液状体的排出方法、滤色器以及有机EL装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种液状体的排出方法、滤色器以及有机EL装置的制造方法，其减少向多个被排出区域排出的液状体的偏倚，使在区域内配置的薄膜的厚度的不均匀减轻。该液状体的排出方法包括：排出工序，其边使具有包括多个喷嘴52的喷嘴列52a的液滴排出头50与具备多个大致矩形形状的被排出区域103的基板B在与液滴排出头50的配置方向大致正交的主扫描方向上相对移动，边从喷嘴52向被排出区域103排出液状体；其中，被排出区域103，包括排列方向大致正交且面积不同的第1被排出区域103r’、103g’、103b’和第2被排出区域103r、103g、103b；在前述排出工序中，将面积大的第1被排出区域103r’、103g’、103b’的长边方向配置为沿着主扫描方向。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种液状体的排出方法、滤色器以及有机EL装置的制造方法，其减少向多个被排出区域排出的液状体的偏倚，使在区域内配置的薄膜的厚度的不均匀减轻。该液状体的排出方法包括：排出工序，其边使具有包括多个喷嘴52的喷嘴列52a的液滴排出头50与具备多个大致矩形形状的被排出区域103的基板B在与液滴排出头50的配置方向大致正交的主扫描方向上相对移动，边从喷嘴52向被排出区域103排出液状体；其中，被排出区域103，包括排列方向大致正交且面积不同的第1被排出区域103r’、103g’、103b’和第2被排出区域103r、103g、103b；在前述排出工序中，将面积大的第1被排出区域103r’、103g’、103b’的长边方向配置为沿着主扫描方向。【专利说明】液状体的排出方法、滤色器以及有机EL装置的制造方法 本申请是于2009年10月14日提交的申请号为200910204744. 4、名称为"液状体 的排出方法、滤色器以及有机EL装置的制造方法"的专利申请的分案申请。
本专利技术涉及从喷嘴排出液状体的液状体的排出方法、滤色器的制造方法以及有机 EL装置的制造方法。
技术介绍
例如，在液晶显示装置等的滤色器、有机EL装置的成膜等领域，将包含功能性材 料的液状体排出的液状体的排出方法被应用。在该液状体的排出方法中，应用了液滴排出 装置。液滴排出装置，具有称为液滴排出头的液滴排出机构。在该液滴排出头中，规则性地 形成有多个喷嘴。在滤色器、有机EL装置等的制造中，从这些喷嘴，将包含功能性材料的液 状体在基板等上排出为液滴，从而形成包含功能性材料的薄膜。 近年来，显示装置所应用到的领域在扩大，从而各种尺寸的面板被提供出来。此 夕卜，也存在显示装置的高画质化的要求，为了响应之，必须实现高精细、高密度的滤色器、有 机EL装置的成膜。因此，对于各种尺寸的基板，高精细、高密度地排出液状体变得重要。此 夕卜，显示装置的面板的需要在增加，为了使面板的生产率提高，还存在希望从一块大型基板 制造出多块面板的要求。在此情况下，为了追求获取数的效率，或者，为了从一块基板生产 出不同尺寸的面板，各种布局被研究出来。根据布局，像素区域的配置，有时会90度不同， 其中像素区域是被排出液状体的最小单位的区域。 作为在工作件（基板）上从液滴排出头将液状体排出为液滴从而进行图案的描绘 的液滴排出装置以及液滴排出方法，已知有这样的液滴排出装置以及液滴排出方法：使工 作件在第1方向以及与第1方向大致正交的第2方向上移动，从在多个托架上配设的液滴 排出头的喷嘴，排出液状体，从而进行图案的描绘，其中多个托架沿着第2方向被预先确定 了位置（例如，参照专利文献1)。 特开2006-187758号公报 前述的液滴排出装置，从被预先确定了位置的喷嘴将液状体排出在基板的预定的 区域。而且，喷嘴以固定的间距构成为列状，像素区域形成为大致矩形形状，像素区域是被 排出液状体的最小单位的区域。因此，还为了使喷嘴的排出偏差分散，优选地，使像素区域 的长边与喷嘴列平行地配置，以便使尽可能多的喷嘴与像素区域相对。但是，若在基板上配 置方向不同的像素区域混合存在地构成，则会存在相对于喷嘴列，短边平行地配置的像素 区域。在此情况下，能够在区域内排出液状体的喷嘴受到限制，从而有可能使液状体被排出 在区域内的偏倚的位置，在区域内发生液状体的排出量的偏倚。若发生液状体的排出量的 偏倚，则有可能会发生在区域内形成的薄膜的厚度的不均匀。在液晶显示装置等的滤色器、 有机EL装置的功能膜等薄膜中，若发生膜厚度的不均匀，则会存在所制造的显示装置的图 像品质将会下降的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题的至少一部分而提出的，其可以实现为以下的方式或 者应用例。 (应用例1) 一种液状体的排出方法，其特征在于，向在第1面板排列的大致矩形形 状的第1被排出区域和在第2面板排列的面积比前述第1被排出区域小的大致矩形形状的 第2被排出区域排出液状体，包括：以使前述第1被排出区域的长边方向和前述第2被排出 区域的长边方向大致正交的方式，并且，以前述第1面板和前述第2面板不在前述第2被排 出区域的长边方向并列的方式，配设前述第1面板和前述第2面板；排出工序，其边使排出 前述液状体的多个喷嘴在前述第2被排出区域的长边方向配设为列状而成的喷嘴列以及 前述第1面板和前述第2面板在前述第1被排出区域的长边方向上相对移动，边从前述喷 嘴排出前述液状体；从前述喷嘴排出且配置在前述第1被排出区域中的前述液状体的、前 述第1被排出区域的短边方向的配置间隔，以前述喷嘴列相对于前述短边方向具有角度的 方式配置。 如果采用该方法，则能够将具有喷嘴列的液滴排出头的配置方向，设定为与面积 大的第1被排出区域的大致矩形形状的短边方向以及面积小的第2被排出区域的大致矩形 形状的长边方向相同的方向。也就是说，能够在面积大的第1被排出区域其大致矩形形状 的短边方向上，在面积小的第2被排出区域其大致矩形形状的长边方向上，配置喷嘴。因 此，即使面积不同的第1被排出区域以及第2被排出区域混合存在于同一基板内，也能够增 多能够在各个被排出区域内排出液状体的喷嘴的数量。因而，能够减少使液状体被排出在 被排出区域内的偏倚的位置、发生液状体的排出量的偏倚的情况。其结果，能够使在各个被 排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。因而，能够制造品质稳定的至少2种薄膜，能 够有助于生广率的提商。 (应用例2)上述的液状体的排出方法，在前述排出工序中，至少大于等于2个的前 述喷嘴与前述第1被排出区域的短边方向的区域内相对。 如果采用该方法，则能够对于第1被排出区域，使多个喷嘴与之相对并排出液状 体。因此，即使存在喷嘴的排出特性的偏差，也能够通过使用多个喷嘴，使排出特性的偏差 分散。其结果，能够使在被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。 (应用例3)上述的液状体的排出方法，从前述喷嘴排出且配置在前述第1被排出 区域中的前述液滴的、前述第1被排出区域的短边方向的配置间隔，可通过将前述喷嘴列 配置为相对于前述短边方向具有角度而进行调整。 如果采用该方法，则通过将液滴排出头的喷嘴列配置为相对于第1被排出区域的 短边方向具有角度，能够使配置在第1被排出区域的短边方向上的液滴的配置间隔，实质 上变窄。也就是说，能够对于第1被排出区域，使更多的喷嘴与之相对并排出液状体。因此， 能够减少使液状体被排出在被排出区域内的偏倚的位置、发生液状体的排出量的偏倚的情 况。其结果，能够使在被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。 (应用例4)上述的液状体的排出方法，前述排出工序，在前述液滴排出头与前述 基板的前述主扫描方向的多次相对移动期间，使前述液滴排出头与前述基板在与前述主扫 描方向大致正交的副扫描方向上相对移动。 如果采用该方法，则在排出工序中，能够边使液滴排出头与基板在与主扫描方向 大致正交的副扫描方向上相对移动、即进行改行工作，边从喷嘴向被排出区域排出液状体。 因此，能够实质上增多例如能够配置在第1被排出区域的短边方向上的液滴。因此，能够减 少使液状体被排出在被排出区本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液状体的排出方法，其特征在于，向在第1面板排列的大致矩形形状的第1被排出区域和在第2面板排列的面积比前述第1被排出区域小的大致矩形形状的第2被排出区域排出液状体，包括：以使前述第1被排出区域的长边方向和前述第2被排出区域的长边方向大致正交的方式，并且，以前述第1面板和前述第2面板不在前述第2被排出区域的长边方向并列的方式，配设前述第1面板和前述第2面板；排出工序，其边使排出前述液状体的多个喷嘴在前述第2被排出区域的长边方向配设为列状而成的喷嘴列以及前述第1面板和前述第2面板在前述第1被排出区域的长边方向上相对移动，边从前述喷嘴排出前述液状体；从前述喷嘴排出且配置在前述第1被排出区域中的前述液状体的、前述第1被排出区域的短边方向的配置间隔，以前述喷嘴列相对于前述短边方向具有角度的方式配置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：篠原亨，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP