利用静电悬浮的基板移送装置制造方法及图纸

本发明专利技术旨在提供一种当需要在半导体、显示装置等的各种制造工序中移送基板时，无机械式接触地移送基板的基板移送装置。根据所述目的，本发明专利技术提供一种基板移送方法及装置，在将移动基板的路径上安装轨道，在所述轨道上相互隔开地形成多个导电体区域，在将沿着所述轨道进行移送的基板上附着或涂布导电体，向在轨道上形成的导电体接入电压，轨道的导电体带电并生成的静电场使处于附近的基板上的导电体带感应电荷，引力在所述轨道与基板中相互作用，从而使基板悬浮到轨道侧，在如此悬浮的状态下，使基板不接触轨道，在保持既定距离的同时，沿著轨道滑动。

【技术实现步骤摘要】
利用静电悬浮的基板移送装置及基板移送方法
本专利技术涉及半导体、显示装置元件等的制作过程中需要的基板移送装置，更详细而言，涉及一种针对主要为在真空中移送基板而固定安装的轨道，在基板与轨道之间利用静电力使基板与轨道耦合而进行移送的基板移送方法及装置。
技术介绍
以往，在OLED元件等的半导体制作工序中，为了在真空中移送基板，利用机械臂或其它机械式设备支撑基板的重量，使基板移送。但是，利用机械式设备的以往技术不仅复杂、昂贵、沉重、体积大，而且发生粒子，对OLED元件质量造成不良影响。所述机械式设备要求使基板附著于移送装置的夹持过程，使用真空夹头、静电夹头、磁性夹头等各种夹头，其中，静电夹头大致利用静电使基板与基板座(也称为夹盘)附着并移送(参照大韩民国注册专利第10-1001454号等)。就静电夹头而言，夹持后使用机械式移送设备，因而当然也存在所述问题。
技术实现思路
本专利技术旨在解决所述问题，其目的是提供一种新方式的基板移送方法及装置，通过机械式设备支撑基板的重量，摆脱把基板接触附着于夹盘的以往夹头概念，能够以非接触式沿着轨道移送基板。本专利技术的技术解决方案在于：根据所述目的，本专利技术提供一种基板移送方法及装置，在将移动基板的路径上安装轨道，在所述轨道上相互隔开地形成多个导电体区域，在将沿着所述轨道进行移送的基板上附着或涂布导电体，向在轨道上形成的导电体接入电压，轨道的导电体带电并生成的静电场使处于附近的基板上的导电体带感应电荷，引力在所述轨道与基板中相互作用，从而使基板悬浮到轨道侧，在如此悬浮的状态下，使基板不接触轨道，在保持既定距离的同时，沿著轨道滑动。另外，为借助于静电力，基板不接触轨道，在保持既定间隔的状态下静电悬浮移送，作为能够保持间隔的设备，本专利技术提供一种包括反馈的接入电压控制设备，能够感知间隔并以此为反馈来调节接入电压。本专利技术的有益效果在于：根据如上的本专利技术，提供一种在使机械式要素最少化或完全排除的同时，在真空中移送基板的系统，从而具有以轻便、简单、低廉的设备替代以往沉重、复杂、制作和维护费用昂贵的机械式基板移送方式的效果。特别是本专利技术的系统作为使机械式接触最少化或完全排除的悬浮移送系统，具有能够使粒子的发生实现最小化或完全消除的优点。附图说明图1作为本专利技术的优选实施例，是显示在基板(100)上形成的导电体(110)与在轨道(200)上形成的相互隔开的多个导电体(210)的俯视图。图2是显示由图1的基板(100)和轨道(200)构成的静电悬浮基板夹头的概略图。图3是显示在轨道(200)侧构成用于水平驱动图2所示静电悬浮基板夹头的滚轮(300)的概略性剖面图。图4是显示根据本专利技术的又一优选实施例构成静电悬浮基板夹头的方法的概略性剖面构成图。图5以电路图表现图4。图6是为利用图4所示方式水平驱动基板而显示基板侧导电体与轨道侧导电体形状的俯视图。图7是显示用于在静电悬浮基板夹头中保持基板与轨道间间隔的反馈装置的概略构成图。图8是显示图7所示反馈装置变形的又一实施例的概略构成图。图9是显示利用光距离传感器的基板与轨道间间隔保持反馈系统的概略构成图。具体实施方式下面参照附图，对本专利技术优选实施例进行详细说明。静电悬浮基板夹头移送装置实施例为了OLED沉积，基板的下部应暴露于沉积源，因而支撑基板而使基板不因策略而下垂的轨道应安装于基板上方，应使位于下方的基板以利用静电引力而悬浮的状态移送。因此，为了使基板悬浮于轨道一侧而与轨道耦合，如图1所示构成基板和轨道。图1显示出为体现本专利技术的静电悬浮基板夹头而在基板(100)和轨道(200)上形成的导电体(210)的形状。在基板(100)侧形成多个实线形导电体(110)，在轨道(200)侧形成多个虚线形导电体(210)。把实线形导电体(110)与虚线形导电体(210)分别表现为3行，这只是示例，也可以只以1行以上形成。在相互隔开的轨道(200)侧导电体(210)上交替连接阳极与阴极，这是为了不电气接触基板侧导电体，基板与轨道的导电体构成电容器形态，从而使得在基板(100)侧形成感应电荷。如果是形成电气接触基板侧导电体的情形，则两侧导电体可均以实线形形成。导电体(110,210)的形成可以通过附着导电体膜而简便地进行，但此外也可以利用各种涂布方法(旋涂、打印、喷涂等)进行。在图2的概略图中，图示了如图1所示分别形成有导电体(110,210)的基板(100)和轨道(200)的结构和带电的电荷。即，向在轨道侧的虚线形导电体(210)全部连接电源，接入电压，但相互相邻的导电体接入极性互不相同的电压。交替感应+电荷与-电荷的轨道侧导电体(210)在其下方隔开的基板侧实线形导电体(110)中感应相互相反的电荷。在基板侧导电体(110)中，与轨道侧导电体(210)的电荷互补地相互相邻交替出现-/+电荷，从而使基板(100)悬浮到静电引力固定的轨道(200)侧。基板侧导电体是一条连续的实线形，因而所述感应电荷的位置即使基板前后移送也不变化，始终在轨道侧导电板的下方形成，结果，具有引力持续进行作用的特征。该方法由于无需电气接触基板侧导电体，因而具有不接触任何物体也能够产生所需电位差及静电引力的优点。此时，基板应在因静电引力而与轨道保持既定距离的状态下腾起，沿著轨道移送，静电引力如下面的计算结果所示，与距离的平方成反比，因而距离越近，引力越大，存在基板无法与轨道保持既定距离而贴到一起的问题。假定附着于基板与轨道的相互相向的宽度为w的两导电板之间的距离d与宽度相比非常小(d《w)。那么，两导电板构成容量为C＝ε0A/d的平行板电容器，如果在其之间接入电压V，则带有Q＝CV电荷，其中，ε0与A分别是真空的介电常数与导电板的相互相向部分的面积。电容器中带电的电荷所具有的静电势能为U＝(1/2)CV2＝(ε0A/2d)V2因此，两板之间的引力F为F＝(ε0A/2d2)V2如上所述，距离d越小，引力越大，结果，基板贴到轨道上，因此，需要一种防止这种现象，使得保持既定距离的设备。另外，需要追加具备非接触式推进(驱动)装置或线性马达，使得能够无机械式接触地使基板加速或减速，可以调节基板的移送速度。作为对此的解决办法，可以如图3所示提出安装轨道(200)侧的滚轮(300)。静电悬浮基板移送实施例1在轨道(200)上安装滚轮(300)，滚轮(300)的下端一部分从轨道(200)底面稍稍凸出。因此，因静电力而悬浮的基板(100)与滚轮接触，借助于滚轮(300)，不附著于轨道(200)，而是保持既定间隔，而且，借助于滚轮(300)的滚动而进行水平移动。即，借助于滚轮(300)，基板(100)不附着于轨道(200)，而是保持间隔，以马达等驱动滚轮(300)，在基板(100)上水平移送。所述方法形成了借助于滚轮(300)的机械式接触，但与其它以往方法相比，接触面积被最小化为很小的触点，接触结构非常简单，粒子的生成也显著减少。所述滚轮(300)在以绝缘体构成时，在电气上不产生任何影响，当应用所述电压接入方法时，不发生任何问题。此时，滚轮(300)只发挥作为悬浮的基板与轨道间的间隙保持体以及基板驱动设备的作用。静电悬浮基板移送实施例2不同于所述实施例1，使用以导体构成的滚轮(300)，如果使滚轮(300)在接触基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用静电悬浮的基板移送装置，作为移送基板的装置，其特征在于，包括：固定轨道，其形成一个以上的导电体；基板，其形成一个以上的导电体；以及电压接入设备，其在轨道侧导电体与基板侧导电体之间生成电位差；并且，为了借助于所述接入的电压，使轨道侧导电体和基板侧导电体带有电荷，利用作用于带电的电荷之间的静电力，使基板悬浮于空中，具备：间隔保持设备，其与轨道保持间隔，使得不接触轨道；驱动设备，其使基板沿着所述轨道移送；以基板与轨道保持间隔的悬浮状态移送基板。

【技术特征摘要】
2013.03.18 KR 10-2013-00284051.一种利用静电悬浮的基板移送装置，作为移送基板的装置，其特征在于，包括：轨道，其形成一个以上的导电体；基板，其位于所述轨道下方且形成一个以上的导电体；电压接入设备，其在轨道侧导电体与基板侧导电体之间生成电位差；间隔保持设备，其与轨道保持间隔，使得不接触轨道；以及驱动设备，其使基板沿着所述轨道移送，其中，为了借助于接入的电压，使轨道侧导电体和基板侧导电体带有电荷，利用作用于带电的电荷之间的静电力，使基板悬浮于空中，以基板与轨道保持间隔的悬浮状态移送基板。2.根据权利要求1所述的利用静电悬浮的基板移送装置，其特征在于，轨道侧导电体由一个以上的虚线形导电体形成，基板侧导电体由一个以上的实线形导电体形成，向构成所述虚线形导电体的相互相邻但电气隔离的各个点状导电体交替接入(+)极与(-)极电压，所述轨道侧虚线形导电体中带电的电荷在基板侧导电体中诱导互补性电荷。3.根据权利要求1或2所述的利用静电悬浮的基板移送装置，其特征在于，所述间隔保持设备是安装于轨道的滚轮，所述滚轮的一部分安装于轨道，且从轨道底面凸出，防止基板因静电引力而贴紧轨道。4.根据权利要求3所述的利用静电悬浮的基板移送装置，其特征在于，所述滚轮以导体为材质，向所述滚轮连接电源，作为对基板侧导电体的电压接入设备，使滚轮电气接触基板侧导电体并滚动，从而通过滚轮使基板静电悬浮并进行移送。5.根据权利要求1或2所述的利用静电悬浮的基板移送装置，其特征在于，所述间隔保持设备把RF或高频一同接入借助于轨道侧导电体和基板侧导电体形成的电容器与电感器，构成LC谐振电路。6.根据权利要求1所述的利用静电悬浮的基板移送装置，其特征在于，使基板沿着轨道移送的驱动设备包括静电马达，所述静电马达包括轨道侧导电体和基板侧导电体，所述轨道侧导电体以虚线形形成，以相邻4个隔开的导电体为单位，接入以+/0/-/0或-/0/+/0为一个周期的电压，进行基板移送时，构成一个单位的所述导电体的电压极性，分别分区间地构成0/+/0/-或0/-/0/+中的一方，持续进行基板移送，所述基板侧导电体针对构成所述轨道侧导电体虚线的各点状导电体，交替对应地以带有间隙的虚线形形成，交替接入+电压和-电压，借助于接入轨道侧导电体的电压，使静电引力与斥力同时作用，以静电线性马达方...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑光镐，
申请(专利权)人：株式会社延原表，
类型：发明
国别省市：韩国;KR