本实用新型专利技术提供一种法兰焊接装置，所述法兰焊接装置至少包括：设置于管路端口的气囊，所述气囊连接于充气装置；位于所述气囊上方的冷却装置以及朝向于管路端口的清洁装置。本实用新型专利技术的法兰焊接装置在不停产的前提下进行动火作业，隔绝火源与有机溶剂，使得不停产更换有机溶剂法兰成为可能，减小经济损失。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种法兰焊接装置，所述法兰焊接装置至少包括：设置于管路端口的气囊，所述气囊连接于充气装置；位于所述气囊上方的冷却装置以及朝向于管路端口的清洁装置。本技术的法兰焊接装置在不停产的前提下进行动火作业，隔绝火源与有机溶剂，使得不停产更换有机溶剂法兰成为可能，减小经济损失。【专利说明】一种法兰焊接装置
本技术涉及半导体设备领域，特别是涉及一种法兰焊接装置。
技术介绍
法兰是管子与管子之间相互连接的零件，用于管路端口之间的连接。法兰连接使 用方便，能够承受较大的压力，是管道施工的重要连接方式。如图1所示为常见的法兰结 构，法兰1包括一个圆环11以及均匀分布于所述圆环11上的多个螺栓口 12。法兰与法兰 之间的连接是在两个法兰之间加上法兰垫，在螺栓口 12中以螺栓将两个法兰紧固在一起， 完成连接。根据法兰与管路之间的连接方式，可将法兰分为丝接法兰和焊接法兰，丝接法兰 的圆环内径处带螺纹，可以通过螺纹将丝接法兰拧到带螺纹的管路上，一般适用于压力比 较小的管路；焊接法兰的圆环内径处不带螺纹，需要通过焊接将焊接法兰跟管路焊接在一 起，适用于各种压力的管路连接。晶圆厂的生产中，常需要有机溶剂来处理晶圆，由于有机 溶剂的易燃易爆特性，有机溶剂的输送必须使用封闭的管路来实现，同时有机溶剂的输送 需要承受一定的压力，所以有机溶剂管路的连接法兰一般是焊接法兰。 正是因为有机溶剂的易燃易爆特性，必须确保有机溶剂管路的密封性能良好，一 旦泄露势必会产生有机溶剂异味，影响晶圆厂中的生产，甚至会有火灾隐患。而有机溶剂管 路法兰焊接处为整个管路系统的薄弱环节，法兰易受腐蚀而引起泄漏。为了解决法兰受腐 蚀而引起的有机溶剂泄露可采用在有机溶剂管路的法兰外涂层或者包裹的处理方法，但是 这种涂层或包裹的方法不够严密很容易受高压作用和有机溶剂的腐蚀引起再次泄漏，不能 从根本上解决问题。所以有机溶剂管路的维护需要对法兰进行定期的检查，当发现泄漏情 况时及时更换法兰以确保生产安全。 焊接法兰的更换方法一般是通过切割将导致泄漏的法兰从管路上取下，然后再通 过电焊将新的法兰焊接上管路，在法兰之间加上垫片，再通过螺栓固定连接法兰以实现管 路的连接。更换法兰需要涉及切割或电焊等动火作业，所以必须停产清洗管路，确保动火作 业的施工安全，如果不停产势必引起火灾造成有机溶剂管路窜烧，后果不堪设想。但是，晶 圆生产中的停产直接影响经济效益，会带来比较大的经济损失。 因此，如何在不停产的前提下，更换有机溶剂管路的法兰成为本领域的技术人员 亟待解决的问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种法兰焊接装置， 用于解决现有技术中更换法兰需停产、造成经济损失等问题。 为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种法兰焊接装置，所述法兰 焊接装置至少包括：设置于管路端口的气囊，所述气囊连接于充气装置；位于所述气囊上 方的冷却装置以及朝向于管路端口的清洁装置。 优选地，所述气囊的材质为橡胶。 优选地，所述充气装置给所述气囊中充入的气体为氮气。 优选地，所述气囊完全充满后的直径不小于所述管路的直径。 优选地，所述气囊充气后与所述管路气密连接。 优选地，所述冷却装置为水枪。 更优选地，所述水枪连接冷却水。 优选地，所述气囊的正下方还放置一个承接漏斗。 优选地，所述清洁装置为吹气枪。 更优选地，所述吹气枪吹入的气体为氮气。 如上所述，本技术的法兰焊接装置，具有以下有益效果： 本技术的法兰焊接装置在不停产的前提下进行动火作业，隔绝火源与有机溶 齐IJ，使得不停产更换有机溶剂法兰成为可能，减小经济损失。 【专利附图】【附图说明】 图1显示为现有技术中的法兰结构示意图。 图2显示为本技术的法兰焊接装置示意图。 元件标号说明 1 法兰 11 圆环 12 螺栓口 2法兰焊接装置 21 气囊 22充气装置 23冷却装置 24清洁装置 25承接漏斗 3 主管 4 支管 5 法兰 【具体实施方式】 以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说 明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另 外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应 用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。 请参阅图2。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新 型的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数 目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其 组件布局型态也可能更为复杂。 如图2所示，本技术提供一种法兰焊接装置2,所述法兰焊接装置2至少包 括： 气囊21、充气装置22、冷却装置23以及清洁装置24。 所述气囊21设置于管路的端口，在本实施例中，所述气囊21的材质优选为橡胶。 所述气囊21连接于所述充气装置22,所述充气装置22为氮气气罐，气囊21中充入氮气， 所述气囊21完全充满后的直径不小于所述管路的直径，当氮气充入所述气囊21，所述气囊 21鼓起完全堵塞管路，与所述管路气密连接，能有效将管路中的气体与外界隔绝，防止管道 中的气体外泄。 所述冷却装置23位于所述气囊21的上方，在本实施例中所述冷却装置23为水 枪，所述水枪连接冷却水，所述水枪在管道放置所述气囊21的位置处浇淋冷却水，给所述 气囊21降温，以使得切割或焊接等动火产生的温度不至于烘烤软化所述气囊21，保护所述 气囊21免受损坏，同时确保气密性。 所述气囊21的正下方还放置有所述承接漏斗25,所述承接漏斗25连接于废水排 放管，用于承接给所述气囊21降温的废水，确保工作环境的整洁，也便于废水的统一处理， 避免对环境的污染。 所说清洁装置24朝向于管路的端口，在本实施例中，所说清洁装置24为吹气枪。 所述吹气枪吹入的气体为不易燃、不易爆的稳定气体，在本实施例中，所述气体优选为氮 气。氮气被吹送到管路的端口，对所述气囊21外测的区域进行氮气吹扫，使得有机溶剂蒸 汽浓度降低，低至燃烧下限，确保切割或焊接等动火操作安全进行。 本技术的法兰焊接装置2的工作原理如下： 如图2所示，有机溶剂管路包括输送气体的主管3、分流气体的支管4以及连接主 管3的法兰5。 在安装法兰5的主管3的末端放入氮气气囊21，所述氮气气囊21中充入足够多的 氮气，使氮气气囊21与所述主管气密连接，完全阻塞主管3,由于氮气气囊21为橡胶材质， 可根据主管3的管道发生相应的形变，所述就能保证有机溶剂区与动火区完全隔绝。同时 气囊21中的氮气为非易燃易爆气体，在切割和焊接的动火过程中也能保持相对的稳定，确 保动火操作的安全。 然后，利用清洁装置24给动火区吹气，在本实施例中，所述清洁装置24为吹气枪， 吹入气体为氮气，在氮气气囊21外测动火区进行清洗及氮气吹扫，使氮气气囊21外测动火 区的有机溶剂蒸汽浓度低本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种法兰焊接装置，其特征在于，所述法兰焊接装置至少包括：设置于管路端口的气囊，所述气囊连接于充气装置；位于所述气囊上方的冷却装置以及朝向于管路端口的清洁装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张志丽，杨永刚，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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