一种垂直磁传感器的检验及校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术揭示了一种垂直磁传感器的检验及校准装置，所述检验及校准装置包括测试板、螺旋线圈模块、金属导线，所述螺旋线圈模块包括一组、两组或多组螺旋线圈；各组螺旋线圈设置于测试板上或测试板内，螺旋线圈通过金属导线连接电源。本实用新型专利技术提出的垂直磁传感器的检验及校准装置，可产生稳定的、较高强度的垂直方向磁场，用于垂直磁传感器（Z轴磁传感器）的检验和校准。本实用新型专利技术对测试过程中磁传感器芯片位置的漂移有较大的容忍度，抗干扰性强，只需设计一组螺旋线圈，结构简单。

【技术实现步骤摘要】
一种垂直磁传感器的检验及校准装置
本技术属于磁传感
，涉及一种磁传感器，尤其涉及一种垂直磁传感器的检验及校准装置。
技术介绍
目前，在消费类电子产品中为了给用户带来导航方面的便利，越来越多地使用基于磁传感器技术的电子罗盘。近年来，对磁传感器的需求从两轴的平面磁传感器向三轴的全空间磁传感器发展。与两轴的平面磁传感器相比，三轴磁传感器多了一个感应垂直方向磁场的Z轴传感器。基于降低封装成本和器件尺寸的要求，将Z轴磁传感器与平面磁传感器集成为单芯片的三轴磁传感器是未来的发展方向。 大规模制备单芯片的三轴磁传感器需要使用半导体工艺，在半导体工艺中，需要对三轴磁传感器芯片的磁性能参数进行检验和校准，这其中最为困难的就是垂直磁传感器(Z轴磁传感器)灵敏度的检验和校准。在晶圆电测试中，需要检验Z轴灵敏度是否符合设计规范，将合格的传感器芯片挑选出来，随后将合格的传感器芯片和ASIC芯片一起封装，然后经过最终测试对垂直磁传感器的灵敏度进行校准，最终得到可以正常工作的三轴磁传感器。 由于垂直磁传感器的灵敏度相对较低，测试过程中噪音的干扰大，因此实现垂直磁传感器灵敏度的检验和校准是一个亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是:提供一种垂直磁传感器的检验及校准装置，可产生稳定的、较高强度的垂直方向磁场，用于垂直磁传感器(Z轴磁传感器)的检验和校准。 为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案: —种垂直磁传感器的检验及校准装置，所述检验及校准装置包括测试板、螺旋线圈模块、金属导线，所述螺旋线圈模块包括一组、两组或多组螺旋线圈； 各组螺旋线圈设置于测试板上或测试板内，螺旋线圈通过金属导线连接电源。 作为本技术的一种优选方案，所述螺旋线圈模块包括一组螺旋线圈，螺旋线圈位于测试板所在平面内；所述检验及校准装置包括两根金属导线，分别为第一金属导线、第二金属导线； 两根金属导线分别连接螺旋线圈的两端，第一金属导线设置于测试板上，第二金属导线设置于测试板内，第二金属导线连接螺旋线圈内测的一端。 作为本技术的一种优选方案，所述测试板上、螺旋线圈的中心区域为垂直磁传感器芯片的放置区域。 作为本技术的一种优选方案，所述检验及校准装置包括两根金属导线；所述螺旋线圈模块包括两组螺旋线圈，分别与第一螺旋线圈、第二螺旋线圈； 这两组螺旋线圈分为上下两层，分别位于测试板的表面和内部；所述第一螺旋线圈、第二螺旋线圈在内侧相互连接，第一螺旋线圈、第二螺旋线圈的外侧的两端分别与两根金属导线相连。 作为本技术的一种优选方案，所述测试板上、螺旋线圈的中心区域为垂直磁传感器芯片的放置区域。 作为本技术的一种优选方案，所述两组螺旋线圈的中心区域在测试板的投影相重合。 作为本技术的一种优选方案，所述螺旋线圈模块包括多组螺旋线圈；各组螺旋线圈依次首尾连接，串联在一起，各组螺旋线圈在通电后电流方向一致。 作为本技术的一种优选方案，所述螺旋线圈模块包括多组螺旋线圈，至少包括第一螺旋线圈、第二螺旋线圈、第三螺旋线圈； 第三螺旋线圈与第一螺旋线圈、第二螺旋线圈不连接，第一螺旋线圈与第二螺旋线圈连接或不连接；各组螺旋线圈在通电后电流方向一致。 作为本技术的一种优选方案，所述螺旋线圈模块包括多组螺旋线圈，各组螺旋线圈互不相连，通过各自的金属导线连接同一个电源或不同电源；各组螺旋线圈在通电后电流方向一致。 本技术的有益效果在于:本技术提出的垂直磁传感器的检验及校准装置，可产生稳定的、较高强度的垂直方向磁场，用于垂直磁传感器(Z轴磁传感器)的检验和校准。本技术对测试过程中磁传感器芯片位置的漂移有较大的容忍度，抗干扰性强，只需设计一组螺旋线圈，结构简单。 【附图说明】 图1是实施例一中本技术垂直磁传感器检验和校准装置的示意图。 图2是图1的A-A向剖视图(包含螺旋线圈产生的磁场分布)。 图3是实施例二中本技术垂直磁传感器检验和校准装置的示意图。 图4是图3的B-B向剖视图(包含螺旋线圈产生的磁场分布)。 【具体实施方式】 下面结合附图详细说明本技术的优选实施例。 实施例一 请参阅图1、图2，本技术揭示了一种垂直磁传感器的检验和校准装置，所述垂直磁传感器的检验装置包括测试板1，一组螺旋线圈2，两根金属导线4 ;螺旋线圈2位于测试板I的平面内(也可以位于测试板I上，即位于测试板I的表面)，两根金属导线4分别连接螺旋线圈2的两端，其中螺旋线圈2内测的一端与测试板I内部的那根金属导线4相连接(图1中虚线所示)。通过金属导线4给螺旋线圈2通入一定大小的电流，就可以在螺旋线圈2的中心区域产生垂直方向的磁场5。将待测试的垂直磁传感器芯片3置于螺旋线圈2的中心轴线上，则垂直磁传感器芯片3会感受到较高强度的垂直方向磁场5，通过测试程序的配合，就可以实现对垂直磁传感器芯片3的检验和校准。 由于在螺旋线圈2的中心区域的磁场主要集中于垂直方向，同时又因为垂直传感器芯片3对水平方向的磁场不敏感，因此当垂直磁传感器芯片3位于螺旋线圈2的中心区域附近都可以进行磁性参数的检验和校准。此外，在测试过程中，垂直磁传感器芯片3与螺旋线圈2相对位置会有轻微的漂移，此时垂直方向的磁场变化很小，使得垂直磁传感器芯片3的检验和校准的准确性和一致性都可以得到保证。 实施例二 请参阅图3、图4，本实施例与实施例一的区别在于，本实施例中，产生垂直方向磁场的螺旋线圈2有两组(分别为第一螺旋线圈、第二螺旋线圈)，这两组螺旋线圈分为上下两层，分别位于测试板的表面和内部，并在线圈的内侧相互连接(也可以是其他连接方式，如线从第一螺旋线圈的内侧连接至第二螺旋线圈的外侧，或者第一螺旋线圈的外侧连接至第二螺旋线圈的外侧)，线圈外侧的两端分别与两根金属导线4相连。同时，这两组螺旋线圈的螺旋方向保持一致。 在通过金属导线4给两组螺旋线圈2通入一定大小的电流时，由于两组螺旋线圈2的电流方向相同，所以与单组螺旋线圈相比，在中心区域产生的垂直方向磁场的强度接近加倍。更高强度的垂直方向磁场可以进一步降低噪音的影响，提高测试过程中的抗干扰能力，更准确地完成垂直磁传感器芯片3的检验和校准。 在实际的测试过程中，如果需要更高强度的垂直方向磁场，可以通过类似的方法将更多组螺旋线圈串联起来，只要保证各组线圈的电流方向一致，就可以达到需求。 实施例三 本实施例与以上实施例的区别在于，本实施例中，所述螺旋线圈模块包括多组螺旋线圈；各组螺旋线圈依次首尾连接，串联在一起，各组螺旋线圈在通电后电流方向一致。 实施例四 本实施例与实施例三的区别在于，本实施例中，所述螺旋线圈模块包括多组螺旋线圈，第一部分的多个螺旋线圈连接在一起，形成第一部分螺旋线圈，使用同一对金属导线；第二部分的多个螺旋线圈则与第一部分螺旋线圈独立开来，第二部分的多个螺旋线圈形成第二部分螺旋线圈，使用同一对金属导线；以此类推，当然，也可以有部分螺旋线圈不与其他螺旋线圈连接。 例如，多组螺旋线圈中，包括第一螺旋线圈、第二螺旋线圈、第三螺旋线圈。第一螺旋线圈与第二螺旋线圈连接，第三螺旋线圈与第一螺旋线圈、第二螺旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种垂直磁传感器的检验及校准装置，其特征在于，所述检验及校准装置包括测试板、螺旋线圈模块、金属导线，所述螺旋线圈模块包括一组、两组或多组螺旋线圈；各组螺旋线圈设置于测试板上或测试板内，螺旋线圈通过金属导线连接电源。

【技术特征摘要】
1.一种垂直磁传感器的检验及校准装置，其特征在于，所述检验及校准装置包括测试板、螺旋线圈模块、金属导线，所述螺旋线圈模块包括一组、两组或多组螺旋线圈； 各组螺旋线圈设置于测试板上或测试板内，螺旋线圈通过金属导线连接电源。2.根据权利要求1所述的垂直磁传感器的检验及校准装置，其特征在于: 所述螺旋线圈模块包括一组螺旋线圈，螺旋线圈位于测试板所在平面内；所述检验及校准装置包括两根金属导线，分别为第一金属导线、第二金属导线； 两根金属导线分别连接螺旋线圈的两端，第一金属导线设置于测试板上，第二金属导线设置于测试板内，第二金属导线连接螺旋线圈内测的一端。3.根据权利要求2所述的垂直磁传感器的检验及校准装置，其特征在于: 所述测试板上、螺旋线圈的中心区域为垂直磁传感器芯片的放置区域。4.根据权利要求1所述的垂直磁传感器的检验及校准装置，其特征在于: 所述检验及校准装置包括两根金属导线；所述螺旋线圈模块包括两组螺旋线圈，分别为第一螺旋线圈、第二螺旋线圈； 这两组螺旋线圈分为上下两层，分别位于测试板的表面和内部；所述第一螺旋线圈、第二螺旋线圈在内侧相互连接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张开明，纪业厚，赵旭东，
申请(专利权)人：上海矽睿科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31