一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构制造技术

本发明专利技术公开了一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，属于透射电子显微镜的附件结构设计领域，该集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构通过在镜筒的侧部接口上安装调整部件，并在位于镜筒内部的调整部件上集成安装TEM荧光屏和STEM探测器，使得只需要改变调整部件在透射电子显微镜镜筒中的位置，便能够实现TEM荧光屏或者STEM探测器来接收电子束，从而满足镜筒的一个侧部接口同时安装CCD相机用荧光屏(TEM荧光屏)和STEM探测器的目的，进而满足用户对于透射电子显微镜的功能最大化的需求，实现超值的性价比。

【技术实现步骤摘要】
一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构
本专利技术涉及透射电子显微镜的附件结构设计，尤其涉及一种集成TEM荧光屏和 STEM探测器的一体化结构。
技术介绍
透射电子显微镜Transmission Electron Microscope，简称TEM，透射电子显微镜 是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透射聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的 电子光学仪器。 针对透射电子显微镜使用过程中拍摄高分辨电子显微图像，拍摄电子衍射以及对 样品进行原位分析等不同应用目的使得所使用的CCD相机类型均不同，所以，在一台透射 电子显微镜上配备单一 C⑶相机配置难以满足需要。为解决上述问题，现有的方案是在透 射电子显微镜上安装底插式CCD相机和侧插式CCD相机，底插式CCD相机和侧插式CCD相 机分别安装在透射电子显微镜的的底片室底部和镜筒侧部。 扫描透射电子显微镜 Scanning Transmission Electron Microscope，简称 STEM, 其是利用磁透镜将电子束聚焦到样品表面并在样品表面快速扫描，通过电子穿透样品成 像。在扫描模式下，电子源发射出电子，通过在样品前磁透镜将电子束会聚成小尺度的束 斑，电子束斑聚焦在试样表面后，通过线圈控制逐点扫描样品的一个区域。在每扫描一点的 同时，样品下面的STEM探测器同步接收电子。对应于每个扫描位置的探测器接收到的信号 转换成电流强度显示在荧光屏或计算机显示器上。使用STEM明场探测器或STEM暗场探测 器则可以分别获得STEM明场图像和STEM暗场图像。STEM明场探测器和STEM暗场探测器 需要安装在透射电子显微镜镜筒侧部接口。 -台透射电子显微镜的费用通常达到几百万人民币，因此，针对一台透射电子显 微镜，人们通常需要加装各种附件，以使功能最大化，在现有技术条件下，透射电子显微镜 侧部接口数量受到安装位置的限制，在安装了 STEM明场探测器和暗场探测器之后，无法安 装侧插式CCD相机；安装了侧插式CCD相机之后，则STEM明/暗场探测器只能选装一个，进 而导致透射电子显微镜不能达到功能最大化的需求。
技术实现思路
针对上述存在的问题，本专利技术提供一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结 构，以克服现有技术中的透射电子显微镜侧部接口受到安装位置的限制，导致不能实现功 能最大化的需求的问题，从而既能够安装侧插式CCD相机，又能够安装STEM明暗探测器，同 时还在侧部安装CCD相机用荧光屏，进而满足用户对于透射电子显微镜的功能最大化的需 求，实现超值的性价比。 为了实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为： -种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其中，包括：具有侧部接口的镜 筒和通过所述侧部接口安装在所述镜筒上的调整部件，所述调整部件的一部分位于所述镜 筒内部，所述调整部件的另一部分位于所述镜筒的外部； 其中，位于所述镜筒内部的调整部件上集成有TEM荧光屏和STEM探测器。 上述的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其中，所述调整部件为滑动 机构，且所述滑动机构的正视面形状为一直角梯形； 其中，所述滑动机构的正视面为直角的一端位于所述镜筒的外部。 上述的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其中，所述滑动机构的正视 面的上底与位于所述镜筒内部的所述滑动机构的正视面的腰之间的夹角为135°。 上述的集成集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其中，所述TEM荧光屏 安装于位于所述镜筒内部的所述滑动机构的正视面的腰面上，所述STEM探测器安装于位 于所述镜筒内部的所述滑动机构的正视面的上底面上。 上述的集成集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其中，所述调整部件为 翻转机构，且所述翻转机构的正视面形状为一直角梯形； 其中，所述翻转机构的正视面为直角的一端位于所述镜筒的外部。 上述的集成集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其中，所述翻转机构的 正视面的上底与位于所述镜筒内部的所述翻转机构的正视面的腰之间的夹角为135°。 上述的集成集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其中，所述TEM荧光屏 安装于位于所述镜筒内部的所述翻转机构的正视面的腰面上，所述STEM探测器安装于位 于所述镜筒内部的所述翻转机构的正视面的下底面上。 上述技术方案具有如下优点或者有益效果： 本专利技术提供的一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，通过在镜筒的侧 部接口上安装调整部件，并在位于镜筒内部的调整部件上集成安装TEM荧光屏和STEM探测 器，使得只需要改变调整部件在透射电子显微镜镜筒中的位置，便能够实现TEM荧光屏或 者STEM探测器来接收电子束，从而满足镜筒的一个侧部接口同时安装CCD相机用荧光屏 (TEM荧光屏）和STEM探测器的目的，进而满足用户对于透射电子显微镜的功能最大化的需 求，实现超值的性价比。 【附图说明】 通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术及其特征、夕卜 形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比 例绘制附图，重点在于示出本专利技术的主旨。 图1是本专利技术实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构待机 时的结构示意图； 图2是本专利技术实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构处于 位置A时的结构示意图； 图3是本专利技术实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构处于 位置B时的结构示意图； 图4是本专利技术实施例2提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构待机 时的结构示意图； 图5是本专利技术实施例2提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构处于 位置A时的结构示意图； 图6是本专利技术实施例2提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构处于 位置B时的结构示意图。 【具体实施方式】 下面结合附图和具体的实施例对本专利技术作进一步的说明，但是不作为本专利技术的限 定。 实施例1 : 图1是本专利技术实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构待机 时的结构示意图；图2是本专利技术实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结 构处于位置A时的结构示意图；图3是本专利技术实施例1提供的集成TEM荧光屏和STEM探测 器的一体化结构处于位置B时的结构示意图；如图所示，本专利技术实施例1提供的集成TEM荧 光屏和STEM探测器的一体化结构包括：具有侧部接口的镜筒101和通过侧部接口安装在镜 筒101上的调整部件，在本专利技术实施例1中，该调整部件为滑动机构102,滑动机构102的正 视面形状为一直角梯形，滑动机构102的一部分位于镜筒101内部，滑动机构102的另一部 分位于镜筒101的外部，并且滑动机构102的正视面为直角的一端位于镜筒101的外部，滑 动机构102的另一端位于镜筒101的内部，同时，位于镜筒101内部的滑动机构102上集成 有TEM荧光屏104和STEM探测器103,具体的，TEM荧光屏104安装在位于镜筒101内部 的滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，包括：具有侧部接口的镜筒和通过所述侧部接口安装在所述镜筒上的调整部件，所述调整部件的一部分位于所述镜筒内部，所述调整部件的另一部分位于所述镜筒的外部；其中，位于所述镜筒内部的调整部件上集成有TEM荧光屏和STEM探测器。

【技术特征摘要】
1. 一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，包括：具有侧部接 口的镜筒和通过所述侧部接口安装在所述镜筒上的调整部件，所述调整部件的一部分位于 所述镜筒内部，所述调整部件的另一部分位于所述镜筒的外部； 其中，位于所述镜筒内部的调整部件上集成有TEM荧光屏和STEM探测器。2. 如权利要求1所述的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，所 述调整部件为滑动机构，且所述滑动机构的正视面形状为一直角梯形； 其中，所述滑动机构的正视面为直角的一端位于所述镜筒的外部。3. 如权利要求2所述的集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征在于，所 述滑动机构的正视面的上底与位于所述镜筒内部的所述滑动机构的正视面的腰之间的夹 角为135°。4. 如权利要求2所述的集成集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构，其特征 在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王义林，张大梁，周向志，
申请(专利权)人：王义林，张大梁，周向志，
类型：发明
国别省市：上海;31