一种MEMS光纤传声器制造技术

本发明专利技术涉及一种MEMS光纤传声器，包括外壳、PCB板、MEMS振膜和光纤，外壳的两侧与PCB板的底面粘合，PCB板上设有止推片，在止推片上设有凹形振膜座，MEMS振膜置于振膜座的内凹处，光纤依次贯穿振膜座、止推片和PCB板后引出，且另一端与MEMS振膜之间留有一定空隙，外壳的顶面且在光纤上方开设有进声孔，PCB板上设有光电探测器和光电二极管。利用光纤将声音信号先转换成光信号，再转换成电信号，使得抗干扰能力强，而且MEMS振膜由聚芳酯复合材料制成，并在振膜环状边界处用激光打孔，使其综合性能较传统材料制成的振膜性能优异，在机场、水下听音器、激光远距离、核磁共振等重要领域得到广泛应用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种MEMS光纤传声器，其特征在于，包括外壳、PCB板、MEMS振膜和光纤，所述外壳的两侧与PCB板的底面粘合，PCB板上设有用于防止光纤窜动的止推片，在止推片上设有用于设置MEMS振膜的凹形振膜座，所述MEMS振膜置于振膜座的内凹处，所述光纤依次贯穿振膜座、止推片和PCB板后引出，且另一端与MEMS振膜之间留有一定空隙，所述外壳的顶面且在光纤上方开设有进声孔，所述PCB板上设有光电探测器和光电二极管；其中，所述MEMS振膜由聚芳酯复合材料制成，并在振膜环状边界处用激光打孔，所述聚芳酯复合材料由以下重量份数成分组成：聚芳酯：60‑80份，防弹丝：3‑15份，增塑剂：3‑15份，增强填料：10‑15份，加工助剂：1‑5份。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：施存炬，张建国，
申请(专利权)人：宁波兴隆电子有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33