液体喷射头及所用基板及其制造方法、记录设备技术

本发明专利技术提供一种液体喷射头及所用基板及其制造方法、记录设备。所述液体喷射头包括其中形成有用于喷射液体的喷射口的构件以及该构件接合至的基板。所述基板具有包含硅化合物的蓄热层和设置在对应于所述喷射口的位置的用于通过通电产生热以从所述喷射口喷射液体的能量生成元件。所述能量生成元件具有层压体，所述层压体具有由钽或钨形成的金属层、层压在所述金属层上并且由硅形成的Si层以及层压在该Si层上并由氮形成的N层，所述金属层与所述蓄热层接触。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及从其喷射液体以在记录介质上进行记录的液体喷射头、配备有该液体喷射头的记录设备、该液体喷射头的制造方法、用于液体喷射头的基板以及用于液体喷射头的基板的制造方法。
技术介绍
喷墨记录设备包括安装了配备有能量生成元件的液体喷射头的这种类型，其中能量生成元件用于生成喷射液体用的能量。在这种类型的喷墨记录设备中，有必要使用能抵抗热应力的能量生成元件以进行高速记录。日本专利特许第3554148号公报提出了通过溅射法沉积的TaSiN膜作为热响应性优良并且具有高薄层电阻的能量生成元件。如上所述的这种喷墨记录设备迄今已被用作消费装置。具体地，这种喷墨记录设备已被用作诸如文字处理器或计算机等的信息处理装置的输出终端。然而，喷墨记录设备因为具有以高速记录高清晰度图像的这种特征，所以近年来被考虑用作工业装置。当喷墨记录设备的应用为工业装置时，与消费装置相比记录的容量增加。结果是，对能量生成元件施加的热应力增加。当热应力增加时，倾向于发生由于结构弛豫和氧化的电阻变化，并且存在能量生成元件会断线的可能。因此，当喷墨记录设备的应用为工业装置时，要求能量生成元件具有更高的热应力耐性。本专利技术的目的在于提供一种能够提高能量生成元件的热应力耐性的液体喷射头、配备有该液体喷射头的记录设备、该液体喷射头的制造方法、用于液体喷射头的基板以及用于液体喷射头的基板的制造方法。
技术实现思路
上述目的能够通过以下描述的本专利技术来实现。根据本专利技术，由此提供一种液体喷射头，该液体喷射头包括：其中形成有用于喷射液体的喷射口的构件，以及所述构件接合至的基板，其中所述基板具有包含硅化合物的蓄热层以及设置在对应于所述喷射口的位置的用于通过通电产生热以从所述喷射口喷射液体的能量生成元件，以及其中所述能量生成元件具有层压体，所述层压体具有由钽或钨形成的金属层、层压在所述金属层上并且由硅形成的Si层以及层压在该Si层上并由氮形成的N层，所述金属层与所述蓄热层接触。根据本专利技术，还提供一种包含上述液体喷射头的记录设备。根据本专利技术，还提供一种液体喷射头的制造方法，该液体喷射头具有其中形成有用于喷射液体的喷射口的构件以及所述构件接合至的基板，在所述基板上形成有包含硅化合物的蓄热层，所述制造方法包括以下步骤：将由钽或钨形成的金属层层压在所述蓄热层的表面上，将由硅形成的Si层层压在所述金属层的表面上，以及将由氮形成的N层层压在所述Si层上。根据本专利技术，还提供一种用于液体喷射头的基板，该基板包括：其上形成有包含硅化合物的蓄热层的基体，以及设置在所述蓄热层一侧的用于通过通电来产生用于喷射液体的能量的能量生成元件，其中所述能量生成元件具有层压体，所述层压体具有由钽或钨形成的金属层、层压在所述金属层上并且由硅形成的Si层以及层压在该Si层上并由氮形成的N层，所述金属层与所述蓄热层接触。根据本专利技术，还提供一种用于液体喷射头的基板的制造方法，该制造方法包括以下步骤：将由钽或钨形成的金属层层压在包含硅化合物并且在基体上形成的蓄热层的表面上，将由硅形成的Si层层压在所述金属层的表面上，以及将由氮形成的N层层压在所述Si层上。根据以下参照附图对示例性实施例的描述，本专利技术的其它特征将变得清楚。附图说明图1A和图1B是根据本专利技术的记录设备和头单元的立体图。图2是构成图1B所示的头单元的液体喷射头的立体图。图3A是沿图2中的切面线3A-3A的剖视图，图3B是图3A的一部分的放大视图。图4是例示根据原子层沉积法的沉积装置的结构的剖视图。图5是示出评价结果的表。具体实施方式将根据附图来详细描述本专利技术的优选实施例。根据本专利技术的液体喷射头可以被安装在诸如打印机、复印机、具有通信系统的传真机或具有打印机部分的文字处理器等的设备中，并且还可以安装在与各种处理器整合的工业记录设备中。在使用根据本专利技术的液体喷射头的情况下，可以对诸如纸张、线、纤维、织物、皮革、金属、塑料、玻璃、木材以及陶瓷等的各种记录介质进行记录。本说明书中使用的术语“记录”不仅表示将有含义的诸如文字或图形等的图像施加到记录介质，还表示施加没有含义的诸如图案等的图像。术语“液体”应被广泛解释，并且“液体”指通过将其施加到记录介质上而在例如图像、设计或图案的形成中、记录介质的加工中、或者墨或记录介质的处理中所使用的液体。墨或记录介质的处理指例如用于通过施加到记录介质的墨中的着色材料的凝固或不溶化来改善墨的定影能力，或者改善记录质量、显色性或图像耐久性的处理。此外，根据本专利技术的液体喷射装置中使用的该“液体”一般包含大量电解质并具有导电性。在下文中将参照附图来描述本专利技术的实施例。首先描述根据本专利技术的记录设备。图1A是根据本专利技术的记录设备的立体图。当在图1A所示的记录设备1中驱动电机11转动时，通过驱动力传送齿轮12和13向导螺杆14传送动力，由此导螺杆14也连同驱动电机11的转动一起转动。在导螺杆14内形成有螺旋槽15。滑架16与螺旋槽15啮合。当导螺杆14转动时，滑架16沿记录介质P的宽度方向(参见图1A中的箭头“a”和“b”)往复移动。头单元2安装在滑架16上。图1B是图1A所示的记录设备中安装的头单元的立体图。如图1B中所示，液体喷射头21通过柔性膜配线基板23与接触垫24导通。接触垫24电连接到设备本体。在本实施例中，液体喷射头21与储墨器22一体化。然而，在本专利技术中，储墨器22可以具有与液体喷射头21分离的结构。下文中将描述液体喷射头21。图2是构成图1B所示的头单元的液体喷射头的立体图。图2所示的液体喷射头21具有基板3(用于液体喷射头的基板)以及与基板3接合并主要由诸如环氧树脂等的热固性树脂形成的流路形成构件4，该基板3配备有能量生成元件32a。能量生成元件32a沿贯通基板3的供给口36的长边方向以预定间隔布置。流路形成构件4中形成有用于喷射液体的多个喷射口41、与各喷射口41连通的多个流路42、以及将各流路42分隔的壁43。喷射口41被设置在夹着流路42与能量生成元件32a相对应的位置上。多个端子35被设置在基板3的端部。用于驱动能量生成元件32a的电力以及用于控制诸如晶体管等的驱动元件(未例示)的逻辑信号被从设备本体发送到各端子35。在以上述方式构成的液体喷射头21中，从供给口36向流路42运送液体。之后，当能量生成元件利用通电产生热时，液体使得膜沸腾以生成气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体喷射头，包括：形成有用于喷射液体的喷射口的构件；以及接合至所述构件的基板，其中，所述基板具有包含硅化合物的蓄热层、以及设置在与所述喷射口相对应的位置处的用于通过通电产生热以从所述喷射口喷射液体的能量生成元件，以及所述能量生成元件具有层压体，所述层压体具有由钽或钨形成的金属层、层压在所述金属层上并且由硅形成的Si层、以及层压在所述Si层上并由氮形成的N层，所述金属层与所述蓄热层接触。

【技术特征摘要】
2013.03.14 JP 2013-0518141.一种液体喷射头，包括：
形成有用于喷射液体的喷射口的构件；以及
接合至所述构件的基板，
其中，所述基板具有包含硅化合物的蓄热层、以及设置在与所述喷射口
相对应的位置处的用于通过通电产生热以从所述喷射口喷射液体的能量生
成元件，以及
所述能量生成元件具有层压体，所述层压体具有由钽或钨形成的金属
层、层压在所述金属层上并且由硅形成的Si层、以及层压在所述Si层上并由
氮形成的N层，所述金属层与所述蓄热层接触。
2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述能量生成元件具有彼
此层压的多个所述层压体，并且作为最下层的所述层压体的所述金属层与所
述蓄热层接触。
3.一种记录设备，其包含根据权利要求1所述的液体喷射头。
4.一种液体喷射头的制造方法，所述液体喷射头具有形成有用于喷射液
体的喷射口的构件、以及接合至所述构件并形成有包含硅化合物的蓄热层的
基板，所述制造方法包括以下步骤：
将由钽或钨形成的金属层层压在所述蓄热层的表面上；
将由硅形成的Si层层压在所述金属层的表面上；以及
将由氮形成的N层层压在所述Si层上。
5.根据权利要求4所述的制造方法，其中，所述金属层、所述Si层以及
所述N层通过原子层沉积法形成。

【专利技术属性】
技术研发人员：樱井诚，初井琢也，竹内创太，安田建，永持创一朗，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP