【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种失效分析系统，应用于对待测芯片的失效分析工艺中，其特征在于，包括存储有测试数据的单片机、感测装置和信息处理分析模块；所述单片机与所述待测芯片连接，以根据所述测试数据对所述待测芯片进行失效测试；所述感测装置临近所述待测芯片设置，以感测所述待测芯片在进行所述失效测试时产生的光发射信息，且所述感测装置将所述光发射信息发送至所述信息处理分析模块进行失效分析；其中，所述信息处理分析模块与所述单片机连接，以根据所述失效分析工艺的需求于所述单片机中更新数据。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张顺勇，周第廷，高慧敏，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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