一种新型函数曲线跟随电阻修刻方法技术

本发明专利技术适用于激光调阻技术领域，本发明专利技术提供了一种新型函数曲线跟随电阻修刻方法，采用目前通用的激光修调系统原理，其特征在于：1)修调前确定待修调电阻的起始位和结束位，2)根据待修调电阻的长度、目标总阻值及分割步数计算生成目标阻值线性函数曲线，3)按照计算出的每分割段的目标阻值通过阻值实时测量反馈，通过对每分割段实际阻值和目标阻值的比对结果，来控制激光束实时跟随目标阻值曲线，以达到对阻值的线性修调目的。本发明专利技术采用的函数曲线跟随方法不但具有高效率、高精度的特点，同时针对线性电阻来说达到了真正意义上的无限细分，彻底避免了阻值突变的缺点，极大提高了位移传感器和角度传感器的应用精度。

【技术实现步骤摘要】
-种新型函数曲线跟随电阻修刻方法
本专利技术属于激光调阻
，具体是针对线性电阻的一种新型函数曲线跟随的 激光修刻方法，以提高线性电阻的加工精度和生产效率。如环形角度位移传感器、直尺位移 传感器的线性电阻修刻（包含但不仅限于以上所述电阻）
技术介绍
随着激光应用技术的不断发展，用于调整厚、薄膜电路中的激光调阻技术有了很 大进步，其中最基本的就是对电阻的微调。目前最普遍的应用是厚膜基片阻值的激光修调。 激光修调是把一束聚焦的相干光在微机的控制下定位到工件上，是工件待调部分 的膜层气化切除，以达到规定参数和阻值。调阻时局部温度升高使玻璃融化，气化部分阻值 槽边缘受到玻璃覆盖，可填平机体表面被切割的介质，目前人们熟知的对片式电阻的微调 方法就是用脉冲激光沿片式电阻的横截面积进行激光修刻，将相应的材质气化使电阻值增 大，以达到要求的阻值精度。以上激光调阻的机理已在片式电阻的批量生产中得到广泛应 用。 近年来随着我国航天航空、电力、水利、汽车等行业的飞速发展，位移传感器、角度 传感器的市场需求越来越大，在位移传感器和角度传感器上同样需要对阻值进行微调，其 不同之处是位移传感器和角度传感器上的电阻是一种线性电阻。对于线性电阻，传统修调 方式有研磨法、划刻法等，基本的机理均是采用物理方法改变电阻的横截面积，然后配合高 精度测量仪表按照预先测算出的阻值和细分份数逐一研磨、划刻。这些方法无一例外的存 在效率低下、线性度精度控制不足，以及无法最大限度细分的劣势。目前也有激光修刻在 线性电阻修调上的应用，虽然效率和精度有很大提升，但仍然无法做到高精度的线性度控 制。
技术实现思路
： 本专利技术的目的是针对线性电阻修调过程中精度控制不高、生产效率低下以及无法 做到无限细分的问题，提供一种新型函数曲线跟随的激光修刻方法。本专利技术不但具有激光 修刻的高效率、高精度的特点，同时针对线性电阻来说达到了真正意义上的无限细分，极大 提高了位移传感器和角度传感器的应用精度，同时因为采用激光修刻轨迹跟随既定函数曲 线的方法，所以可以进行任意连续递增曲线函数的线性电阻的修调。 本专利技术的技术方案是：针对线性电阻的一种新型函数曲线跟随的激光修刻方法。 采用目前通用的激光修调系统原理，包括有激光器产生激光束，经光束定位系统扩束、聚焦 在工作台中处于焦平面位置的待刻电阻面上，通过阻值动态测量系统实时监控，自动调整 和校正激光束在待刻电阻面上的修调轨迹。达到激光束对电阻值的修调线性曲线完全跟随 给定函数曲线，达到高精度、高效率的线性电阻修调，且能够无限细分的目的。其具体实施 步骤：1)修调前确定待修调电阻的起始位和结束位，2)根据待修调电阻的长度、目标总阻 值及分割步数进而确定每分割段的电阻值，生成目标阻值线性函数曲线，3)按照计算出的 每分割段的目标阻值通过阻值实时测量反馈，来控制激光束的修调轨迹，从而使激光修刻 的每一分割步数的阻值始终跟随目标阻值线性函数曲线而变化。即从起始位置开始，将第 一个分割步的阻值测量后与所计算的目标阻值比对，当测量值大于目标值时，则控制激光 束由起始位置的内侧边沿向外侧边沿运动，增大其截面积使其相对阻值减小；当测量值小 于目标值时，则控制激光束反向运行，使其相对阻值增大，每分割步依次进行，最终达到对 阻值的线性修调目的。 本专利技术技术方案在步骤1)中所述待修调电阻包含直线位移传感器线性电阻和角 度位移传感器线性电阻。 本专利技术技术方案在步骤2)中所述，直线位移传感器按此方法每分割段长度最小 可达到与工作平台精度一致的水平，本实例中可达到0. 001mm ;角度位移传感器每分割段 同样可以达到与旋转平台定位精度一致的水平，本实例应用中可达5 (min//角分//0. 083 度） 本专利技术技术方案在步骤3)中所述，对激光束修刻轨迹的控制是和目标阻值线性 函数曲线实时跟随且一致的，激光束每一步的走势变化均来自于实际阻值和目标阻值的比 对结果，彻底避免阻值突变的隐患，以达到高精度、高线性度的修调效果。 本专利技术的优点： 1.与传统研磨、划刻的电阻修调方法相比，本专利技术方法大大提高了线性电阻中线 性度这一指标的加工精度，同时在加工效率上也有极大的提高。 2.本专利技术方法与传统研磨、划刻的电阻修调方法相比，由于采取了按客户定义的 函数公式计算目标值，并采取曲线跟随的激光修刻方法，所以可以确保每个电阻的最终目 标阻值一致，阻值误差可以控制在〇. 2%以内，改变了传统方法中阻值线性度可控但目标阻 值不可控的缺点，提高了产品的一致性。 3.本专利技术采用的函数曲线跟随修刻的方法，实现了真正意义上的线性电阻无限细 分分割，为直线位移传感器和角度位移传感器的应用效果带来了明显改善，同时有效避免 了阻值突变等缺点。 4.本专利技术采用的按客户定义的函数公式计算目标阻值的方法，除了满足直线线性 电阻的修刻外，可以进行任意连续递增曲线函数的线性电阻的修刻，可满足不同客户的差 异性需求。 【附图说明】： 下面结合附图及实例对本专利技术做进一步的描述： 图1为本专利技术在修调直线位移传感器线性电阻时的具体应用 图2为本专利技术在修调角度位移传感器线性电阻时的具体应用 本专利技术具体的实施： 实例1 :图1为本专利技术在对直线位移传感器的线性电阻修刻时的具体应用，如图1 : 连通待测电阻的测量点c、d和电刷a，移动电刷a确定修调起始位，其方法是：从待修刻电 阻的起始端移动电刷a，观察测量阻值，当测量阻值有明显变化时（阻值开始增加）的位置 即为修调起始位置，同样方法确定修调结束位置，此起始点实则为印刷的电阻镀膜层与连 接点的交点位置，一般来说为保证印刷效果会把电阻镀膜层印刷至和连接点相重合，由于 连接点本身的阻值非常小，为保证修调后电阻的线性度和最终的阻值符合要求，准确定位 修调起始点非常重要。 本专利技术方法在对位移传感器线性电阻进行修刻时，采用的运动方式有两种：1)位 移传感器线性电阻固定不动，通过伺服马达控制激光振镜和测量电刷移动，并结合视频校 正系统进行调整；2)激光振镜和测量电刷固定不动，将位移传感器线性电阻固定在直线电 机（直线马达），通过控制直线马达的移动来实现线性电阻的修调。本实例所述实施方案为 米用第一种方式。 确定修调起始点后，根据位移传感器线性电阻的总长度、分割步数以及修调后的 目标总阻值，通过用户定义的函数公式可以计算出每个分割步数的目标阻值，也即确定了 此位移传感器线性电阻的阻值线性函数，然后通过实时测量反馈系统根据每分割步数（即 移动距离）的阻值控制激光束轨迹（图ι-b)进行修调，即从起始位置的外侧边沿开始，将 第一个分割步的阻值测量后与所计算的目标阻值比对，当测量值大于目标值时，则控制激 光束由内侧边沿向外侧边沿运动，增大其截面积使其相对阻值减小；当测量值小于目标值 时，则控制激光束反向运行，使其相对阻值增大，后续每分割步依次进行，以此使激光修刻 的每一分割步数的阻值始终跟随目标阻值线性函数曲线而变化。达到对位移传感器线性电 阻的阻值修刻与目标函数相一致的线性度。 实例2 :图2为本专利技术对角度位移传感器线性电阻修调时的具体应用，其运动方 式是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型函数曲线跟随的激光修刻方法：采用目前通用的激光修调系统原理，包括有激光器产生激光束，经光束定位系统扩束、聚焦在工作台中处于焦平面位置的待刻电阻面上，通过阻值动态测量系统实时监控，测量到的阻值与预先计算设定的阻值和细分分割数进行比对，来实时自动调整和校正激光束在待调电阻面上的修调轨迹，达到激光束对电阻值的修调线性曲线完全跟随给定函数曲线，达到高精度、高效率的线性电阻修调，且能够无限细分的目的，其具体实施步骤：1)修调前确定待修调电阻的起始位和结束位；2)根据待修调电阻的长度、目标总阻值及分割步数，计算出每分割段的电阻值，生成目标阻值线性函数曲线；3)按照计算出的每分割段的目标阻值通过阻值实时测量反馈，来控制激光束的修调轨迹，从而使激光修刻的每一分割步数的阻值始终跟随目标阻值线性函数曲线而变化，即从起始位置开始，将第一个分割步的阻值测量后与所计算的目标阻值比对，当测量值大于目标值时，则控制激光束由起始位置的内侧边沿向外侧边沿运动，增大其截面积使其相对阻值减小；当测量值小于目标值时，则控制激光束反向运行，使其相对阻值增大，每分割步依次进行，最终达到对阻值的线性修调目的。

【技术特征摘要】
1. 一种新型函数曲线跟随的激光修刻方法：采用目前通用的激光修调系统原理，包括 有激光器产生激光束，经光束定位系统扩束、聚焦在工作台中处于焦平面位置的待刻电阻 面上，通过阻值动态测量系统实时监控，测量到的阻值与预先计算设定的阻值和细分分割 数进行比对，来实时自动调整和校正激光束在待调电阻面上的修调轨迹，达到激光束对电 阻值的修调线性曲线完全跟随给定函数曲线，达到高精度、高效率的线性电阻修调，且能够 无限细分的目的，其具体实施步骤：1)修调前确定待修调电阻的起始位和结束位；2)根据 待修调电阻的长度、目标总阻值及分割步数，计算出每分割段的电阻值，生成目标阻值线性 函数曲线；3)按照计算出的每分割段的目标阻值通过阻值实时测量反馈，来控制激光束的 修调轨迹，从而使激光修刻的每一分割步数的阻值始终跟随目标阻值线性函数曲线而变 化，即从起始位置开始，将第一个分割步的阻值测量后与所计算的目标阻值比对，当测量值 大于目标值时，则控制激光束由起始位置的内侧边沿向外侧边沿运动，增大其截面积使其 相对阻值减小；当测量值小于目标值时，则控制激光束反向运行，使其相对阻值增大，每分 割步依次进行，最终达到对阻值的线性修调目的。2. 根据权利要求1所述的一种新型函数曲线跟随的激光修刻方法，其特征在于步骤1) 中修刻前先确定待修调电阻的起始位置，此...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱勇，
申请(专利权)人：北京锋速精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11