术的新型石英管减少了石英球碗的使用，同时不会造成高低温分界点， 避免尾管被腐蚀，且由于喷淋小管的切除，在拆除石英管时，增加了很大的安全距离，大大 减少石英管损坏的几率，从而提高石英管的使用效率，延长其使用寿命。【权利要求】1. 一种用于太阳能电池扩散机台的新型石英管，其特征在于：所述石英管尾端包括用 于喷淋工艺的喷淋小管（1)、第二小管（2)、热电偶固定尾管（3)和用于排放尾气的第四小 管（4)，所述第二小管（2)用于通入电子掺杂剂。2. 根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池扩散机台的新型石英管，其特征在于： 所述喷淋小管（1)用与之直径相适配的石英圆块替代。【文档编号】C30B31/16GK203904506SQ201420286667【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年5月30日 优先权日:2014年5月30日 【专利技术者】张衡 申请人:合肥海润光伏科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于太阳能电池扩散机台的新型石英管，其特征在于：所述石英管尾端包括用于喷淋工艺的喷淋小管（1）、第二小管（2）、热电偶固定尾管（3）和用于排放尾气的第四小管（4），所述第二小管（2）用于通入电子掺杂剂。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张衡，
申请(专利权)人：合肥海润光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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