电容式陀螺仪敏感端电容配置装置及其配置方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电容式陀螺仪敏感端电容配置装置及其配置方法，该配置装置包括敏感端电容组，并具有分割敏感电容组的横梁，使敏感电容组一分为二。该配置装置的配置方法包括(1)在隔断敏感电容组中间增加一道横梁，使电容组一分为二，使电容组的数目增加一倍；(2)当质量块在哥氏力带动下转动时，转动通过弹性梁传递到横梁，也就是敏感电容组的可动梁；(3)每根横梁的两端由两个弹性梁提供支撑；(4)在弹性梁发生位移时，有相同变化趋势的电容组连接在一起并导通。本发明专利技术的有益效果为：增加器件性能对工艺的不敏感性，改善器件对线性加速度的抗干扰能力。同时，通过电容组可动梁的隔离，提高器件的吸合电压。

【技术实现步骤摘要】
电容式陀螺仪敏感端电容配置装置及其配置方法
本专利技术涉及一种电容式陀螺仪敏感端电容配置装置及其配置方法。
技术介绍
MEMS(MicroElectroMechanicalSystem，微机电系统)陀螺仪体积小、成本低、集成性好，已得以越来越广泛的应用，如在移动终端、相机防抖、游戏手柄、玩具飞机、导航等产品中。由于应用环境的差异，在某些场合需要MEMS陀螺仪对外部环境干扰有更好的屏蔽性，比如来自外界的线性振动。MEMS陀螺仪的设计往往是对称的，理想情况下，外界线性加速度的干扰会被完全屏蔽掉，但是由于工艺误差，加工后的器件并非完全对称，进而对线性加速度不能很好的屏蔽。针对以上情况，我们对电容式敏感的MEMS陀螺仪的敏感端作进一步的分割，使敏感端电容组数目加倍，进而交叉互联，借以增加器件性能对工艺的不敏感性，从而提高器件对线性加速度的抵抗能力。同时，通过电容组可动梁的隔离，在实现相同电容变化量的前提下，单个电容极板的长度将会缩短，这将提高器件的吸合电压。
技术实现思路
本专利技术的目的在于改善器件对线性加速度的抗干扰能力，提高器件吸合电压。本专利技术采用的技术方案为1、一种电容式陀螺仪敏感端电容配置装置，包括敏感端电容组，其特征在于：具有分割敏感电容组的横梁，使敏感电容组一分为二。优选的是，敏感电容组可动端通过弹性梁与质量块连接，以传递哥氏力。优选的是，每根敏感电容组可动端的两端分别有两个弹性梁提供支撑。优选的是，所述横梁通过弹性梁和锚点连接。优选的是，被分割后的电容组交叉互联，当质量块在哥氏力作用下转动并带动敏感电容组可动端运动时，具有相同变化趋势的电容组连为一体。本专利技术的电容式陀螺仪敏感端电容配置装置的配置方法，包括如下步骤：(1)在敏感电容组中间增加一道横梁，使电容组一分为二，使电容组的数目增加一倍；(2)当质量块在哥氏力带动下转动时，转动通过弹性梁传递到横梁，也就是敏感电容组的可动梁；(3)每根横梁的两端由两个弹性梁提供支撑；(4)在弹性梁发生位移时，有相同变化趋势的电容组连接在一起并导通。本专利技术的有益效果为：增加器件性能对工艺的不敏感性，从而提高器件对线性加速度的抵抗能力。同时，通过电容组可动梁的隔离，在实现相同电容变化量的前提下，单个电容极板的长度将会缩短，这将提高器件的吸合电压。附图说明图1为现有技术常用的2个敏感电容组配置方法；图2为现有技术常用的4个敏感电容组配置方法；图3为本专利技术提出的8个敏感电容组配置方法。具体实施方式下面结合附图和具体实施方法对本专利技术做进一步详细的说明：图1所示为现有技术常用的敏感电容组配置方法，其有两个敏感电容组分别位于质量块的两端，并构成敏感电路的两极。图2所示为现有技术常用的敏感电容组配置方法，把图一中每个电容组一分为二，并交叉连接构成敏感电路的两极。图3所示为本专利技术的方案，共有8个敏感电容组。在质量块绕Z旋转时，标号为1a的电容组电容变化趋势相同，标号为1b的电容组电容变化趋势相同。1a和1b各自的4个电容组连接导通并作为敏感电路的两极。相对于图2，横梁3把电容组进行了分割，电容组的数目增加一倍。横梁3通过弹性梁4和锚点2连接，质量块6通过弹性梁5和横梁3连接，以传递哥氏力产生的运动。本专利技术中的电容式陀螺仪敏感端电容配置装置的配置方法，包括如下步骤：(1)在敏感电容组中间增加一道横梁，使电容组一分为二，使电容组的数目增加一倍；(2)当质量块在哥氏力带动下转动时，转动通过弹性梁传递到横梁，也就是敏感电容组的可动梁；(3)每根横梁的两端由两个弹性梁提供支撑；(4)在弹性梁发生位移时，有相同变化趋势的电容组连接在一起并导通。综上所述仅为本专利技术较佳的实施例，并非用来限定本专利技术的实施范围。即凡依本专利技术申请专利范围的内容所作的等效变化及修饰，皆应属于本专利技术的技术范畴。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电容式陀螺仪敏感端电容配置装置，包括敏感端电容组，其特征在于：具有分割敏感电容组的横梁，使敏感电容组一分为二。

【技术特征摘要】
1.一种电容式陀螺仪敏感端电容配置装置，包括敏感端电容组，其特征在于：具有分割敏感电容组的横梁，使敏感电容组一分为二,敏感电容组可动端通过弹性梁与质量块连接，以传递哥氏力,每根敏感电容组可动端的两端分别有两个弹性梁提供支撑,所述横梁通过弹性梁和锚点连接。2.根据权利要求1所述的电容式陀螺仪敏感端电容配置装置，其特征在于：被分割后的敏感电容组交叉互联，当质量块在哥氏力作用下转动并带动敏感电...

【专利技术属性】
技术研发人员：王辉，邹波，
申请(专利权)人：深迪半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31