使用扫描仪光源的质量分析方法和装置制造方法及图纸

技术编号:10566496 阅读:146 留言:0更新日期:2014-10-22 17:25
本发明专利技术涉及一种使用扫描仪光源的质量分析方法和装置,更具体地,涉及一种用于分析通过扫描仪光源电离的样本的质量的测量仪。根据本发明专利技术的质量分析装置包括:激光部分,其发射激光束;扫描仪模块,其执行驱动以便从所述激光部分发射的激光束照射预定区域;样本保持器,其接收来自扫描仪模块的激光并保持样本;第二高压电源,其向样本保持器提供电压;第一离子光学系统,其设置在距样本保持器预定距离的位置,并且形成电压以加速由样本保持器保持的电离的样本;以及第一高压电源,其向第一离子光学系统提供电压。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种质量分析装置,该装置包括:激光单元,其发射激光束;扫描仪模块,其驱动从所述激光单元发射的所述激光束,以便照射预定区域;样本保持器,其保持样本并且接收来自所述扫描仪模块的所述激光束;第二高压电源,其向所述样本保持器提供电压;第一离子光学系统,其设置在距所述样本保持器预定距离的位置,并且形成用于加速由所述样本保持器保持的电离的样本的电压;以及第一高压电源,其向所述第一离子光学系统提供电压。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:李珩满朴淳燮
申请(专利权)人:电子部品研究院
类型:发明
国别省市:韩国;KR

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1