基板传送托盘及成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板传送托盘及成膜装置，其能够使用于基板传送的结构简化，并且能够提高成膜效率。该基板传送托盘（20）具备设置于框体（21）的上端侧的支承部（22），该支承部（22）具有与赋予用于传送的驱动力的驱动辊（63）接触的导轨部（31）。并且，即使在驱动辊（63）或与该驱动辊（63）接触的部分产生由膜剥落等产生的粒子，也能够由向厚度方向延伸的下壁部（32）接收该粒子。如此一来，虽然只是使支承部（22）的导轨部（31）与驱动辊（63）接触的简化结构，但也能够进行基板（101）的传送且能够抑制粒子的飞散。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种基板传送托盘及成膜装置，其能够使用于基板传送的结构简化，并且能够提高成膜效率。该基板传送托盘（20）具备设置于框体（21）的上端侧的支承部（22），该支承部（22）具有与赋予用于传送的驱动力的驱动辊（63）接触的导轨部（31）。并且，即使在驱动辊（63）或与该驱动辊（63）接触的部分产生由膜剥落等产生的粒子，也能够由向厚度方向延伸的下壁部（32）接收该粒子。如此一来，虽然只是使支承部（22）的导轨部（31）与驱动辊（63）接触的简化结构，但也能够进行基板（101）的传送且能够抑制粒子的飞散。【专利说明】基板传送托盘及成膜装置
本申请主张基于2013年3月15日申请的日本专利申请第2013-053259号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。 本专利技术涉及一种成膜装置用的基板传送托盘及成膜装置。
技术介绍
以往，作为在成膜装置的真空腔室内传送基板时所使用的基板传送托盘，已知有专利文献I所示的基板传送托盘。该基板传送托盘的传送采用齿条/小齿轮方式。即，在真空腔室的上侧设置有具有小齿轮的驱动部，在基板传送托盘的上端侧设置有以与驱动部的小齿轮啮合的方式将齿排列成直线状的齿条。通过这种结构，以基板传送托盘保持基板，并使驱动部的小齿轮旋转，由此该基板传送托盘与齿条一同向传送方向移动。由此，在成膜装置的真空腔室内基板以保持于基板传送托盘的状态被传送。 专利文献1:日本特开平1-268870号公报 然而，如上所述作为基板传送托盘的传送方法，当采用齿条/小齿轮方式时，存在成膜装置传送部的结构和基板传送托盘的结构变得复杂的问题。并且，从一真空腔室向相邻的真空腔室传送基板传送托盘时，有时会进行如下控制(追赶控制)，即从一真空腔室被传送的基板传送托盘能够追上在相邻的真空腔室内被传送的基板传送托盘。采用齿条/小齿轮方式时，存在如下问题，即因齿条的齿与小齿轮的齿啮合的关系，在基板传送托盘靠近一真空腔室的驱动部和另一真空腔室的驱动部的状态下，无法在各真空腔室的驱动部之间设置传送速度之差，难以应对追赶控制。当难以应对追赶控制时，在进行成膜的部分，有时存在基板传送托盘彼此的间隔变大的情况，会影响成膜效率。根据以上，追求使基板传送的结构简化，并且提高成膜效率的成膜装置。
技术实现思路
本专利技术是为了解决这种问题而提出的，其目的在于提供一种能够简化用于基板传送的结构，并且能够提高成膜效率的基板传送托盘以及成膜装置。 本专利技术所涉及的基板传送托盘为一种向与基板的厚度方向交叉的传送方向传送基板时，能够保持基板的成膜装置用基板传送托盘，其具备:框体，能够安装基板；以及支承部，设于框体的一端侧，传送时支承框体，支承部具有:第I部分，连接于框体的一端侧，且至少沿框体的厚度方向延伸；以及第2部分，与赋予用于传送的驱动力的驱动辊接触。 本专利技术所涉及的基板传送托盘具备设置于框体的一端侧的支承部，该支承部具有与赋予用于传送的驱动力的驱动辊接触的第2部分。由此，能够安装基板的框体经由具有第2部分的支承部，由驱动辊赋予驱动力，并能够与基板一同向传送方向移动。并且，支承部具有与框体连接的第I部分，该第I部分向框体的厚度方向延伸。因此，即使在驱动辊或与该驱动辊接触的部分产生因膜剥落等而产生的粒子，向厚度方向延伸的第I部分也能够接收该粒子。如此，虽然只是使支承部的第2部分与驱动辊接触的简单的结构，也能够进行基板的传送且抑制粒子的飞散。并且，并非如齿条/小齿轮方式那样使齿条侧的齿与小齿轮侧的齿啮合而赋予驱动力，而是通过使用驱动辊，即使在一真空腔室的驱动部与另一真空腔室的驱动部之间存在传送速度之差，也能够进行传送，因此可以应对追赶控制。由此，能够有效率地传送基板，并能够提高成膜效率。根据以上，能够简化用于基板传送的结构，并且能够提高成膜效率。 本专利技术所涉及的基板传送托盘中，传送方向的第2部分的端部可以具有随着朝向传送方向宽度变窄的形状。第2部分与赋予用于传送的驱动力的驱动辊接触，但驱动辊为了支承第2部分有时在厚度方向上的两端侧具有凸缘部。在这种情况下，第2部分的端部具有随着朝向传送方向宽度变窄的形状，由此第2部分的端部不干扰驱动辊的凸缘部就能够顺利地与驱动辊接触。 本专利技术所涉及的基板传送托盘中，在框体的另一端侧的传送方向的端部可以具有随着朝向传送方向宽度变窄的形状。在框体的另一端侧，有时设置支承该框体的另一端侧的两个侧面那样的侧面支承部。在这种情况下，通过在框体传送方向的端部具有随着朝向传送方向宽度变窄的形状，由此框体的传送方向的端部不干扰侧面支承部就能够顺利地向传送方向移动。 本专利技术所涉及的基板传送托盘中，从传送方向观察时第I部分形成为“ 口 ”字形状，在该“ ^ ”字形状的内表面可安装第2部分。由此，通过第I部分的“ 口 ”字形状，能够包围与第2部分接触的驱动辊。因此 ，能够可靠地接收在驱动辊附近产生的粒子并抑制飞散。 本专利技术所涉及的成膜装置具备:真空腔室，能够容纳上述基板传送托盘及被基板传送托盘保持的状态的基板；及传送部，以使基板直立的状态或从直立的状态倾斜的状态进行传送，其中，传送部具有配置于真空腔室的上侧且向基板传送托盘赋予驱动力的驱动辊，驱动辊被配置于由支承部的第I部分及第2部分包围的空间内时与第2部分接触，并对基板传送托盘赋予驱动力。 本专利技术所涉及的成膜装置中，由于将配置在真空腔室的上侧的驱动辊配置于由基板传送托盘的支承部的第I部分及第2部分包围的空间内，从而能够与第2部分接触而对基板传送托盘赋予驱动力。由此，通过将驱动辊配置在由支承部的第I部分及第2部分包围的空间内的简单的结构中，能够发挥如上所述的基板传送托盘的效果。 在本专利技术所涉及的成膜装置中，通过驱动辊支承及驱动基板传送托盘时，基板传送托盘的下端部可在上下方向上从真空腔室的底侧的结构物分离。由此，通过设为用真空腔室上侧的驱动辊悬挂支承基板传送托盘的重量的结构，从而能够通过热量等消除基板传送托盘向上下方向延伸时对传送带来的影响。另外，在基板传送托盘的下侧支承重量时，由于基板传送托盘的重心位于支承部上侧的关系，必须设为基板传送托盘本身的强度高的结构，但通过只在上侧进行支承，重心位于相比支承部更靠下侧，能够简化基板传送托盘的结构。 本专利技术所涉及的成膜装置中，传送部可具备支承基板传送托盘的下端部侧的两个侧面的侧面支承部。由此，虽然在与支承有基板传送托盘的上端侧相反的一侧的下端部侧存在厚度方向的摇晃变大的情况，但能够通过侧面支承部抑制该摇晃。 专利技术效果: 根据本专利技术，能够简化用于基板传送的结构，并且能够提高成膜的效率。 【专利附图】【附图说明】 图1是表示本专利技术的实施方式所涉及的成膜装置的基本结构的俯视图。 图2是从蒸镀源侧观察本专利技术的实施方式所涉及的基板传送托盘的图。 图3是沿图2所示的II1-1II线的剖视图。 图4是表示图3所示的上部结构周边的结构的放大图。 图5是表示图3所示的下部结构周边的结构的放大图。。 图6是从上方观察驱动系统的基本结构的图。 图7是表示传送方向上的导轨部的端部及下端部侧的框体的端部的形状的概略图。 图8是表示在变形例所涉及的基板传送托盘的上部结构周边的基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜装置用基板传送托盘，在向与基板的厚度方向交叉的传送方向传送所述基板时,能够保持所述基板,该成膜装置用基板传送托盘具备：框体，能够安装所述基板；以及支承部，设于所述框体的一端侧，传送时支承所述框体，所述支承部具有：第1部分，与所述框体的所述一端侧连接，且至少沿所述框体的厚度方向延伸；以及第2部分，与赋予用于传送的驱动力的驱动辊接触。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：前原诚，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP