用于间隔开在矩阵结构中布置电子部件的方法和设备技术

本发明专利技术涉及一种用于间隔开布置在矩阵结构中的电子部件的方法，包括以下处理步骤：A)拾取布置在初始矩阵结构中的一组电子部件的一部分；以及B)将所述拾取的电子部件放下到载体上。本发明专利技术还涉及一种用于间隔开布置在矩阵结构中的电子部件的设备。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于间隔开在矩阵结构中布置电子部件的方法和设备
本专利技术涉及用于间隔开在矩阵结构中布置电子部件的方法和设备。在该方法中， 拾取布置在初始矩阵结构中的一组电子部件的一部分，并且将所拾取的电子部件放下到 载体上。该设备具备用于布置在初始矩阵结构中的电子部件的进给口，上面设置有所拾取 的电子部件的载体，以及用于拾取在初始矩阵结构中供给的电子部件的子组的至少一个操 纵器。
技术介绍
矩阵结构中供给的电子部件的重组（诸如像在半导体的生产中）是已知的。在制 造过程中，半导体例如因此经历在不同的处理站中执行的不同的连续流程工艺。在这些处 理站之间运送这些半导体。为此目的，通常在生产位置内使用标准化的载体。大部分处理 站传送矩阵结构中的电子部件，尽管肯定不总是在立即可用的配置中。因此，有可能彼此间 距、相对定向和/或（如果涉及分批生产步骤）初始矩阵结构中的组大小不能对应于其中 执行具体后续工艺的电子部件的定向。用于修改以矩阵形式供给的电子部件的相对定向的 方法和设备的实例，其中就在本 申请人:的国际专利申请W007011218中描述。此公开中描述 的方法和设备功能是充分的，尽管在电子部件的有效重组方面的灵活性具有限制。 本专利技术的目的是提供一种在修改其中供给电子部件的矩阵结构的相对定向方面 具有比现有技术具有更大的灵活性的方法和设备。还有一个特别目的是使得能够更有效地 重组放在矩阵结构中的非常小的电子部件。
技术实现思路
为此目的，本专利技术提供一种用于间隔开在矩阵结构中布置电子部件的方法，包括 以下处理步骤：A)拾取布置在初始矩阵结构中的一组电子部件的一部分；以及B)将所拾取 的电子部件放下到载体上，其中电子部件被放下到修改后的矩阵结构中的载体上的连续子 组中，这样使得修改后的矩阵结构的行数小于电子部件的初始矩阵结构的行数。在此，通过 电子部件的行和列形成电子部件的矩阵结构，其中矩阵结构的行的方向基本上对应于电子 部件的（主要）运送方向。列的方向通常位于基本上垂直于矩阵结构的行的方向。载体通 常由（但是并非必须）平面载体形成，例如，以可选地具备单独产品托架的一个或多个载体 板的形式，或者具有用于电子部件的多个平行引导通道的载体形式，或者传送带或其他类 型的可从顶侧接近的载体形式。应用此方法的优点在于，增加在处理以矩阵格式供给的电 子部件方面的灵活性；不仅所供给部件之间的间距可以这样被修改而且其中供给电子部件 的行的数量也有灵活性。特别是在较小电子部件的情况下（在此设想例如，具有仅几 mm2 的上表面积的电子部件），可能需要例如在分开电子部件之后立刻减少其中供给电子部件 的矩阵布置的行数，以便因此使得有可能间隔开电子部件的行，而这不会导致有待放出的 电子部件的矩阵布置的宽度的非常明显的增加。 可取的是通过提供有啮合位置的操纵器来啮合电子部件，啮合位置的相对定向对 应于有待结合的电子部件的子组的定向。根据条件，在此有可能选择使用较复杂的操纵器 (操纵器的啮合位置的相对定向通过操纵器在处理步骤A)与B)之间改变），或者结构上简 单的操纵器（操纵器的啮合位置的相对定向通过操纵器在处理步骤A)与B)之间不改变）。 当在处理步骤B)期间通过操纵器放下所拾取的电子部件时，它们可以同时放下 到载体上或者它们可以在连续的子步骤中放下到载体上。当放下发生在子步骤中时，有可 能通过在两个连续放下步骤中将载体和操纵器相对于彼此移位来影响电子部件的相互间 距。 在电子部件必须旋转的情况下，在至少一个部件运送操作过程中这样做是引人注 意的。为此目的，可以例如使操纵器适配以在转移操作过程中旋转由操纵器啮合的电子部 件。 电子部件的子组可以由操纵器所需的方式啮合。因此，有可能借助于负压或以机 械方式哨合电子部件。 在根据本专利技术的方法的另一个变体中，将电子部件放下到修改后的矩阵结构中的 载体上的连续子组中，这样使得修改后的矩阵结构的行数与电子部件的原始矩阵结构的行 数相比减半。在此变体中，随后还进一步有可能啮合电子部件的第一子组中的电子部件的 所供给组的每个其他单独部件并将它们放下到修改后的矩阵结构的载体上，并且随后接着 啮合第二子组中的电子部件的所供给组的剩余部件并将它们放到载体上，这样使得第二子 组的电子部件随后位于载体上的第一子组的电子部件之间。因此，可以发生电子部件的奇 数和偶数处理，其中两行电子部件彼此合并。因此，有待放出的电子部件的行数与电子部件 的供给行数相比将会减半。 在连续的转移操作过程中运送的部件数量可以相同，尽管本专利技术还提供在第一转 移操作中啮合的电子部件数量与在后续转移操作过程中啮合的电子部件数量不同的选择。 本专利技术还提供一种用于间隔开布置在矩阵结构中的电子部件的设备，其包括：用 于布置设置在初始矩阵结构中的电子部件的供给口；上面放有所拾取的电子部件的载体、 用于拾取在初始矩阵结构中供给的电子部件的子组的至少一个操纵器，其中该供给口适于 运载X行电子部件并且上面放有电子部件的载体适于运载Y行电子部件，其中Χ>γ。因此， 可以如上所述参照根据本专利技术的方法实现优点。供给口将通常适于运载/供给偶数数量行 的电子部件，并且此数量可以在转移到出口的过程中减半（即，X = 2Υ)。 不仅电子部件的供给口上的行数X与出口上的行数Υ不同，供给口上的X行之间 的相互间距也可以与出口上的Υ行之间的相互间距不同。因此，供给口上的X行之间的相 互间距有可能是出口上的Υ行之间的相互间距的两倍。使用此设备，供给的矩阵结构可以 被修改成具有一半行数的放出的矩阵结构，其比最初间隔开的行更加分开。 【附图说明】 将基于以下图中所示的非限制性的示例性实施例来进一步解释本专利技术。其中： 图1Α是根据本专利技术的设备的透视顶视图； 图1Β是作为如图1Α中所示的设备的部件的操纵器的透视底视图； 图1C是作为根据图1Α中的设备的部件的操纵器的替代实施例变体的透视底视 图； 图2是根据本专利技术的设备的替代实施例变体的透视图； 图3A和3B示出表示根据本专利技术的方法步骤的情况的两个示意性顶视图； 图4是根据本专利技术的用于转移电子部件的方法的另一个替代实施例变体的四个 阶段的示意性顶视图；以及 图5示出根据方法的第一阶段的如图4A中所示的紧密布置的一部分的视图，但是 现在更详细描述。 【具体实施方式】 图1示出矩阵结构中供给的用于间隔开的电子部件2的设备1。电子部件2的进 给口在此由可移位载体板3构成，使用进给机构（在此未进一步示出）将该板移动到所示 位置中。进给方向由箭头Pi指示。电子部件2在由十八行（X= 18)构成的矩阵结构中供 给汜），行的方向对应于进给方向Pi。 所供给的电子部件2由操纵器4啮合，为此目的该操纵器可以例如提供可以被抽 真空的开口 5 (在此不可见但是在图1B中示出）。开口 5还可以矩阵配置放置，然而这是具 有九个行6的配置。这些行6被安排以使得相互间距是其中供给电子部件2的行之间的相 互间距的两倍。使用操纵器4,可以一次啮合所供给的电子部件2的一个子组，S卩，呈现在 可移位载体板3上的矩阵配置的每个其他行。在操纵器4移位之后，操纵器本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于间隔开在矩阵结构中布置电子部件的方法，包括以下处理步骤：A)拾取布置在初始矩阵结构中的一组电子部件的一部分；以及B)将所述拾取的电子部件放下到载体上，其中所述电子部件被放下到修改后的矩阵结构中的所述载体上的连续子组中，这样使得所述修改后的矩阵结构的行数小于电子部件的所述初始矩阵结构的行数。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.02.14 NL 20082901. 用于间隔开在矩阵结构中布置电子部件的方法，包括以下处理步骤： A)拾取布置在初始矩阵结构中的一组电子部件的一部分；以及B)将所述拾取的电子 部件放下到载体上，其中所述电子部件被放下到修改后的矩阵结构中的所述载体上的连续 子组中，这样使得所述修改后的矩阵结构的行数小于电子部件的所述初始矩阵结构的行 数。2. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电子部件通过具备啮合位置的操纵器 来啮合，所述啮合位置的相对定向对应于有待啮合的电子部件的所述子组的定向。3. 如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述操纵器的所述啮合位置的所述相对 定向在处理步骤A)与B)之间改变。4. 如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述操纵器的所述啮合位置的所述相对 定向在处理步骤A)与B)之间不改变。5. 如以上权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，由所述操纵器拾取的所有电子 部件在处理步骤B)期间被同时放下到所述载体上。6. 如权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，由所述操纵器拾取的所述电子 部件在处理步骤B)期间在连续子步骤中被放下到所述载体上。7. 如权利要求6所述的方法，其特征在于，在将所述电子部件放下到所述载体上的所 述连续子步骤之间，所述操纵器在与所述电子部件的所述行成角度的方向上移位。8. 如以上权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述电子部件在至少一个所述 处理步骤期间旋转。9. 如以上权利要求中任一项所述的方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：L·S·林格，W·A·汉内克，
申请(专利权)人：贝斯荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL