本实用新型专利技术提供一种直接充装MO源的装置，包括MO源储罐和MO源钢瓶，所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管，所述MO源储罐设置有出料口，所述MO源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上，所述MO源钢瓶内部设置有液位探头，所述液位探头通过PLC控制器连接在MOCVD信号接收器上，所述PLC控制器与三通接头电连接，通过液位探头和MOCVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。无需将MO源钢瓶拆卸更换，通过三通接头将MO源钢瓶和MO源储罐连接在一起，并通过惰性气体将MO源储罐中的MO源带入MO源钢管中，解决了MO源充装困难的问题。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种直接充装MO源的装置，包括MO源储罐和MO源钢瓶，所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管，所述MO源储罐设置有出料口，所述MO源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上，所述MO源钢瓶内部设置有液位探头，所述液位探头通过PLC控制器连接在MOCVD信号接收器上，所述PLC控制器与三通接头电连接，通过液位探头和MOCVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。无需将MO源钢瓶拆卸更换，通过三通接头将MO源钢瓶和MO源储罐连接在一起，并通过惰性气体将MO源储罐中的MO源带入MO源钢管中，解决了MO源充装困难的问题。【专利说明】直接充装MO源的装置
本技术涉及一种充装装置，尤其一种可直接对M0源进行充装工作的装置。
M0源在M0CVD设备中使用非常特殊，物料在使用时需要保持恒温（±0. 1 °C )，恒压 (± ltorr)，稳定气体流量（± lsccm)。M0源存储在钢瓶(一般称为M0源钢瓶冲，惰性气体 (一般用氢气或者氮气）通过深入钢瓶内部的管道进入M0源钢瓶中，经过M0源时产生鼓泡 效应，M0源在鼓泡过程中大量蒸发，形成M0源的饱和蒸汽与惰性气体混合输送出来。而目 前在对于M0源进行充装的领域内，并没有一种较为有效的手段在不拆卸M0源钢瓶的情况 下对其进行充装，而拆卸M0源钢瓶进行更换耗费时间，工作效率低下。因此，解决M0源充 装困难的问题就显得尤为重要了。
技术实现思路
本技术的目的是提供了一种可直接对M0源进行充装工作的装置，无需将M0 源钢瓶拆卸更换，通过三通接头将M0源钢瓶和M0源储罐连接在一起，并通过惰性气体将M0 源储罐中的M0源带入M0源钢管中，解决了 M0源充装困难的问题。 为了解决上述问题，本技术提供一种直接充装M0源的装置，包括M0源储罐和 M0源钢瓶，所述M0源钢瓶上设置有进气管和出气管，所述M0源储罐设置有出料口，所述M0 源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上，所述M0源钢瓶内部设置有液位探头，所述 液位探头通过PLC控制器连接在M0CVD信号接收器上，所述PLC控制器与三通接头电连接， 通过液位探头和M0CVD信号接收器探测到的信号对三通接头进行控制。 进一步改进在于：所述M0源储罐的数量为两个，一个使用，另一个备用，所述两个 M0源储罐的出料口同时连接在三通接头上，所述M0源储罐使用惰性气体进行充装载体。 进一步改进在于：所述两个M0源储罐为一组，每组M0源储罐可充装三个M0源钢 瓶，所述每个M0源钢瓶放置在恒温水浴槽中。 进一步改进在于：所述M0源储罐内部同样设置有液位探头，所述M0源储罐上设置 有警报灯，所述液位探头电连接在警报灯上。 在M0源钢瓶上安装1个液位探头。设置1个高位报警点和1个低位报警点。高 位报警点用于控制充装。低于低位报警点时提醒用户进行设备检查。 液位探头需要满足：探头与M0源接触部分均是316L材质不锈钢，探头接口是1/2" VCR接口，信号响应及时（< ls)，液位测量精度高(< 2mm)。 在不改变现有M0源钢瓶结构时，在M0源钢瓶的进出口处增加三通管道接头和阀 门，通过1/4" VCR接头与M0源钢瓶相连。 M0源储槽与M0CVD设备上M0源钢瓶通过管道连接，管道上采用气动隔膜阀，并通 过PLC控制器进行控制，根据设备使用状态，实时自动补充M0源。 本技术的有益效果是：通过液位探头对M0源钢瓶中的M0源量进行测量，并在 MO源不足时通过PLC控制器对三通接头进行控制，使MO源储罐中的MO源通过惰性气体带 入M0源钢瓶中，解决了 M0源钢瓶无法充装，必须拆卸更换的问题，提高了工作效率。 【专利附图】【附图说明】 图1是本技术的示意图。 其中：1-M0源储罐，2-M0源钢瓶，3-进气管，4-出气管，5-三通接头，6-液位探头， 7-PLC控制器，8-M0CVD信号接收器，9-出料口，10-恒温水浴槽，11-警报灯。 【具体实施方式】 为了加深对本技术的理解，下面将结合实施例对本技术作进一步详述， 该实施例仅用于解释本技术，并不构成对本技术保护范围的限定。 如图1所示，本实施例提供了一种直接充装M0源的装置，包括M0源储罐1和M0 源钢瓶2,所述M0源钢瓶2上设置有进气管3和出气管4,所述M0源储罐1设置有出料口 9,所述M0源储罐1的出料口 9通过三通接头5连接在进气管3上，所述M0源钢瓶2内部 设置有液位探头6,所述液位探头6通过PLC控制器7连接在M0CVD信号接收器8上，所述 PLC控制器7与三通接头5电连接，通过液位探头6和M0CVD信号接收器8探测到的信号对 三通接头5进行控制。所述M0源储罐1的数量为两个，一个使用，另一个备用，所述两个M0 源储罐1的出料口 9同时连接在三通接头5上，所述M0源储罐1使用惰性气体进行充装载 体。所述两个M0源储罐为1 一组，每组M0源储罐1可充装三个M0源钢瓶2,所述每个M0 源钢瓶2放置在恒温水浴槽10中。所述M0源储罐1内部同样设置有液位探头6,所述M0 源储罐1上设置有警报灯11，所述液位探头6电连接在警报灯11上。通过液位探头6对 M0源钢瓶2中的M0源量进行测量，并在M0源不足时通过PLC控制器7对三通接头5进行 控制，使M0源储罐1中的M0源通过惰性气体带入M0源钢瓶2中，解决了 M0源钢瓶无法充 装，必须拆卸更换的问题，提高了工作效率。【权利要求】1. 一种直接充装MO源的装置，其特征在于：包括MO源储罐（1)和MO源钢瓶（2)，所述 M0源钢瓶（2)上设置有进气管（3)和出气管（4)，所述M0源储罐（1)设置有出料口（9)，所 述M0源储罐（1)的出料口（9)通过三通接头（5)连接在进气管（3)上，所述M0源钢瓶（2) 内部设置有液位探头（6 )，所述液位探头（6 )通过PLC控制器（7 )连接在M0CVD信号接收器 (8)上，所述PLC控制器（7)与三通接头（5)电连接，通过液位探头（6)和M0CVD信号接收 器（8)探测到的信号对三通接头（5)进行控制。2. 如权利要求1所述的直接充装M0源的装置，其特征在于：所述M0源储罐（1)的数量 为两个，一个使用，另一个备用，所述两个M0源储罐（1)的出料口（ 9 )同时连接在三通接头 (5)上，所述M0源储罐（1)使用惰性气体进行充装载体。3. 如权利要求2所述的直接充装M0源的装置，其特征在于：所述两个M0源储罐（1)为 一组，每组M0源储罐（1)可充装三个M0源钢瓶（2 )，所述每个M0源钢瓶（2 )放置在恒温水 浴槽（10)中。4. 如权利要求1-3任意一项所述的直接充装M0源的装置，其特征在于：所述M0源储 罐（1)内部同样设置有液位探头（6 )，所述M0源储罐（1)上设置有警报灯（11)，所述液位探 头（6)电连接在警报灯（11)上。【文档编号】B67C3/10GK203890029SQ201420204367【公开日】2014年10月22日 申请日期:2014年4月25日 优先权日:2014年4月25日 【专利技术者】俞冬雷, 武本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种直接充装MO源的装置，其特征在于：包括MO源储罐（1）和MO源钢瓶（2），所述MO源钢瓶（2）上设置有进气管（3）和出气管（4），所述MO源储罐（1）设置有出料口（9），所述MO源储罐（1）的出料口（9）通过三通接头（5）连接在进气管（3）上，所述MO源钢瓶（2）内部设置有液位探头（6），所述液位探头（6）通过PLC控制器（7）连接在MOCVD信号接收器（8）上，所述PLC控制器（7）与三通接头（5）电连接，通过液位探头（6）和MOCVD信号接收器（8）探测到的信号对三通接头（5）进行控制。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：俞冬雷，武利曙，徐昕，
申请(专利权)人：安徽亚格盛电子新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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