离子真空泵制造技术

本发明专利技术公开一种离子真空泵、涉及高真空除气。它是利用电子发射磁环将抽入石英玻璃管形容器内的气体部分电离并在旋转线圈所产生的旋转磁场作用下高速旋转使气体离子、气体分子动能增加在前级真空泵的共同作用下将被抽气体连续排入大气。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开一种离子真空泵、涉及高真空除气。它是利用电子发射磁环将抽入石英玻璃管形容器内的气体部分电离并在旋转线圈所产生的旋转磁场作用下高速旋转使气体离子、气体分子动能增加在前级真空泵的共同作用下将被抽气体连续排入大气。【专利说明】
本专利技术涉及一种等离子真空泵，适用与前级真空泵配合进行高真空除气。 离子真空泵
技术介绍
利用离子气体在磁场中运动。
技术实现思路
本专利技术提供一种离子真空泵，它是将电子发射磁环、旋转线圈套装在一只石英玻 璃管形容器的外壁，在石英玻璃管形容器两头焊接有进排气管；进气管用于与被抽容器连 接，排气管用于与前级真空泵连接；利用电子发射磁环将被抽气体部分电离并使离子气体 在旋转磁场中高速旋转，由于气体的粘滞作用离子气体带动未能电离的气体分子一起高速 旋转形成涡流产生中心真空区进行除气。 本专利技术是由如下技术方案实现的：一种离子真空泵、包括石英玻璃管形容器、套装 在石英玻璃管上的电子发射环、电磁线圈、为电子发射磁环、电磁线圈供电的电路；其特征 在于：所述的的进气管穿入石英玻璃管形容器中心并向外延伸，排气管焊接在石英玻璃管 形容器另外一头的径向面；所述的电子发射磁环上缠绕有线圈；所述的电磁线圈由多个绕 组组成，多个绕组分别套装在一只内凸极圆形磁环内的多个均匀分布的凸极上；所述的前 级真空泵用于为其提供适合的工作气体压力。 本专利技术的积极效果 1.利用等离子气体在旋转磁场中高速旋转没有机械运动部件，没有振动、能耗 低； 2.无须润滑油故没有油气污染； 3.耐大气冲击、压缩比高、初抽压力高约2000Pa 4.被抽气体在离子态温度升高利于除气，真空度高理论上能达到10 - 12Pa; 5.结构简单、成本低，可以实现微型化、大型化。 【专利附图】【附图说明】 下面结合附图对本专利技术进一步详细说明。 图1为本专利技术的结构示意图； 图2为图1的A-A剖左视图； 图3为图1的B-B剖右视图； 图4为本专利技术的排气工艺流程图 图中：1、石英玻璃管形容器，1一1、进气管，1一2、排气管，2、电子发射磁环，2- 1、线圈，3、电磁线圈，3 -1、内凸极圆形磁环，4、电路，5、前级真空泵。 具体的实施方式 如图1、2、3、所示：一种离子真空泵，包括石英玻璃管形容器1、进气管，1一 1、排气 管，1一2、套装在石英玻璃管形容器1上的电子发射磁环2、绕在发射磁环2上的线圈2- 1、电磁线圈3、为线圈2-1、电磁线圈3供电的电路4 ;其特征在于：所述的的进气管1-1 穿入石英玻璃管形容器1中心并向外延伸，排气管1一 2焊接在石英玻璃管形容器1另外一 头的径向面；所述的电子发射磁环2上缠绕有线圈2- 1 ;所述的电磁线圈3由多个绕组组 成，多个绕组分别套装在一只内凸极圆形磁环3- 1内的多个均匀分布的凸极上，多个绕组 经顺序连接构成能够产生旋转磁场的电磁线圈。 如图4所示：本专利技术利用电子发射磁环2将抽入石英玻璃管形容器1内的气体部 分电离并在电磁线圈3所产生的旋转磁场作用下高速旋转使气体离子、气体分子动能增加 在前级真空泵5的共同作用下将被抽气体连续排入大气。【权利要求】1. 一种离子真空泵，包括石英玻璃管形容器（1)、进气管（1一 1)、排气管（1一2)、套装 在石英玻璃管形容器（1)上的电子发射磁环（2)、电磁线圈（3)、为电子发射磁环（2)、电磁 线圈（3)供电的电路（4)。2. 根据权利要求1所述的离子真空泵，其特征在于：所述的的进气管1一 1穿入石英玻 璃管形容器1中心并向外延伸，排气管1一2焊接在石英玻璃管形容器1另外一头的径向 面；所述的电子发射磁环2上缠绕有线圈2- 1 ;所述的电磁线圈3由多个绕组组成，多个绕 组分别套装在一只内凸极圆形磁环3- 1内的多个均匀分布的凸极上。【文档编号】H01J41/12GK104112641SQ201310133346【公开日】2014年10月22日 申请日期:2013年4月16日 优先权日:2013年4月16日 【专利技术者】徐建宁 申请人:徐建宁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子真空泵，包括石英玻璃管形容器（1）、进气管（1—1）、排气管（1—2）、套装在石英玻璃管形容器（1）上的电子发射磁环（2）、电磁线圈（3）、为电子发射磁环（2）、电磁线圈（3）供电的电路（4）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐建宁，
申请(专利权)人：徐建宁，
类型：发明
国别省市：江苏;32