本实用新型专利技术公开了一种基板检测装置，包括一设置于旋转腔体中的旋转机台，其特征在于，所述旋转机台包括一底座，位于所述底座上垂直设置多个有定位结构及支撑柱，所述支撑柱用于支撑基板，所述定位销用于基板的固定防止基板产生偏移；部分所述定位结构和/或支撑柱设置有传感器，每个所述传感器均与所述基板相接触，用于检测所述基板对所述定位结构和/或支撑柱产生的压力。在机台带动玻璃基板进行旋转时，通过延展臂上设置的压力传感器对基板进行实时监测，如果基板一旦出现严重偏移甚至破片，压力传感器则会通过报警装置发出报警信息通知操作人员机台上放置的基板已产生异常并进行排查，避免造成更大的损失。
【技术实现步骤摘要】
玻璃基板监测装置
本技术涉及显示面板制造领域，具体涉及一种玻璃基板监测装置，在玻璃基板旋转过程中实现对玻璃基板的异常情况进行监测。
技术介绍
如今，随着手机、电脑的迅速发展，人们对屏幕的要求也越来越高，显示面板行业也得到了飞速的发展。 传统工艺中，制备液晶显示器或玻璃基板等离子体显示器等显示器件时，使用的玻璃基板容易在保管或运输过程中，在其表面上容易产生瑕疵或污迹，进而造成产品缺陷。尤其是在需要对玻璃基板进行旋转操作时，需要将玻璃基板放置于旋转腔体中进行旋转，玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板具体的: 图1为传统的旋转腔体中旋转机台的结构示意图，如图1所示，该旋转机台上放置有玻璃基板7。该机台包括一圆形可旋转底座I，底座I中心设置有一光学感应器2。同时该底座I向外延伸有四根延展臂3及多根延伸杆4 ;每个延展臂3的末端皆垂直设置有两根固定销5，且每根固定销的高度皆相等； 在每根延展臂3、延伸杆4和底座上I方还设置有多根支撑柱6，支撑柱6在延展臂3、延伸杆4和底座呈均匀分布且每根支撑柱的顶面高度低于固定销5的高度。 在运输过程中，利用机械手臂将玻璃基板7放置于机台上，机台带动玻璃基板7并进行旋转。在传统技术中，可通过在底座I上增设一光学感应器2来监测机台上方是否放置有基板:如果光学感应器2感应到机台上方没有放置玻璃基板，则会通过报警装置通知操作人员。 但是操作人员发现，在机台带动玻璃基板进行旋转的过程中，玻璃基板极易产生碎片的情况，而传统技术中增设的光学感应器只能监测机台上方是否存在玻璃基板，无法监测玻璃基板的破片情况，如果有破损的玻璃基板没有被及时发现就进入下一道工序时，则会给生产造成不利影响，进而给生产造成损失。 中国专利(CN202594969U)公开了一种改善膜层厚度不均的玻璃基板旋转台，包括挡板外框，位于挡板外框内的旋转大盘，位于挡板外框和旋转大盘中心的台板旋转轴，固定在台板旋转轴上的方形台板；所述方形台板的尺寸略小于玻璃基板的尺寸，所述方形台板的边缘设有吸附孔，用于吸附玻璃基板的图像边缘。 但是在旋转过程中，玻璃基板可能受到旋转时离心力的作用容易产生偏移甚至破片，该文献也并没有提及如何来对玻璃基板的完好性进行实时监测，如果操作人员也无法及时获悉基板的异常状态，异常的基板就会直接进入下一工序，进而给工艺生产造成更大损失。
技术实现思路
本技术根据传统技术无法对基板完整性进行监测的不足，提供了一种基板监测装置，通过在旋转机台上设置有压力感应器，在将玻璃基板放置在机台上时，压力感应器与玻璃基板相接触，如果玻璃基板一旦产生偏移或者破片，压力感应器无法接收到来自玻璃基板正常的接触反馈，通过连接报警装置通过操作人员进行排查，避免产生异常的玻璃基板进入下一工序，进而造成更大的生产损失。 [0011 ] 本技术采用的技术方案为: 一种基板监测装置，包括一设置于旋转腔体中的旋转机台，其特征在于，所述旋转机台包括一底座，位于所述底座上垂直设置多个有定位结构及支撑柱，所述支撑柱用于支撑基板，所述定位结构用于基板的固定防止基板产生偏移； 部分所述定位结构和/或支撑柱设置有传感器，每个所述传感器均与所述基板相接触，用于监测所述基板对所述定位结构和/或支撑柱产生的压力。 上述的基板监测装置，其特征在于，所述传感器在所述机台静止时和机台转动时分别设置有不同的压力接触感测值范围来对基板进行监测。 上述的基板监测装置，其特征在于，所述旋转机台设置有多根延伸臂，所述定位结构均设置于所述延伸臂末端，且该定位结构为固定销。 上述的基板监测装置，其特征在于，所述传感器设置于所述固定销上和/或支撑柱的顶部表面。 上述的基板监测装置，其特征在于，相邻所述延展臂之间设置有多根延伸杆。 上述的基板监测装置，其特征在于，所述延伸杆的长度小于所述延展臂的长度。 上述的基板监测装置，其特征在于，所述延展臂关于所述底座中心对称，且所述延伸杆关于所述底座中心对称。 上述的基板监测装置，其特征在于，所述支撑柱的顶端低于所述固定销的顶端。 上述的基板监测装置，其特征在于，所述底座中心处设置有一传感器。 上述的基板监测装置，其特征在于，所述传感器为压力感应器或非接触式光学感应器。 上述的基板监测装置，其特征在于，各所述传感器均与一报警装置相连。 本技术通过在旋转机台的延展臂之上设置有压力感应器来对玻璃基板进行实时监测，如果玻璃基板某一位置处产生异常(如偏移或碎片)，压力感应器会及时通过报警装置通知操作人员进行排查，避免异常的玻璃基板进入到下一工序，造成更大的损失。 【附图说明】 通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本技术的主旨。 图1为传统的基板监测装置的示意图； 图2为本技术一种基板监测装置的示意图； 图3为本技术一种基板监测装置的局部示意图。 【具体实施方式】 下面结合附图对本技术的【具体实施方式】作进一步的说明: 如图2所示为本技术一种基板监测装置的示意图，本技术提供了一种基板监测装置，包括一设置于旋转腔体中的旋转机台，该机台包括一圆形的可旋转底座1，在该底座中心设置有一光学感应器2，该光学感应器2与一报警装置相连接。 底座上I上设置有定位结构和基板支撑柱，如图所示:底座I向外延伸有多根延展臂3及多根延伸杆4，延伸杆4的长度小于延展臂3的长度，且延展臂3和延伸杆4分别关于底座I的圆心中心对称。在本技术的实施例中，优选的，该机台设有4根延展臂。 每根延展臂3的末端皆设置有两根固定销8组成定位结构，同时在每根延展臂3、延伸杆4和底座I上方还设置有多根支撑柱6 ;由于支撑柱6的顶部高度低于固定销8的顶面高度，在支撑柱6将基板进行支撑的同时，固定销8组成的定位结构可放置基板在运动时滑出。 其中，部分固定销8和/或支撑柱6设置有传感器，每个传感器均与机台上方放置的基板相接触，该传感器为压力感应器或非接触式光学感应器，且每个传感器均与报警装置相连，用于监测所述基板对定位结构和/或支撑柱产生的压力。如果基板一旦产生偏移或破损，传感器即可接收到非正常的反馈信号，通过报警装置发出报警信息提醒操作人员，避免造成更大的生产损失。 图3为本技术一种基板监测装置的局部示意图，如图所示，延展臂3上的部分固定销8和/或支撑柱6的顶部表面设置有传感器9 (图示传感器设置在固定销8上)，该传感器为压力感应器或非接触式光学感应器。当将玻璃基板7放置在机台上方时，玻璃基板7位于支撑柱6上方，并与每个传感器形成接触。 在机台工作时，底座I中心的光学感应器可实时监控机台上方是否放置有玻璃基板，如果机台上方没有放置玻璃基板，光学感应器通过报警装置发出报警信息及时通知操作人员；如果机台上方放置有玻璃基板，则光学感应器不通过报警装置发出报警信息； 进一步的，当机台上方放置有基板时，延展臂3和延伸杆4上设置的支撑柱6将玻璃基板7承托起来；由于各支撑柱的顶部高度皆位于同一水平面上且与该水平面与地面平行，使得玻本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基板监测装置，包括一设置于旋转腔体中的旋转机台，其特征在于，所述旋转机台包括一底座，位于所述底座上垂直设置有多个定位结构及支撑柱，所述支撑柱用于支撑基板，所述定位结构用于防止基板产生偏移；部分所述定位结构和/或支撑柱设置有传感器，用于监测所述基板对所述定位结构和/或支撑柱产生的压力。
【技术特征摘要】
1.一种基板监测装置，包括一设置于旋转腔体中的旋转机台，其特征在于，所述旋转机台包括一底座，位于所述底座上垂直设置有多个定位结构及支撑柱，所述支撑柱用于支撑基板，所述定位结构用于防止基板产生偏移； 部分所述定位结构和/或支撑柱设置有传感器，用于监测所述基板对所述定位结构和/或支撑柱产生的压力。2.如权利要求1所述的基板监测装置，其特征在于，所述传感器在所述机台静止时和机台转动时分别设置有不同的压力接触感测值范围来对基板进行监测。3.如权利要求1所述的基板监测装置，其特征在于，所述机台设置有多根延伸臂，所述定位结构均设置于所述延伸臂末端，且该定位结构包括多个定位销。4.如权利要求3所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘峻承，谭莉，曾瑞轩，林信安，黄于维，林志明，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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