本发明专利技术是有关一种真空泵，防止静叶部与动叶部接触。构成静叶部(70)的分割静叶部(70A)、分割静叶部(70B)包括多个沿圆周方向排列的定子叶片(71)。定子叶片(71)形成为内周侧的叶片高度(hi)小于外周侧的叶片高度(ho)。在定子叶片(71)形成着外周缘(73a)，该外周缘(73a)是向内周侧朝向进气口(15)侧浮升的方向被弯折。
【技术实现步骤摘要】
真空泵
本专利技术涉及一种具有排气部的真空泵(pump)，该排气部包含动叶部与静叶部。
技术介绍
涡轮分子泵(turbo-molecularpump)等真空泵是在包含外壳(casing)部件及基底(base)部件的泵容器内，使具有多段地排列的动叶部的转子(rotor)高速旋转，通过动叶部与排列在动叶部的各段之间的静叶部将气体分子从进气口侧输送到排气埠(exhaustport)侧。各段动叶部具有转子叶片(rotorblade)，各段静叶部具有定子叶片(statorblade)。各静叶部通过配设在静叶部的外周侧的间隔件(spacer)而呈规定的间隔被支撑。静叶部是组合一对半截的环(ring)状部件而形成为一个轮状。也就是说，使半截的环状部件在直径方向上将两个侧端面相互对接而形成一个轮状。转子叶片及定子叶片是相对于转子的旋转面倾斜地形成，且转子叶片与定子叶片是以规定尺寸的间隙而设置(set)。作为制作静叶部的方法，有通过机械加工而形成的方法及通过塑性加工而形成的方法，通过塑性加工来制作静叶部的方法在成本(cost)方面较为有利。在通过塑性加工制作静叶部的方法中，以如下方式进行制作：对金属板进行压制(press)加工，把作为内周侧缘部的内周边缘(rim)与作为外周侧缘部的外周边缘连结以规定的倾斜角度沿着圆周方向排列的多个定子叶片来进行制作(例如，参照专利文献1)。[
技术介绍
文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2008-144694号公报因加工时的不均会导致由间隔件支撑的静叶部中，内周边缘侧相对于外周边缘侧沿转子的轴向(axial)移位。因该移位而导致产生静叶部与动叶部接触的可能性。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于，克服现有的真空泵存在的缺陷，而提供一种新的真空泵，所要解决的技术问题是使其防止静叶部与动叶部接触，非常适于实用。本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本专利技术的优选实施方式提出的真空泵包括：多个动叶部，多段地配置，且分别具有多个转子叶片；及多个静叶部，配置在动叶部之间，外周边缘经由间隔件受到支撑，且分别具有多个定子叶片；在多个静叶部中的至少一个静叶部中，设置在该静叶部的多个定子叶片的内周侧的叶片高度设定得小于外周侧的叶片高度，且该静叶部以其内周侧朝向进气口侧浮升的方式由间隔件支撑。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。优选为，前述的真空泵，其中所述的静叶部包含内周边缘与外周边缘，定子叶片设置在内周边缘与外周边缘之间，将外周边缘的外周缘从外周边缘向定子叶片的上表面方向以规定的倾斜角度弯折，由此，内周边缘向进气口侧浮升，就降低生产成本的观点来说，所述情况较为优选。优选为，前述的真空泵，其中在将所述的定子叶片的外周侧的叶片高度设为ho，将定子叶片的内周侧的叶片高度设为hi的情况下，内周边缘的前端相对于外周缘的浮升高度s满足(ho-hi)>s的关系。本专利技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本专利技术真空泵至少具有下述优点及有益效果：根据本专利技术，静叶部以其内周侧朝向进气口侧浮升的状态受到支撑。设置在静叶部的定子叶片的外周侧的叶片高度大于内周侧的叶片高度，在定子叶片的内周侧，与作为进气口侧的上段侧的动叶部的间隙大于与下段侧的动叶部的间隙。定子叶片的内周侧以向间隙大的上段侧的动叶部侧移位的状态受到支撑，因此可确实地防止静叶部与动叶部接触。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1是作为本专利技术的真空泵的实施方式的涡轮分子泵的剖视图。图2是图1中的区域II的放大图。图3是静叶部的俯视图。图4是图3中的IV-IV线剖视图。图5(a)是图3中的区域V的放大立体图，图5(b)是从内周侧方向所视的定子叶片的图，图5(c)是从外周侧方向所视的定子叶片的图。图6是用来说明静叶部的制造方法的半圆状平板(plate)的俯视图。图7是用来说明继图6之后的步骤的半圆状平板的俯视图。图8是图7中的区域VIII的放大图。图9(a)是冲头(punch)的俯视图，图9(b)是冲头的立体图。图10(a)是模头(die)的俯视图，图10(b)是模头的立体图。图11(a)、11(b)是用来说明使用冲头PU及模头DI，通过拉拔加工制作定子叶片的方法的图式，其中图11(a)是沿图3中的XIa-XIa线切断所得的拉拔加工时的剖视图，图11(b)是沿图3中的XIb-XIb线切断所得的拉拔加工时的剖视图。图12是本专利技术的静叶部主要部分的实施方式2的放大立体图。图13是本专利技术的静叶部主要部分的实施方式3的放大立体图。【主要元件符号说明】1：涡轮分子泵4：转子4A：转子上部4B：转子下部圆筒部5：转子轴(rotorshaft)6：动叶部8：间隔件9：螺旋定子(screwstator)9a：螺纹槽(threadgroove)部11：泵容器12：外壳部件13：基底13a、21：上部法兰(flange)13a1：突出部14：中央筒部15：进气口16：排气埠16a：排气口21a：内部上壁部22：贯通孔23：下部法兰31：径向(radial)磁轴承32：推力(thrust)磁轴承33a、33b：径向位移传感器(sensor)33c：轴向位移传感器34、36：机械轴承(mechanicalbearing)35：电动机(motor)38：转子轮盘(rotordisk)42：密封(seal)部件70：静叶部70A、70B：分割静叶部70H：静叶部主体70P：半圆状平板70R：弯折部71：定子叶片71Si：内周侧端部71So：外周侧端部72：内周边缘73：外周边缘73a：外周缘74：外周面75：内周侧支撑部76、76A：外周侧支撑部76a：区域77：前端侧部78：排气开口79、82：开口81：切入线91、92、93、94：螺钉(bolt)d、di、do：间隙DI：模头DI1、DI2、PU1、PU2：倾斜部DI3：模头主体部DI3a、PU3a：倾斜面DI3b、PU3b：对接端部hi、ho：叶片高度K：切口lo、L：长度PU：冲头PU3：冲头主体部s：浮升高度具体实施方式为更进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本专利技术提出的真空泵其具体实施方式、方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。-实施方式1-以下，参照图式，将涡轮分子泵作为实施方式对本专利技术的真空泵进行说明。(真空泵整体构成)图1是涡轮分子泵1的剖视图，图2是图1中的区域II的放大图。涡轮分子泵1包括泵容器11，该泵容器11由外壳部件12及固定在外壳部件12的基底13形成。外壳部件12具有大致圆筒形状，例如可由不锈钢(SteelUseStainless，SUS)形成，在上端部形成着上部法兰21。在外壳部件12的上部法兰21的内侧形成着圆形的进气口15。在上部法兰21，沿着圆周方向大致等间隔形成着供螺钉92插通用的贯通孔22。涡轮分子泵1是将螺钉92插通到上部法兰21的贯通孔22中而安装在半导体制造装置等外部装置。在泵容器1本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种真空泵，其特征在于包括排气部，该排气部包含：多个动叶部，多段地配置，且分别具有多个转子叶片；及多个静叶部，配置在所述动叶部之间，静叶部的外周边缘经由间隔件受到支撑，且分别具有多个定子叶片；在所述多个静叶部的至少一个静叶部，设置在该静叶部的多个定子叶片的内周侧的叶片高度设定得小于外周侧的叶片高度；该静叶部以其内周侧朝向进气口侧浮升的方式由所述间隔件支撑。
【技术特征摘要】
2013.03.13 JP 2013-050832;2013.11.20 JP 2013-239901.一种真空泵，其特征在于包括排气部，该排气部包含：多个动叶部，多段地配置，且分别具有多个转子叶片；及多个静叶部，配置在所述动叶部之间，静叶部的外周边缘经由间隔件受到支撑，且分别具有多个定子叶片；在所述多个静叶部的至少一个静叶部，设置在该静叶部的多个定子叶片的内周侧的叶片高度设定得小于外周侧的叶片高度；在该静叶部的内周侧未朝向进气口侧浮升时，该静叶部的内周侧的上表面与上段侧的动叶部的下表面的间隙，大于该静叶部的内周侧的下表面与下段侧的动叶部的上表面的间隙的构造下，该静叶部会在该静叶部的内周侧的上表面与上段侧的动叶部的下表面的间隙，不小于该静叶部的外周侧的上表面与上段侧的动叶部...
【专利技术属性】
技术研发人员：住本慎，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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