【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法及结构，属于半导体生产设 备改造
。 一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法及结构
技术介绍
现有的蒸发设备外壁设有放开式循环冷却水系统，该冷却水系统中的冷却水管太 细，使用一段时间之后，冷却水管通常会被污染和腐蚀，冷却水管内充满了污泥和菌藻类物 质，造成冷却水管堵塞，致使制冷效果变差，蒸发设备经常出现问题，影响产品质量，降低了 产品的成品率，会给企业带来很大的损失。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法及结构，以解 决蒸发设备冷却水系统失效后制冷效果变差的问题，从而克服现有技术的不足。 本专利技术的技术方案： 一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法，该方法是在蒸发设备内加装一套冷阱，以 便更快速的凝结蒸发设备中的水蒸汽和其它高沸点气体，提高蒸发设备的抽速，提高系统 真空度。 前述方法中，所述冷阱底部设有油分子挡板，通过油分子挡板减少扩散泵返油造 成的真空室污染。 前述方法中，所述冷阱的形状底部直径大于顶部直径的螺旋管，冷却水从冷阱底 部的螺旋管入口进入从冷阱顶部的螺旋管出口流出，通过冷却水使冷阱始终处于低温状 态，加速蒸发设备中水蒸汽在冷阱表面的凝结。 根据上述方法构成的本专利技术的一种蒸发设备结构，包括蒸发设备的筒体，筒体的 下方设有加热器，筒体底部装有硅油，硅油液面以上的筒壁上设有排气口，筒体内设有蒸汽 导管，蒸汽导管顶部设有喷嘴，筒体的外壁设有冷却水管；所述蒸汽导管与筒体之间设有冷 阱。 根据前述方...
【技术保护点】
一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法，其特征在于：该方法是在蒸发设备内加装一套冷阱，以便更快速的凝结蒸发设备中的水蒸汽和其它高沸点气体，提高蒸发设备的抽速，提高系统真空度。
【技术特征摘要】
1. 一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法，其特征在于：该方法是在蒸发设备内加 装一套冷阱，以便更快速的凝结蒸发设备中的水蒸汽和其它高沸点气体，提高蒸发设备的 抽速，提1?系统真空度。2. 根据权利要求1所述方法，其特征在于：所述冷阱底部设有油分子挡板，通过油分子 挡板减少扩散泵返油造成的真空室污染。3. 根据权利要求1所述方法，其特征在于：所述冷阱的形状底部直径大于顶部直径的 螺旋管，冷却水从冷阱底部的螺旋管入口进入从冷阱顶部的螺旋管出口流出，通过冷却水 使冷阱始终处于低温状态，加速蒸发设备中水蒸汽在冷阱表面的凝结。4. 一种根据权利要求1-3任一权利要求所述方法构成的蒸发设备结构，包括蒸发设备...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺波，刘态铭，朱建凯，蒋秀英，
申请(专利权)人：中国振华集团永光电子有限公司，
类型：发明
国别省市：贵州;52
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