基板移送装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体或FPD（Flat Panel Display）制造工程的生产设备将基板（PCB）从前工序搬运到后工序的基板移送装置相关技术，把持基板的夹具动作更加稳定，通过磁力吸住基板，防止机械摩擦磨损的同时也能防止产生的杂质引起基板损伤和污染，同时也能更加精简夹具结构的基板移送装置，本发明专利技术的实施例提供一种由呈上下直立形态，内侧留有基板容纳空间的架子和安装在所述架子空间的上下边缘位置，把持外部投放基板的数个夹具组成的一种基板移送装置，所述基板移动装置的夹具包括固定于所述架子端部的固定夹具和安装在架子上通过轴承Block进行转动的启动夹具、安装在一侧架子上的第一磁体、置于所述第一磁体对面，安装在启动夹具一侧的第二磁体。

【技术实现步骤摘要】
基板移送装置
本专利技术涉及半导体或FPD(FlatPanelDisplay)制造工程的生产设备将基板(PCB)从前工序搬运到后工序的基板移送装置(Substratetransferdevice)相关技术，进一步讲就是在把持基板的多个夹具(Clamp)上安装磁装置，用磁力把持住基板，同时将多个夹具形成一个组合，同时启动，从而令把持基板的夹具动作更加稳定，通过磁力吸住基板，在防止机械摩擦磨损的同时也能防止产生的杂质引起基板损伤和污染，同时也能更加精简夹具结构的基板移送装置。
技术介绍
最近FPD(FlatPanelDisplay)作为改进显像管CRT(CathodRayTube)多种缺陷的替代技术受到关注，这种FPD以其薄型化、大型化、轻量化及节电化等优势使用范围越来越广。FPD制造工程包括基板制造工程、Cell制造工程、模块制造工程等，基板制造工程是在基板上形成Pattern的工程，以洗涤工序为开端，分别执行形成光致抗蚀剂、曝光、显像、蚀刻、清除光致抗蚀剂的Patterning工序后再完成检查工序。在上述基板制造工程中将基板从前道工序搬运或移送到后道工序的过程是分阶段执行多个工序所必要的，这种过程由基板移送装置执行，所述基板移送装置大部分将基板固定到架子上，在这种状态下用数个搬运滚轮将架子移送到后道工序。现有基板移送装置的先行技术已有在韩国注册的专利第10-1015937号，所述先行技术包括数个夹具构件和以支撑架及水平架搭载夹具构件的框架，所述夹具构件是由通过基准轴进行旋转，固定于架子上的启动夹子、置于所述启动夹子上端的支撑装置、给所述支撑装置施加压力以转动启动夹子的加压装置、一侧固定于所述架子的支撑块上，另一侧固定于所述启动夹子上给启动夹子以弹力的弹性体、置于以所述基准轴为中心转动的启动夹子的旋转半径内，和启动夹子的端部相贴合的固定夹子组成。所述先行技术通过作用于安装在架子和启动夹子之间的弹性体弹簧的弹力转动启动夹子，从而将基板夹到启动夹子和固定夹子之间，而启动夹子的夹住动作保持长时间时由于机械摩擦和磨损会造成基板的损伤及污染。也就是说启动夹子保持长时间的夹住动作时，会因弹性体的变形和机械摩擦磨损发生杂质，从而造成基板损伤及污染，且启动夹子的夹住动作不够稳定，弹性体和启动夹子及架子之间的持续摩擦会造成异物的出现。现有技术专利文献(专利文献1)韩国注册专利第10-1015937号。(专利文献2)韩国公开专利第10-2011-0119957号。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术以改进现有基板移送装置所存在的问题为出发点，提供一种把持基板的夹具的动作更加稳定，通过磁体的磁性把持基板，从而在防止机械摩擦磨损的同时防止异物所造成的基板损伤和污染，为了使夹具的结构更加简单，在把持基板的多数夹具上都安装了磁体，利用磁体的磁性来把持基板，同时多数夹具组成一个组合同时运行的基板移送装置。(二)技术方案为解决上述课题，提供一种由呈上下直立形态，内侧留有基板容纳空间的架子和安装在所述架子空间的上下边缘位置，把持外部投放的基板的数个夹具组成的一种基板移送装置。所述基板移动装置的夹具包括固定于所述架子端部的固定夹具和安装在架子上通过轴承块转动的启动夹具、安装在一侧架子上的第一磁体、置于所述第一磁体对面，安装在启动夹具一侧的第二磁体。本专利技术实施例的特征在于，第一磁体安装在启动夹具的上端部所在的架子的一侧面，在启动夹具的上方安装第二磁体并和所述第一磁体形成相对面。本专利技术的另一种特征在于，启动夹具以中孔为基准，下端置于架子的一侧面，对着固定夹具的把持部位，上端贯通架子上形成的长孔，位于对向面的上侧，启动夹具的下端形成圆锥形的施压口，上端部安装可转动加压轮。(三)有益效果根据本专利技术的实施例所提供的基板移动装置其把持基板的多数夹具都安装了磁体，利用磁体的磁性把持基板，同时多数夹具组成一个组合同时启动，从而令把持基板的夹具运作更加稳定。此外，因采用磁体的磁性把持基板，在防止机械摩擦磨损的同时也能防止异物引起的基板损伤和污染，夹具结构也变得更加简单。附图说明图1为本专利技术实施例的安装状态斜视图。图2为本专利技术实施例的安装状态侧面图。图3为本专利技术实施例的夹具分解斜视图。图4为本专利技术实施例的夹具安装状态主截面图。图5为本专利技术实施例的夹具动作状态的主截面图。图6为本专利技术实施例的基板把持状态主截面图。图7为本专利技术的另一种夹具安装状态的斜视图。附图标记说明10:架子20:夹具21：固定夹具21a：支撑架22：启动夹具22a：中孔22b：施压口23：轴承块23a：轴承23b：旋转轴24：施压轮25：第一磁体26：第二磁体30：启动装置40：施压轮41：轴杆具体实施方式本专利技术实施例的主要点是把持基板的夹具动作更加稳定，通过磁体的磁性把持基板，从而在防止机械摩擦磨损的同时防止异物造成的基板损伤和污染，把夹具的结构改进得更加精简。下面结合附图具体说明本专利技术。本专利技术实施例提供一种呈上下直立形态，内侧留有基板P容纳空间的架子10和安装在所述架子10空间的上下边缘位置，把持基板P的数个夹具20组成的一种基板移送装置。所述夹具20包括固定于所述架子10端部的固定夹具21和安装在架子10上通过轴承块23转动的启动夹具22、安装在一侧架子10上的第一磁体25、置于所述第一磁体25对面，安装在启动夹具22一侧的第二磁体26。所述实施例的主要构成中，架子10起到在夹具20把持基板10的状态下移送到后道工序的功能，如图1～图2所示，采用四角架形状呈上下直立状态，内侧留有容纳基板P的空间。所述架子10内侧的空间要大于基板P的面积以用来容纳基板P，所述空间的上限边缘位置有多数长孔以用于安装夹具20，在架子10的下方安装移送板未图示，所述移送板置于滚轮输送带上移动到后道工序。所述实施例的主要构件中，夹具20起到把持外部投放基板P的作用，如图1至图4所示，由固定夹具21、启动夹具22、轴承块23、第一磁体25、第二磁体26组成。所述固定夹具21用支架21a将下端的把持部位固定安装于空间部位的端部令其置于架子10的空间内，所述启动夹具22安装在架子10空间的边缘位置以便进行转动动作，架子10空间的边缘位置安装具有一定距离的轴承块23，将旋转轴23b夹装在内置于轴承块23上的轴承23a和启动夹具22所形成的中孔22a中以令启动夹具22进行转动动作。所述启动夹具22以中孔22a为基准，下端部在架子10的一侧面，和固定家具21的把持部位相对，上端部贯穿架子10上形成的长孔，以对向面位于上方。和所述固定夹具21的把持部位相对的启动夹具22的下端部形成圆锥形的施压口22b，在启动家具22的上端部安装可转动的施压轮24。启动夹具22的上端部形成贯穿的通孔22c，将旋转轴24a夹装在施压轮24和通孔22c之间，以令安装在启动家具22上端部的施压轮24进行转动。此外，所述第一磁体25和第二磁体26通过相互吸引的磁力起到转动启动夹具22的功能，在置于启动夹具22上端部的架子10的一侧面安装第一磁体25，在启动夹具22的上方安装第二磁体26并和所述第一磁体25相对。所述第一磁体25和第二磁体26通过相互作用的磁性来吸引，如图4所示，在固定夹具21的把持部位靠近安装压缩状态的启动夹具22施压口本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板移送装置，包括：内侧留有基板（P）容纳空间的架子（10）、安装于所述架子（10）空间的上下边缘位置以把持基板（P）的多数夹具（20），其特征在于，所述夹具（20）由安装在架子（10）端部的固定夹具（21）和通过轴承Block（23）进行转动的安装在架子（10）上的启动夹具（22）、安装在架子（10）一侧的第一磁体（25）、和所述第一磁体（25）相对；安装在启动夹具（22）一侧的第二次体（26）组成。

【技术特征摘要】
2013.03.27 KR 10-2013-00326661.一种基板移送装置，包括：内侧留有基板(P)容纳空间的架子(10)、安装于所述架子(10)空间的上下边缘位置以把持基板(P)的多数夹具(20)，其特征在于，所述夹具(20)由安装在架子(10)端部的固定夹具(21)和通过轴承块(23)进行转动的安装在架子(10)上的启动夹具(22)、安装在架子(10)一侧的第一磁体(25)、和所述第一磁体(25)相对，安装在启动夹具(22)一侧的第二磁体(26)组成，在施压口(22b)所在的启动夹具(22)对向侧端部插上轴杆(41)来连接多数启动夹具(22)，在所述轴杆(41)上安装施压轮(40)，所述施压轮(40)在轴杆(41)上插入一对固定件(42)后在所述一对固定件(42...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑赞洙，
申请(专利权)人：昌晟株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR