物镜框架连接件制造技术

本发明专利技术公开了一种物镜框架连接件，包括：柔性底座、柔性盖板、双头螺栓以及蝶形弹簧组，柔性底座与柔性盖板通过双头螺栓相连，且柔性底座和柔性盖板分别与物镜框架固定连接，蝶形弹簧组固定在双头螺栓上。由于双头螺栓、柔性底座和柔性盖板都可以快速拆卸和安装，使得物镜框架安装方便，同样也避免了物镜框架及内部各模块之间的扰动影响。柔性底座和柔性盖板使得物镜框架连接件具有一定的柔性作用，解决了多面体框架包络成形的EUV物镜框架难以装配的问题。实际应用时，根据物镜框架的大小，设计成多点接触的柔性连接框架结构来保证物镜框架整体具有一定的高刚度，从而达到EUV物镜框架结构的高模态，从而降低对连接主基板的低频区域扰动力的响应。

【技术实现步骤摘要】
物镜框架连接件
本专利技术涉及光刻领域，特别涉及一种物镜框架连接件。
技术介绍
随着光刻技术对光刻分辨率的不断下降，其光源也由深紫外光向极紫外光发展。极紫外线光刻(EUVL)是满足22nm及其以下节点的最具有应用前景的下一代光刻技术，引起了全球半导体行业的高度重视。 极紫外光刻成为下一代光刻产业的主流发展趋势，致使物镜的结构设计也由透镜式物镜逐步转变为反射式物镜。目前，存在一种由六面反射镜所组成的EUVL弧形大视场物镜。其中每片反射镜底部或顶部都带有物镜安装座，物镜有调整装铬可在6自由度范围内调节补偿。而反射式物镜最大的特点就是使得物镜内部的工作光路增长至3?4米左右，为解决反射镜安装调整精度的问题采用了激光干涉仪或电容传感器测量其每个镜片的相对位铬。就光刻机内部空间约束而言，由于物镜的发展使得共轭工作距不断增大，这使得整机内部世界需要提供从掩模面(物镜物面)到硅片面(物镜像面)跨度更大Z向高度的尺寸。而传统的圆柱型结构的透镜式物镜镜筒已无法满足需求，透视镜物镜框架结构开始向更为复杂的空间多面体形状转变。 如图1所示，为一种典型的多边形包络状的反射式物镜框架，其外形类似于两个共底的四棱锥台组合的形状，包括多个框架面101、连接件102和托架103。为了获得较好的刚度和较轻的重量，物镜框架采用薄壳层结构，材料一般选用微晶玻璃。为满足结构的可交换性，物镜框架的各棱面均设计成可拆卸连接。在物镜框架搭建完成后，可以仅拆卸框架上的两块前板来进行集成或维修。由于反射式物镜框架是较复杂形状的空间多面体结构，其外形类似于两个共底的四棱锥台，各棱面之间需要采用连接件进行装配连接。而通常使用的螺栓连接方式是属于完全刚性的连接，在对由多个空间框架面包络形成的物镜框架使用刚性连接时，各框架面不能按照设计要求的位铬装配连接，装配过程无法进行。 此外，目前的光刻系统中，物镜是通过固有频率较低的柔性机构安装在主基板的接口环上，接口环与主基板是刚性连接的。柔性机构能隔离来自主基板的低频区域的扰动力，但对于低频区域边界附近的扰动力反而会放大其扰动影响。 因此，如何提供一种既能够解决物镜框架装配，又能保证物镜框架整体具有较高的模态的物镜框架连接件，是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种物镜框架连接件，能够在解决反射式物镜框架装配的同时，保证物镜框架整体具有较高的模态。 为解决上述技术问题，本专利技术提供一种物镜框架连接件，包括:柔性底座、柔性盖板、双头螺栓以及蝶形弹簧组，所述柔性底座与柔性盖板通过所述双头螺栓相连，并且所述柔性底座和柔性盖板分别与物镜框架固定连接，所述蝶形弹簧组固定在所述双头螺栓上。 作为优选，所述柔性底座和柔性盖板上分别开设有柔性环形槽。 作为优选，还包括锁紧螺母，所述锁紧螺母通过垫片固定在所述双头螺栓的顶部。 作为优选，所述蝶形弹簧组通过垫片与所述柔性底座接触。 作为优选，所述柔性底座和柔性盖板均分别通过粘合剂与物镜框架固定连接。 作为优选，所述粘合剂采用胶水。 作为优选，所述粘合剂的收缩比低于0.1%。 作为优选，所述柔性底座上还设有柔性连接环，所述柔性连接环的两侧分别设有柔性下槽。 作为优选，所述柔性盖板上设有柔性上槽。 作为优选，所述物镜框架连接件周向对称，且所述柔性底座和柔性盖板均采用殷钢材料。 与现有技术相比，本专利技术具有以下优点:本专利技术中的蝶形弹簧组用于对物镜框架连接件进行预加载，双头螺栓起到单向锁紧的作用，可以提高物镜框架连接件的连接稳定性。由于双头螺栓、柔性底座和柔性盖板都可以快速拆卸和安装，物镜框架的各框面均可以设计成可拆卸连接方式，在物镜框架搭建完成后，可以仅拆卸物镜框架的两块前框面来进行集成或维修，同样也可以避免物镜框架以及内部各模块之间的扰动影响。柔性底座和柔性盖板使得物镜框架连接件具有一定的柔性作用，解决了多面体框架包络成形的EUV物镜框架难以装配的问题。实际应用中，要根据物镜框架的大小，设计物镜框架连接件的数目和接触点，设计成多点接触的柔性连接框架结构来保证物镜框架整体具有一定的高刚度，从而达到EUV物镜框架结构的高模态，从而降低对连接主基板的低频区域扰动力的响应。 【附图说明】 图1为现有技术中物镜框架的结构示意图； 图2为本专利技术实施例1中物镜框架连接件与物镜框架连接时的剖视图； 图3为本专利技术实施例1中物镜框架连接件的立体图； 图4为本专利技术实施例1中物镜框架连接件的俯视图； 图5为图4中B-B面剖视图； 图6为图5中A部放大图； 图7为本专利技术实施例2中物镜框架连接件的剖视图； 图8为图7中A’部放大图。 图1中:101-框架面、102-连接件、103-托架。 图2?6中:10_柔性底座、20-柔性盖板、30-双头螺栓、40-蝶形弹簧组、50-锁紧螺母、60-垫片、70-柔性环形槽、80-柔性连接环、90-柔性下槽、200-物镜框架。 图7?8中:10’ -柔性底座、20’ -柔性盖板、80’ -柔性连接环、90’ -柔性下槽、100’ -柔性上槽。 【具体实施方式】 为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的【具体实施方式】做详细的说明。需说明的是，本专利技术附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。 实施例1 本实施例的物镜框架连接件，图2?6所示，包括:柔性底座10、柔性盖板20、双头螺栓30以及蝶形弹簧组40。其中，所述柔性底座10与柔性盖板20通过所述双头螺栓30相连，并且所述柔性底座10和柔性盖板20分别与物镜框架200固定连接，所述蝶形弹簧组40固定在所述双头螺栓30上。具体地，所述物镜框架连接件用于两个物镜框架200之间的连接，蝶形弹簧组40用于对物镜框架连接件进行预加载，双头螺栓30起到单向锁紧的作用，可以提高物镜框架连接件的连接稳定性。由于双头螺栓30、柔性底座10和柔性盖板20都可以快速拆卸和安装，因此，物镜框架200的各框面均可以设计成可拆卸连接方式，在物镜框架200搭建完成后，可以仅拆卸物镜框架200的两块前框面来进行集成或维修，同样也可以避免物镜框架200以及内部各模块之间的扰动影响。又由于物镜框架200上的连接件越多，连接的接触点越多，连接越紧密，物镜框架200之间的连接刚度就越高，相应的物镜框架200整体模态也越高。因此，实际应用中，连接的接触点根据物镜框架200的大小决定，一般连接的接触点间的距离与框架边长的比值在1:5至1:7之间，当框架之间连接其他部位(如物镜托架)时可以在该部位的周边适当增加连接点数；根据物镜框架200的大小，设计物镜框架连接件的数目和接触点，即可确保物镜框架200具有较高的模态，从而降低物镜框架200对主基板的低频区域扰动力的响应。 较佳的，请继续参照图2?3，所述物镜框架连接件还包括锁紧螺母50，所述锁紧螺母50通过垫片60固定在所述双头螺栓30的顶部，用于锁紧柔性盖板20和柔性底座10，避免柔性盖板20和柔性底座10发生松动，对物镜框架200造成影响。进一步的，所述蝶形弹簧组40同样通过垫片60与所述柔性底座10接触。 请继续本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物镜框架连接件，其特征在于，包括：柔性底座、柔性盖板、双头螺栓以及蝶形弹簧组，所述柔性底座与柔性盖板通过所述双头螺栓相连，并且所述柔性底座和柔性盖板分别与物镜框架固定连接，所述蝶形弹簧组固定在所述双头螺栓上；所述柔性底座和柔性盖板的结构均为周向对称的结构；所述柔性底座和柔性盖板的轴向刚度和剪切向刚度范围均在0.1×105N/mm～10×105N/mm之间。

【技术特征摘要】
1.一种物镜框架连接件，其特征在于，包括:柔性底座、柔性盖板、双头螺栓以及蝶形弹簧组，所述柔性底座与柔性盖板通过所述双头螺栓相连，并且所述柔性底座和柔性盖板分别与物镜框架固定连接，所述蝶形弹簧组固定在所述双头螺栓上；所述柔性底座和柔性盖板的结构均为周向对称的结构；所述柔性底座和柔性盖板的轴向刚度和剪切向刚度范围均在 0.1 X 105N/mm ?10 X 105N/mm 之间。2.如权利要求1所述的物镜框架连接件，其特征在于，还包括锁紧螺母，所述锁紧螺母通过垫片固定在所述双头螺栓的顶部。3.如权利要求1所述的物镜框架连接件，其特征在于，所述蝶形弹簧组通过垫片与所述柔性底座接触。4.如权利要求1所述的物镜框架连接件，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：季采云，赵灿武，吴飞，王璟，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31