真空动力沉积装置制造方法及图纸

提供了一种真空动力沉积装置，其包括：驱动单元；线性运动单元，联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动；以及角度限制单元，联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上运动。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】提供了一种真空动力沉积装置，其包括：驱动单元；线性运动单元，联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动；以及角度限制单元，联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上运动。【专利说明】真空动力沉积装置相关申请的交叉引用本申请要求于2013年3月14日向韩国专利局提交的第10-2013-0027488号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用并入本文。
本专利技术的实施方式涉及真空动力沉积装置。
技术介绍
运动电子设备被广泛使用，运动电子设备的一些实施例包括平板设备和诸如运动电话的小型电子设备。这种运动电子设备包括用于向用户提供视觉信息(诸如，静止或运动的图像)以支持各种功能的显示单元。最近，随着用于操作显示单元的部件的尺寸越来越小，电子设备的显示单元在电子设备中占据的相对部分逐渐增加。而且，还开发了一种用于使显示单元弯曲以在平坦状态中具有一定角度的结构。 这种显示单元可具有有机发光设备，因此当有机发光层使用外部施加的电流发出光时各种图像/文字可被显示。有机发光设备可以各种方法形成。例如，有机发光设备可通过例如有机物质沉积方法、激光热传递方法、丝网印刷方法等形成。有机物质沉积方法被频繁使用，因为有机发光设备可由相对简单的工序以相对便宜的成本形成。
技术实现思路
本专利技术的实施方式提供了一种用于控制沉积材料的喷射角度的真空动力沉积装置。 根据本专利技术的一个方面，提供了一种真空动力沉积装置，其包括:驱动单元；线性运动单元，联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动；以及角度限制单元，联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向运动。 所述驱动单元包括:驱动力生成单元，被配置为生成驱动力；以及旋转单元，联接至所述驱动力生成单元并且被配置为旋转。 所述旋转单元可包括正齿轮。 所述线性运动单元可包括运动块，所述运动块联接至所述旋转单元并且被配置为在所述旋转单元旋转时线性运动。 所述线性运动单元可包括引导单元，所述引导单元被配置为在所述角度限制单元运动时引导所述角度限制单元的一部分。 所述引导单元可包括:第一引导部；第二引导部，联接在所述第一引导部的第一端并且从所述第一引导部对角延伸；以及第三引导部，联接至所述第二引导部的第二端。 所述第一引导部和所述第三引导部可垂直偏移。 所述引导单元可限定出椭圆形的孔。 所述角度限制单元可包括:角度限制板，位于所述源单元之间并且被配置为向上和向下线性运动；以及滑动单元，联接至所述角度限制板和所述线性运动单元，并且被配置为在所述线性运动单元运动时沿与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向滑动。 所述角度限制单元还可包括连接器，所述连接器用于联接所述角度限制板和所述滑动单元。 所述角度限制单元还可包括阻塞单元，所述阻塞单元位于所述角度限制板与所述滑动单元之间并且被配置为封闭侧护板处的槽。 所述真空动力沉积装置还可包括固定单元，所述固定单元被配置为使所述角度限制单元能够滑动。 所述真空动力沉积装置还可包括线性引导单元，所述线性引导单元位于所述固定单元与所述滑动单元之间并且被配置为引导所述滑动单元。 所述真空动力沉积装置还可包括辅助引导单元，所述辅助引导单元面向所述线性运动单元并且被配置为引导所述线性运动单元。 所述辅助引导单元可包括:固定支架；以及引导部，位于所述固定支架的外表面并且被配置为引导所述线性运动单元。 所述真空动力沉积装置还可包括位于所述固定支架的外表面处的加固肋。 所述线性运动单元可包括插入到所述引导部中的突起单元。 所述真空动力沉积装置还可包括指示单元，所述指示单元被配置为指示所述角度限制单元的位置。 所述指示单元可包括:运动单元，位于所述角度限制单元处并且被配置为与所述角度限制单元一起运动；以及位置显示单元，被固定在外侧并且被配置为指示所述运动单元的位置。 所述真空动力沉积装置还可包括盖单元，所述盖单元用于覆盖所述驱动单元和所述线性运动单元的一部分。 【专利附图】【附图说明】 通过参考附图详细描述本专利技术的示例性实施方式，本专利技术的实施方式的上面和其它方面将变得更加显而易见，在附图中: 图1是示出了根据本专利技术的示例性实施方式的真空动力沉积装置的立体视图； 图2是示出了图1的区域A的局部放大立体视图；以及 图3是示出了图1的区域B的局部放大立体视图。 【具体实施方式】 现在参考附图更完整地描述本专利技术的实施方式，在附图中示出了本专利技术的示例性实施方式。然而，本专利技术可以许多不同的形式实施并且不应该被解释为限于本文中陈述的实施方式，而提供这些实施方式使得本公开全面和完整，并且向本领域技术人员传递本专利技术的概念。在本说明书中，单数形式还包括复数形式。诸如“包括”、“具有”或“由…构成”的词语可用于指示多个部件，除非这些词语与词语“仅” 一起使用。诸如“第一”和“第二”的词语可用于描述各种部件，但是这些词语仅用于区分一个部件与另一个，并且部件不受这些词语限制。 图1是示出了根据本专利技术的示例性实施方式的真空动力沉积装置100的立体视图。图2是示出了图1的区域A的局部放大立体视图。图3是示出了图1的区域B的局部放大立体视图。 参考图1至图3，真空动力沉积装置100可包括形成有空间的腔室。而且，真空动力沉积装置100可被安装在腔室内，并且可包括源单元以沉积材料(诸如，有机物质)。而且，真空动力沉积装置100可包括被安装以固定源单元的源单元固定框架。 而且，参考图2，真空动力沉积装置100可包括驱动单元110和线性运动单元120，线性运动单元120联接至驱动单元110并且被配置为根据驱动单元110的操作而线性运动。而且，真空动力沉积装置100可包括角度限制单元130，角度限制单元130联接至线性运动单元120并且被配置为根据线性运动单元120的运动而垂直运动。在这方面，真空动力沉积装置100还可包括固定单元140，固定单元140被安装为使得角度限制单元130可滑动。真空动力沉积装置100还可包括侧护板160。 而且，驱动单元110可包括驱动力生成单元111，驱动力生成单元111生成或提供驱动力。具体地，驱动力生成单元111可包括电机，但驱动力生成单元111不限于此，而是可包括生成驱动力的其它设备。 驱动单元110可包括旋转单元112，旋转单元112联接至驱动力生成单元111并且可旋转。在这方面，旋转单元112可以是正齿轮，但旋转单元112不限于此，而是可包括根据驱动力生成单元111的操作而传递驱动力的其它设备。 而且，线性运动单元120可包括源护板121，源护板121根据驱动单元110的运动而线性运动。而且，线性运动单元120可联接至旋转单元112并且可包括运动块122，运动块122根据旋转单元112的运动而线性运动。在这方面，当旋转单元112是正齿轮时，运动块122可以是与正齿轮啮合且在正齿轮旋转时运动的齿条。然而，运动块122不限于此，可包括在旋转单元112旋转运动时线性运动的其它设备和结构。 线本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空动力沉积装置，包括：驱动单元；线性运动单元，联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动；以及角度限制单元，联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上运动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李英昱，韩政洹，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR