【技术实现步骤摘要】
-种紫外纳米压印用压印胶的制备方法
本专利技术涉及,属于纳米压印用复合材料制 备领域。
技术介绍
随着纳米压印复合材料的发展,紫外纳米压印技术逐渐成为主流方式。紫外压印 工艺使用透明的纳米模板和光聚化合物,其工艺流程如图1所示,首先将一种有机的聚合 物溶液(转移层)喷涂在基底上,在转移层上再旋涂(或滴加)一层极薄的低粘度单体溶 液(刻蚀层),在一定温度压力条件下压印,待单体完全充满模板空隙后,紫外光透过模板 背面照射使单体聚合,固化成型后撤模,干法刻蚀除去剩余的刻蚀层和转移层将图案转移 至基底。 为了得到高保真度的图案,压印胶(刻蚀层)在压印时应具有较好的流动变形能 力,使其在压力作用下能够完全的填充满模板空隙;在撤膜时,为了使己压印好的图案能够 完整无损的保留下来,此时的压印胶应具有很高的机械稳定性;当压印胶作为掩膜使用时 为了保证图案能顺利从压印胶上通过干法刻蚀转移到基底,此时的压印胶还应具有较高的 抗干法刻蚀能力。 然而目前己商业化的聚合物胶(压印胶)并不能很好满足这看似矛盾的要求,而 且虽然在具体的应用中使用了低表面能的抗粘剂修饰模板以改善模板的抗粘连能力,但仍 然存在问题,即在多次压印之后可脱模性劣化,当形成高深宽比图案时,模板与胶之间的接 触面积特别大,常出现与模板粘连的现象,造成了图案出现缺陷,影响了纳米压印技术的更 进一步应用,因此开发具有更好压印性能的聚合物胶以提高压印质量己成为纳米压印胶技 术的发展方向。
技术实现思路
基于上述技术问题,本专利技术的目的在于提供一种紫外纳米压印用压印胶的制备 ...
【技术保护点】
一种紫外纳米压印用压印胶的制备方法,其特征在于包括以下步骤:(1)聚乙烯醇点的制备:将聚乙烯醇配制成聚乙烯醇水溶液,然后将聚乙烯醇水溶液置于聚四氟乙烯反应釜中,在200~300℃下反应3~8h,反应完成后取出用渗析袋渗析,得到聚乙烯醇点;(2)聚乙烯醇/聚乙烯醇点纳米复合膜的制备:将聚乙烯醇和聚乙烯醇点共混均匀,得到共混液,取少量共混液滴涂在玻璃片上,在室温下自然干燥,得到聚乙烯醇/聚乙烯醇点纳米复合膜;(3)紫外纳米压印用压印胶的制备:将聚乙烯醇/聚乙烯醇点纳米复合膜、苯甲醇、硼砂与二羟甲基二羟乙基乙烯脲一并置于蒸馏水中得到混合溶液,调节溶液pH值至4‑6,在70‑90℃下反应4‑6h,制得紫外纳米压印用压印胶。
【技术特征摘要】
1. 一种紫外纳米压印用压印胶的制备方法,其特征在于包括以下步骤: (1) 聚乙烯醇点的制备:将聚乙烯醇配制成聚乙烯醇水溶液,然后将聚乙烯醇水溶液 置于聚四氟乙烯反应釜中,在200?300°C下反应3?8h,反应完成后取出用渗析袋渗析, 得到聚乙烯醇点; (2) 聚乙烯醇/聚乙烯醇点纳米复合膜的制备:将聚乙烯醇和聚乙烯醇点共混均匀,得 到共混液,取少量共混液滴涂在玻璃片上,在室温下自然干燥,得到聚乙烯醇/聚乙烯醇点 纳米复合膜; (3) 紫外纳米压印用压印胶的制备:将聚乙烯醇/聚乙烯醇点纳米复合膜、苯甲醇、硼 砂与二羟甲基二羟乙基乙烯脲一并置于蒸馏水中得到混合溶液,调节溶液pH值至4-6,在 70-90°C下反应4-6h,制得紫外纳米压印用压印胶。2. 根据权利要求1所述的一种紫外纳米压印用压印胶的制备方法,其特征在于,步骤 (1)中,所述聚乙烯醇采用如下方法制备:先以醋酸乙烯为单体,以甲醇为溶剂,采用溶剂 聚合法制备聚醋酸乙烯;然后将聚醋酸乙烯在甲醇和氢氧化钠或仅在氢氧化钠作用下进行 醇解反应,制得聚乙烯醇。3. 根据权利要求1所述的一种紫外纳米压印用压印胶的制备方法,其特征在于,步骤 ⑴中:所述聚乙烯醇的DP = 1...
【专利技术属性】
技术研发人员:李廷希,苏海波,高博,王清,郑砚萍,姜琳,陈凯,李坤,
申请(专利权)人:山东科技大学,
类型:发明
国别省市:山东;37
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