本实用新型专利技术公开一种冷氢化系统用辐射加热装置，其特征在于，包括一个外观是卧式的加热筒体，加热筒体整体呈圆柱状，加热筒体内腔中排列有能够通入被加热四氯化硅和氢气的螺旋盘管。螺旋盘管为整根管材加工而成，并且螺旋盘管内部结构光滑。螺旋盘管材质为经过热处理的高镍合金Incloy800。所述加热筒体内部设有气体报警装置。本实用新型专利技术从根本上解决了接触式电加热器用于四氯化硅加热易结垢、易泄漏、寿命短的工艺难题，减少加热装置出现的结垢、泄漏、堵塞现象，同时延长使用周期。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开一种冷氢化系统用辐射加热装置，其特征在于，包括一个外观是卧式的加热筒体，加热筒体整体呈圆柱状，加热筒体内腔中排列有能够通入被加热四氯化硅和氢气的螺旋盘管。螺旋盘管为整根管材加工而成，并且螺旋盘管内部结构光滑。螺旋盘管材质为经过热处理的高镍合金Incloy800。所述加热筒体内部设有气体报警装置。本技术从根本上解决了接触式电加热器用于四氯化硅加热易结垢、易泄漏、寿命短的工艺难题，减少加热装置出现的结垢、泄漏、堵塞现象，同时延长使用周期。【专利说明】冷氢化系统用辐射加热装置
本技术是一种用于对氯硅烷和氢气进行加热的冷氢化系统用辐射加热装置， 属于多晶硅生产工艺
。
技术介绍
四氯化硅气体电加热器技术是现行多晶硅行业的一种基本技术手段。我国多晶硅 行业目前四氯化硅电加热器基本使用美国十五年前采用的循环接触式电加热器。其加热元 件为集束式电热管，加热管内充填无水氧化镁粉绝缘层，国产接触式电加热器平均使用寿 命5-6个月，更换一次加热管约为总费用的一般，后期维修成本较大，造成的停车损失更 大。 冷氢化工艺中，四氯化硅和氢气需加热到400-600°C，压力高大于2. OMpa，介质腐 蚀性强，使用过程中易造成电热管结垢、结焦，爆管，易造成气体泄漏，严重污染环境和危害 人身健康，更带来极大的安全隐患。尤其在冷氢化工艺中，安全长周期的运行对降低电耗， 提高转化率更起着至关重要的作用，频繁的停车冷氢化的低电耗优势将不复存在，因此安 全稳定能够长周期运行的四氯化硅电加热器成为冷氢化节能降耗的制约因素。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种用于冷氢化
中氢气、四氯化 硅加热装置，减少加热装置出现的结垢、泄漏、堵塞现象，同时延长使用周期。 本技术的目的通过以下技术方案来具体实现： 冷氢化系统用辐射加热装置，使用于多晶硅冷氢化，是种用于对四氯化硅和氢气 进行加热升温的电加热器设备，包括一个外观是卧式的加热筒体，加热筒体整体呈圆柱状， 加热筒体内壁设置有陶瓷200?500mm耐火保温层，耐火保温层内壁上依功率大小排列若 组干电热元件，加热筒体内腔中排列有能够通入被加热四氯化硅和氢气的螺旋盘管，螺旋 盘管的材质为经过热处理的高镍合金Incloy800。Incoloy是一种镍铬铁合金，是为温度 升高时抗氧化和碳化而设计的。此合金属镍铁铬系铁镍基耐蚀合金，此合金在高温水蒸汽 中，包括氢气、蒸汽-空气-C02的混合气体中，具有良好的耐蚀性，在一些高温高压水介质 中，其耐应力腐蚀性能明显；在H2+H2S介质中它也具有良好的耐腐蚀性能。热量通过电热 带将热量不断辐射到物料盘管外表面，螺旋盘管外壁接受热量后将热量传递到管道内的物 料，完成将物料介质加热升温的过程。螺旋盘管为整根管材加工而成，无焊接，固定壳体内 侧设置有对换热螺旋盘管底部进行支撑的支架，介质在内部换热呈均匀的层流状，由于螺 旋盘管内部结构光滑，大颗粒结垢无附着，即使大颗粒结垢也较易在高气流带出。螺旋盘管 外壁设若干温度传感器，所述温度传感器与外部控制系统连接，用以将温度信号传输到控 制系统，用于功率调节，以满足物料介质所需温度。为防止热量损失，在加热筒体内壁安装 200?500_的陶瓷纤维保温层，使热量得到高效利用。 所述加热筒体内部设有气体报警装置。 所述加热筒体内部设有惰性气体保护装置。 为方便安装检修，桶体上部为可拆卸结构，并设置检修人孔。整个冷氢化系统用辐 射加热装置的加热筒体固定安装在一个固定底座上。 冷氢化系统用辐射加热装置的接线箱位于设备外部，通常会备用部分功率。如有 一组电热带故障，可从外部接线箱切至备用功率，而不会影响电加热器的正常使用，避免了 电热带故障而引起的停车。 本技术从根本上解决了循环式电加热器用于四氯化硅加热易结垢、易泄漏、 寿命短的工艺难题，减少加热装置出现的结垢、泄漏、堵塞现象，同时延长使用周期。 【专利附图】【附图说明】 下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。 图1为本技术实施例一的结构简图。 图2为本技术实施例二的结构简图。 图中：1-气体出口 2-螺旋盘管3-加热筒体4-气体入口。 【具体实施方式】 实施例一 如图1所示，本技术实施例一所述的冷氢化系统用辐射加热装置，辐射式加 热器在冷氢化
中的应用，包括混合氢气、氯硅烷气体经气体入口 4进入螺旋盘管2 经加热，螺旋盘管包裹在加热筒体3内部，气体经螺旋盘管2加热至工艺温度后，经气体出 口 1出去。 所述加热筒体3内部设有耐火保温层。 所述加热筒体3设有气体报警装置。 所述加热筒体3内部设有惰性气体保护装置。 实施例2 如图2所示，本实施例与实施例一基本相同，其区别仅在于，在所述的气体入口 4、 气体出口 1以及气体入口 4与气体出口 1之间的螺旋盘管分别有两路，两路螺旋盘管之间 并行设置。【权利要求】1. 冷氢化系统用辐射加热装置，其特征在于，包括一个外观是卧式的加热筒体，加热筒 体整体呈圆柱状，加热筒体内腔中排列有能够通入被加热四氯化硅和氢气的螺旋盘管。2. 如权利要求1所述的冷氢化系统用辐射加热装置，其特征在于，螺旋盘管为整根管 材加工而成，并且螺旋盘管内部结构光滑。3. 如权利要求2所述的冷氢化系统用辐射加热装置，其特征在于，螺旋盘管材质为经 过热处理的高镍合金Incloy800。4. 如权利要求1所述的冷氢化系统用辐射加热装置，其特征在于，所述加热筒体内部 设有气体报警装置。5. 如权利要求1所述的冷氢化系统用辐射加热装置，其特征在于，所述加热筒体内部 设有惰性气体保护装置。6. 如权利要求1所述的冷氢化系统用辐射加热装置，其特征在于，所述螺旋盘管设有 并行布置的两路。【文档编号】C01B33/107GK203877927SQ201320859944【公开日】2014年10月15日 申请日期:2013年12月25日 优先权日:2013年12月25日 【专利技术者】周迎春, 宋高杰, 其他专利技术人请求不公开姓名 申请人:新特能源股份有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
冷氢化系统用辐射加热装置，其特征在于，包括一个外观是卧式的加热筒体，加热筒体整体呈圆柱状，加热筒体内腔中排列有能够通入被加热四氯化硅和氢气的螺旋盘管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周迎春，宋高杰，其他发明人请求不公开姓名，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：新疆;65
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