【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种圆筒形掩模板系统,其特征在于,包括:基座,固定于基座一侧的轴柄;第一轴承和第二轴承,第一轴承位于轴柄上靠近基座一端,第二轴承位于轴柄上远离基座一端,所述第一轴承和第二轴承均包括轴承外圈、轴承内圈和位于轴承外圈和轴承内圈之间的滚动体,第一轴承和第二轴承的轴承内圈固定于轴柄上;圆筒形掩模板,所述圆筒形掩模板为中空的圆柱,所述圆筒形掩模板包括位于中间的图像区域和位于图像区域的两边的非图像区域,圆筒形掩模板套在第一轴承和第二轴承的轴承外圈上,圆筒形掩模板的非图像区域的内表面与第一轴承和第二轴承的轴承外圈相接触,当第一轴承和第二轴承绕轴柄旋转时,圆筒形掩模板也一起绕轴柄旋转。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:伍强,顾一鸣,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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