一种等离子体负载电路自动控制方法技术

本发明专利技术公开了一种等离子体负载电路自动控制方法，采用微控制器，微控制器通过两路数模转换通道调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值，微控制器还通过两路模数转换通道采集等离子体负载电路的入射功率测量值和反射功率测量值，通过多次调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值，可确保等离子体负载电路反射最小，负载吸收的功率最大。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及等离子体负载控制方法领域，具体是一种等离子体负载电路自动控制 方法。
技术介绍
传统的自动控制技术是利用外加的控制装置，使控制对象的某个工作状态或参数 自动地按照预定的规律运行。但是对于控制对象是接有等离子体负载的电路，由于等离子 体的不稳定性，电路的多个参数都处于不断变化之中，电路的运行规律也会发生变化。这 时，就无法给电路预先设定一个运行规律。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供，以解决现 有自动控制技术无法适用于接有等离子体负载电路的问题。 为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案为： ，其特征在于：采用微控制器，所述微控制器通过 两路彼此独立的数模转换通道分别调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率 设定值，微控制器还通过两路彼此独立的模数转换通道分别采集等离子体负载电路的入射 功率测量值和反射功率测量值，依次包括以下步骤： (1) 、在微控制器中写入等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值的初 始值，微控制器通过两路数模转换通道分别调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入 射功率设定值为初始值； (2) 、微控制器通过第二路数模转换通道固定等离子体负载电路的入射功率设定值为 初始值不变，并通过第一路数模转换通道改变等离子体负载电路的输入相位设定值，同时 微控制器通过第二路模数转换通道采集当等离子体负载电路的输入相位设定值改变时，等 离子体负载电路对应的反射功率测量值； (3) 、微控制器通过比较算法，找出步骤（2)中采集到的各个反射功率测量值的最小值， 并通过第一路数模转换通道将等离子体负载电路的输入相位设定值调节并固定为反射功 率测量值为最小值时对应的输入相位设定值； (4) 、微控制器通过第二路数模转换通道调节等离子体负载电路的入射功率设定值至 等离子体负载电路的启动功率值，并延时一段时间； (5) 、微控制器通过第二路数模转换通道固定等离子体负载电路的入射功率设定值为 启动功率值不变，并通过第一路数模转换通道改变等离子体负载电路的输入相位设定值， 同时微控制器再次通过第二路模数转换通道采集当等离子体负载电路的输入相位设定值 改变时，等离子体负载电路对应的反射功率测量值； (6) 、微控制器通过比较算法，找出步骤（5)中采集到的各个反射功率测量值的最小值， 并通过第一路数模转换通道将等离子体负载电路的输入相位设定值调节并固定为此时反 射功率测量值为最小值时对应的输入相位设定值； (7) 、微控制器通过两路模数转换通道采集此时等离子体负载电路的入射功率测量值 和反射功率测量值，并判断入射功率测量值与反射功率测量值的差值是否小于预设在微控 制器中的额定功率值，如果大于该额定功率值，则延时一段时间后，重新从步骤（5)开始重 复过程，如果小于该额定功率值，则微控制器通过第二路数模转换通道调节增大等离子体 负载电路的入射功率设定值，直至入射功率测量值与反射功率测量值的差值大于该额定功 率值。 本专利技术的有益效果是，可以对等离子体负载电路实现自动控制，确保等离子体负 载电路的反射功率最小，等离子体负载电路吸收的功率最大。 【附图说明】 图1为本专利技术所采用装置的原理框图。 图2为本专利技术方法的流程图。 【具体实施方式】 参见图1、图2所示，，采用微控制器，微控制 器通过两路彼此独立的数模转换通道DAC1、DAC2分别调节等离子体负载电路的输入相位 设定值和入射功率设定值，微控制器还通过两路彼此独立的模数转换通道ADC1、ADC2采集 等离子体负载电路的入射功率测量值和反射功率测量值，依次包括以下步骤： (1) 、在微控制器中写入等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值的初 始值，微控制器通过两路数模转换通道分别调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入 射功率设定值为初始值； (2) 、微控制器通过第二路数模转换通道DAC2固定等离子体负载电路的入射功率设定 值为初始值不变，并通过第一路数模转换通道DAC1改变等离子体负载电路的输入相位设 定值，同时微控制器通过第二路模数转换通道ADC2采集当等离子体负载电路的输入相位 设定值改变时，等离子体负载电路对应的反射功率测量值； (3) 、微控制器通过比较算法，找出步骤（2)中采集到的各个反射功率测量值的最小值， 并通过第一路数模转换通道DAC1将等离子体负载电路的输入相位设定值调节并固定为反 射功率测量值为最小值时对应的输入相位设定值； (4) 、微控制器通过第二路数模转换通道DAC2调节等离子体负载电路的入射功率设定 值至等离子体负载电路的启动功率值，并延时一段时间； (5) 、微控制器通过第二路数模转换通道DAC2固定等离子体负载电路的入射功率设定 值为启动功率值不变，并通过第一路数模转换通道DAC1改变等离子体负载电路的输入相 位设定值，同时微控制器再次通过第二路模数转换通道ADC2采集当等离子体负载电路的 输入相位设定值改变时，等离子体负载电路对应的反射功率测量值； (6) 、微控制器通过比较算法，找出步骤（5)中采集到的各个反射功率测量值的最小值， 并通过第一路数模转换通道DAC1将等离子体负载电路的输入相位设定值调节并固定为此 时反射功率测量值为最小值时对应的输入相位设定值； (7) 、微控制器通过两路模数转换通道采集此时等离子体负载电路的入射功率测量值 和反射功率测量值，并判断入射功率测量值与反射功率测量值的差值是否小于预设在微控 制器中的额定功率值，如果大于该额定功率值，则延时一段时间后，重新从步骤（5)开始重 复过程，如果小于该额定功率值，则微控制器通过第二路数模转换通道DAC2调节增大等离 子体负载电路的入射功率设定值，直至入射功率测量值与反射功率测量值的差值大于该额 定功率值。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子体负载电路自动控制方法，其特征在于：采用微控制器，所述微控制器通过两路彼此独立的数模转换通道分别调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值，微控制器还通过两路彼此独立的模数转换通道分别采集等离子体负载电路的入射功率测量值和反射功率测量值，依次包括以下步骤：（1）、在微控制器中写入等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值的初始值，微控制器通过两路数模转换通道分别调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值为初始值；（2）、微控制器通过第二路数模转换通道固定等离子体负载电路的入射功率设定值为初始值不变，并通过第一路数模转换通道改变等离子体负载电路的输入相位设定值，同时微控制器通过第二路模数转换通道采集当等离子体负载电路的输入相位设定值改变时，等离子体负载电路对应的反射功率测量值；（3）、微控制器通过比较算法，找出步骤（2）中采集到的各个反射功率测量值的最小值，并通过第一路数模转换通道将等离子体负载电路的输入相位设定值调节并固定为反射功率测量值为最小值时对应的输入相位设定值；（4）、微控制器通过第二路数模转换通道调节等离子体负载电路的入射功率设定值至等离子体负载电路的启动功率值，并延时一段时间；（5）、微控制器通过第二路数模转换通道固定等离子体负载电路的入射功率设定值为启动功率值不变，并通过第一路数模转换通道改变等离子体负载电路的输入相位设定值，同时微控制器再次通过第二路模数转换通道采集当等离子体负载电路的输入相位设定值改变时，等离子体负载电路对应的反射功率测量值；（6）、微控制器通过比较算法，找出步骤（5）中采集到的各个反射功率测量值的最小值，并通过第一路数模转换通道将等离子体负载电路的输入相位设定值调节并固定为此时反射功率测量值为最小值时对应的输入相位设定值；（7）、微控制器通过两路模数转换通道采集此时等离子体负载电路的入射功率测量值和反射功率测量值，并判断入射功率测量值与反射功率测量值的差值是否小于预设在微控制器中的额定功率值，如果大于该额定功率值，则延时一段时间后，重新从步骤（5）开始重复过程，如果小于该额定功率值，则微控制器通过第二路数模转换通道调节增大等离子体负载电路的入射功率设定值，直至入射功率测量值与反射功率测量值的差值大于该额定功率值。...

【技术特征摘要】
1. 一种等离子体负载电路自动控制方法，其特征在于：采用微控制器，所述微控制器 通过两路彼此独立的数模转换通道分别调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入射 功率设定值，微控制器还通过两路彼此独立的模数转换通道分别采集等离子体负载电路的 入射功率测量值和反射功率测量值，依次包括以下步骤： (1) 、在微控制器中写入等离子体负载电路的输入相位设定值和入射功率设定值的初 始值，微控制器通过两路数模转换通道分别调节等离子体负载电路的输入相位设定值和入 射功率设定值为初始值； (2) 、微控制器通过第二路数模转换通道固定等离子体负载电路的入射功率设定值为 初始值不变，并通过第一路数模转换通道改变等离子体负载电路的输入相位设定值，同时 微控制器通过第二路模数转换通道采集当等离子体负载电路的输入相位设定值改变时，等 离子体负载电路对应的反射功率测量值； (3) 、微控制器通过比较算法，找出步骤（2)中采集到的各个反射功率测量值的最小值， 并通过第一路数模转换通道将等离子体负载电路的输入相位设定值调节并固定为反射功 率测量值为最小值时对应的输入相位设定值； (4) 、微控制器通过第二路数模转换...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭承尧，贾华，朱梁，单家芳，刘甫坤，
申请(专利权)人：单家芳，刘甫坤，
类型：发明
国别省市：安徽;34