磁性退火装置制造方法及图纸

在本发明专利技术的磁性退火装置中，隔着开闭门形成有用于输送收纳有一组被处理体的收纳容器的收纳容器输送区域和用于输送被处理体的被处理体输送区域，磁性退火装置具有控制部，在收纳容器输送区域内配置有：第1载置台；多个第2载置台；保存部；以及收纳容器输送机构，其用于在第1载置台、第2载置台以及保存部之间输入、输出收纳容器；在被处理体输送区域内配置有：对准器；被处理体保持部件；被处理体输送机构，其用于在载置于第2载置台的收纳容器、对准器以及被处理体保持部件之间输送被处理体；加热部件；磁场产生部件；以及移载机构，其用于将保持于被处理体保持部件的被处理体移载到磁场产生部件内。

【技术实现步骤摘要】
磁性退火装置
本专利技术要求以2013年3月21日提出申请的日本出愿特愿第2013－058325号和2013年3月21日提出申请的日本出愿特愿第2013－058326号为基础的优先权，并将其公开内容全部引入此。本专利技术涉及一种磁性退火装置。
技术介绍
近年来，作为下一代半导体存储器设备，作为非易失性存储器之一的MRAM（MagneticRandomAccessMemory：磁性随机存取存储器）备受关注。MRAM是通过在强磁场中对形成在例如作为半导体晶圆（以后，称作晶圆）的被处理体上的磁性体膜进行热处理（磁性退火）、而表现其磁特性而制造的。例如在日本特开2004－263206号中，公开了一种使用了螺线管型的超导磁体作为用于磁性退火的磁场产生部件的、设置面积比较小的磁性退火装置。
技术实现思路
根据本专利技术的第1技术方案，提供一种磁性退火装置，在该磁性退火装置中，隔着开闭门而形成有用于输送收纳了一组被处理体的收纳容器的收纳容器输送区域和用于输送上述被处理体的被处理体输送区域，并具有控制部，在上述收纳容器输送区域内配置有：第1载置台，其用于载置被输入到该磁性退火装置的收纳容器；多个第2载置台，其用于载置上述收纳容器，以使得经由上述开闭门从上述收纳容器输送区域向上述被处理体输送区域气密地输送上述被处理体；保存部，其用于保存多个上述收纳容器；以及收纳容器输送机构，其用于在上述第1载置台、上述第2载置台以及上述保存部之间输入、输出上述收纳容器；在上述被处理体输送区域内配置有：对准器，其用于进行多个上述被处理体的对位；被处理体保持部件，其能够保持多组上述被处理体；被处理体输送机构，其用于在载置于上述第2载置台的收纳容器、上述对准器以及上述被处理体保持部件之间输送上述被处理体；加热部件，其用于对上述被处理体进行加热；磁场产生部件，其用于对上述被处理体施加磁场，并具有卧式超导磁体；以及移载机构，其用于将保持于上述被处理体保持部件的上述被处理体移载到上述磁场产生部件内。上述
技术实现思路
只是单纯用于说明，在任意方式中意图均不是进行限制。除了上述说明的方式、实施例以及特征以外，追加的方式、实施例以及特征通过参照附图和以下详细的说明也能够变明确。附图说明图1是晶圆的载体的一例的概略立体图。图2是磁性退火装置的一例的概略俯视图。图3是磁性退火装置的载体输送区域附近的概略纵剖视图。图4是磁性退火装置的晶圆输送区域附近的概略俯视图。图5是用于说明保持在晶圆舟皿内的晶圆的配置例的概略图。图6是用于说明晶圆舟皿的相对于磁场产生部件的输入或输出的概略图。具体实施方式在以下详细说明中，参照形成了说明书的一部分的添加的附图。详细的说明、附图以及权利要求书所记载的说明的实施例的意图并不在于进行限制。在不脱离在此所示的本专利技术的思想或范围的前提下能够使用其他实施例，而且能够进行其他变形。日本特开2004－263206号等的磁性退火装置是一种面向HDD（硬盘驱动器）或MRAM的研发的小规模的装置。若鉴于今后预测的MRAM的市场规模，则要求开发一种能够（半）连续地对许多张、例如100张晶圆进行处理的磁性退火装置。为了提高每单位时间的晶圆的处理张数，需要一种不仅能够成批处理许多张晶圆、而且能够在短时间内将下一批次的晶圆装入磁性退火装置内的装置结构。针对上述问题，目的在于提供一种能够连续地对许多张晶圆进行磁性退火处理的磁性退火装置。一般来说，半导体设备用的磁性退火装置所使用的超导磁体配设有用于抑制泄漏磁场的构件，因此存在重量和占有面积变大的倾向。另外，从磁性退火处理的处理效率的观点看，为了提高每单位时间的晶圆的处理张数，可考虑使用于实施磁性退火处理的超导磁体大型化。在使超导磁体大型化的情况下，由于设置上的限制，因此优选的是将超导磁体配置为大致卧式。但是，在将大型的磁性退火装置设置为卧式的情况下，有时超导磁体的轴线未成为水平。特别是在磁性退火处理时，对晶圆面与磁力线之间的对位精度的要求非常高。因此，在设置时的螺线管型磁体的轴线方向自水平偏移的情况下，需要与该偏移相应地使用于将保持晶圆的晶圆保持部件输送到超导磁体的移载机构倾斜。但是，在使移载机构倾斜的情况下，与此相对应，晶圆保持部件也倾斜，因此在以往的晶圆输送机构中存在有时无法进行输送这样的问题。针对上述问题，目的在于提供一种能够高效地将晶圆输入磁性退火装置的磁性退火装置。根据本专利技术的第1技术方案，提供一种磁性退火装置，在磁性退火装置中，隔着开闭门形成有用于输送收纳了一组被处理体的收纳容器的收纳容器输送区域和用于输送上述被处理体的被处理体输送区域，并具有控制部，在上述收纳容器输送区域内配置有：第1载置台，其用于载置被输入到该磁性退火装置的收纳容器；多个第2载置台，其用于载置上述收纳容器，以使得经由上述开闭门从上述收纳容器输送区域向上述被处理体输送区域气密地输送上述被处理体；保存部，其用于保存多个上述收纳容器；以及收纳容器输送机构，其用于在上述第1载置台、上述第2载置台以及上述保存部之间输入、输出上述收纳容器；在上述被处理体输送区域内配置有：对准器，其用于进行多个上述被处理体的对位；被处理体保持部件，其能够保持多组上述被处理体；被处理体输送机构，其用于在载置于上述第2载置台的收纳容器、上述对准器以及上述被处理体保持部件之间输送上述被处理体；加热部件，其用于对上述被处理体进行加热；磁场产生部件，其用于对上述被处理体施加磁场，并具有卧式超导磁体；以及移载机构，其用于将保持于上述被处理体保持部件的上述被处理体移载到上述磁场产生部件内。在上述磁性退火装置中，上述控制部进行控制，以使得在将载置于上述多个第2载置台中的一个载置台上的上述收纳容器内的上述被处理体向上述被处理体保持部件输送的期间，将保存于上述保存部的上述收纳容器输送到上述多个第2载置台中的其他载置台。在上述磁性退火装置中，上述控制部对上述移载机构进行控制，以使得在预定数量组的上述被处理体保持于上述处理体保持部件之后，将上述处理体保持部件移载到上述磁场产生部件。在上述磁性退火装置中，上述控制部进行以下控制：（i）对上述被处理体输送机构进行控制，以使得将载置于上述多个第2载置台中的一个载置台上的上述收纳容器内的上述被处理体经由上述对准器输送到上述被处理体保持部件，（ii）对上述收纳容器输送机构进行控制，以使得在上述（i）中的输送期间，将载置于上述多个第2载置台中的其他载置台上的上述收纳容器自上述其他载置台输出，并且，将保存于上述保存部的上述收纳容器输送到上述其他载置台，（iii）对上述被处理体输送机构进行控制，以使得在将载置于上述一个载置台上的上述收纳容器内的上述被处理体全部输送到上述被处理体保持部件之后，将载置于上述其他载置台上的上述收纳容器内的上述被处理体经由上述对准器输送到上述被处理体保持部件，（iv）对上述收纳容器输送机构进行控制，以使得在上述（iii）中的输送期间，将载置于上述一个载置台上的上述收纳容器自上述一个载置台输出，并且，将保存于上述保存部的上述收纳容器输送到上述一个载置台，（v）对上述移载机构进行控制，以使得在重复上述（i）～（iv）而将预定数量组的上述被处理体保持于上述被处理体保持部件之后，将上述被处理体保持部件移载到上述磁场产生部件内。在上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁性退火装置，在磁性退火装置中，隔着开闭门形成有用于输送收纳有一组被处理体的收纳容器的收纳容器输送区域和用于输送上述被处理体的被处理体输送区域，该磁性退火装置具有控制部，其中，在上述收纳容器输送区域内配置有：第1载置台，其用于载置被输入到该磁性退火装置的收纳容器；多个第2载置台，其用于载置上述收纳容器，以使得经由上述开闭门从上述收纳容器输送区域向上述被处理体输送区域气密地输送上述被处理体；保存部，其用于保存多个上述收纳容器；以及收纳容器输送机构，其用于在上述第1载置台、上述第2载置台以及上述保存部之间输入、输出上述收纳容器；在上述被处理体输送区域内配置有：对准器，其用于进行多个上述被处理体的对位；被处理体保持部件，其能够保持多组上述被处理体；被处理体输送机构，其用于在载置于上述第2载置台的收纳容器、上述对准器以及上述被处理体保持部件之间输送上述被处理体；加热部件，其用于对上述被处理体进行加热；磁场产生部件，其用于对上述被处理体施加磁场，并具有卧式超导磁体；以及移载机构，其用于将保持于上述被处理体保持部件的上述被处理体移载到上述磁场产生部件内。

【技术特征摘要】
2013.03.21 JP 2013-058325;2013.03.21 JP 2013-058321.一种磁性退火装置，在磁性退火装置中，隔着开闭门形成有用于输送收纳有一组被处理体的收纳容器的收纳容器输送区域和用于输送上述被处理体的被处理体输送区域，该磁性退火装置具有控制部，其中，在上述收纳容器输送区域内配置有：第1载置台，其用于载置被输入到该磁性退火装置的收纳容器；多个第2载置台，其用于载置上述收纳容器，以使得经由上述开闭门从上述收纳容器输送区域向上述被处理体输送区域气密地输送上述被处理体；保存部，其用于保存多个上述收纳容器；以及收纳容器输送机构，其用于在上述第1载置台、上述第2载置台以及上述保存部之间输入、输出上述收纳容器；在上述被处理体输送区域内配置有：对准器，其用于进行多个上述被处理体的对位；被处理体保持部件，其能够保持多组上述被处理体；被处理体输送机构，其用于在载置于上述第2载置台的收纳容器、上述对准器以及上述被处理体保持部件之间输送上述被处理体；加热部件，其用于对上述被处理体进行加热；磁场产生部件，其用于对上述被处理体施加磁场，并具有卧式超导磁体；以及移载机构，其用于将保持于上述被处理体保持部件的上述被处理体移载到上述磁场产生部件内。2.根据权利要求1所述的磁性退火装置，其中，上述控制部以如下方式进行控制：在将载置于上述多个第2载置台中的一个载置台上的上述收纳容器内的上述被处理体向上述被处理体保持部件输送的期间，将保存于上述保存部的上述收纳容器输送到上述多个第2载置台中的其他载置台。3.根据权利要求1所述的磁性退火装置，其中，上述控制部对上述移载机构进行控制，以使得在预定数量组的上述被处理体保持于上述处理体保持部件之后，将上述处理体保持部件移载到上述磁场产生部件。4.根据权利要求1所述的磁性退火装置，其中，上述控制部进行以下控制：(i)对上述被处理体输送机构进行控制，以使得将载置于上述多个第2载置台中的一个载置台上的上述收纳容器内的上述被处理体经由上述对准器输送到上述被处理体保持部件，(ii)对上述收纳容器输送机构进行控制，以使得在上述(i)中的输送期间将载置于上述多个第2载置台中的其他载置台上的上述收纳容器自上述其他载置台输出，并且，将保存于上述保存部的上述收纳容器输送到上述其他载置台，(iii)对上述被处理体输送机构进行控制，以使得在将载置于上述一个载置台上的上述收纳容器内的上述被处理体全部输送到上述被处理体保持部件之后，将载置于上述其他载置台上的上述收纳容器内的上述被处理体经由上述对准器输送到上述被处理体保持部件，(iv)对上述收纳容器输送机构进行控制，以使得在上述(iii)中的输送期间，将载置于上述一个载置台上的上述收纳容器自上述一个载置台输出，并且，将保存于上述保存部的上述收纳容器输送到上述一个载置台，(v)对上述移载机构进行控制，以使得在重复上述(i)～(iv)而将预定数量组的上述被处理体保持于上述被处理体保持部件之后，将上述被处理体保持部件移载到上述磁场产生部件内。5.根据权利要求1所述的磁性退火装置，其中，上述多个第2载置台为两个载置台，上述两个载置台沿铅垂方向串联配置。6.根据权利要求1所述的磁性退火装置，其中，上述被处理体为晶圆，上述收纳容器为FOUP，上述FOUP能够收纳25张上述晶圆，上述被处理体保持部件能够保持100张上述晶圆。7.一种磁性退火装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：小野裕司，石井亨，斋藤诚，小原美鹤，竹内靖，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP