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一种ZnO/VO2复合热相变材料及制备方法技术

技术编号:10419361 阅读:186 留言:0更新日期:2014-09-12 11:00
本发明专利技术涉及一种ZnO/VO2复合纳米材料及其制备方法。所述材料依附在氧化铝衬底上并具有呈周期性排列分布的单元,每个单元是由包覆VO2多晶壳层的若干ZnO四角棒构成的单晶纳米结构,相变温度为71.2ºC,具有可逆的金属—绝缘相变特性。该材料的制备首先以ZnO粉末和石墨粉为原料通过热蒸发法合成单晶四角棒状ZnO纳米材料;再通过化学气相沉积法,以乙酰丙酮氧钒(VO(acac)2)为原料,在氧气占8%~11%的氮氧混合气环境下,在ZnO纳米材料表面沉积多晶VO2薄膜;最后移除模板得到图形化VO2/ZnO复合相变材料。优点是,该方法制得的VO2纳米结构形貌丰富,具有VO2的金属—半导体相变特性,又结合了ZnO的宽禁带半导体的特性,具有很好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
—种Zn0/V02复合热相变材料及制备方法
本专利技术涉及半导体材料、光电子材料、相变型材料与器件
,具体地说涉及一种生长在氧化铝衬底上周期性排列的一种Zn0/V02复合纳米材料及其制备方法。
技术介绍
单斜晶结构的VO2是一种热致相变型材料,当温度低于68°C时,乂02处于半导体态,为单斜晶系结构;当温度高于68°C时,VO2转变为金属态,具有四方金红石结构,而且相变非常迅速。伴随着晶系结构的变化,电阻率、磁化率、光透射率和反射率都产生突变。这些性质使得VO2成为一种有广泛应用前景的光电转换材料、光存储、激光保护和智能窗材料。目前,水热法和气相沉积法是用来制备VO2纳米结构的主要方法,水热法制备出的VO2纳米结构虽形貌较丰富,但杂质较多,排列不规律,且没有金属-半导体相变特性,想得到相变型VO2还必须经过高温热转化。气相沉积法能够直接合成相变型VO2纳米结构,但由于VO2纳米结构的生长并非典型的气化-成核-生长的VLS模式,而是有很多中间相参与的熔融生长过程,因此往往需要高温环境(800°C~1100°C ),且得到的产物往往形貌单一(多为一维线状纳米结构),平行衬底表面生长,难以从衬底上剥离和大量制备,为后续的温控型器件的后续工艺处理造成了困难,也很难被应用到纳米光电子器件上去。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种Zn0/V02复合相变材料及其制备方法,所述的方法及获得的所述相变材料能在平行衬底表面生长,且制备过程无需高温环境,同时其中VO2纳米结构形貌丰富、排列规律、易于剥离和大量制备。为实现上述目的,所述热相变材料具有:依附在氧化铝衬底上并具有呈周期性排列分布的单元,每个单元是由包覆VO2多晶壳层的若干ZnO四角棒构成的单晶纳米结构,相变温度为71.2°C,具有可逆的金属一绝缘相变特性。一个优选的呈周期性排列分布的单元是按矩阵方式排列分布,其行间距为600 μ m,列间距为200 μ m。进一步的,每一所述单元呈圆角矩形,长度为400 μ m,宽度为150 μ m。进一步的,所述单晶纳米结构的ZnO中心核的直径为约550~650nm,VO2多晶壳层的厚度为80~120nm,每个棒的长度为3~5 μ m,棒与棒之间的夹角呈109°。进一步的,所述ZnO四角棒的棒核空间群为P63mc (186),晶格常量为a=3.25 A, b=3.25 A, c=5.21 A,生长方向为晶向。进一步的,所述V02多晶壳层室温下呈单斜晶相,空间群为P21/c,晶格常量为a = 5.753 人,b = 4.526 A_, c= 5.383 人。上述热相变材料的制备方法,包括如下步骤:第一步,将ZnO粉末和石墨粉按1:1的质量比例进行混合搅拌,装入石英舟,放置于水平管式炉炉管的中心位置,该炉中置有氧化铝衬底,控制衬底与石英舟的距离在8~15cm上,所述衬底上覆盖一片设有周期性排列分布孔的不锈钢模板;第二步,炉管中心的温度以8~12°C /min速率升温至290~310°C,并保持15~25分钟,然后自然冷却到180°C ;再通入纯度和流量分别为98.5%~99.999%和400~520sccm的氮气作为载气,以10~20°C /min的速率升温使炉腔中心温度至475~485C,保持35~45分钟,自然冷却到室温,取出氧化铝衬底,最终在所述衬底上沉积得到纯净的ZnO白色产物;第三步,用乙酰丙酮氧钒为钒原料,并放入化学气相沉积系统中的沉积炉腔前端,控制放置区域的温度在200°C~250°C,将沉积有ZnO白色产物的衬底作为模板,放入所述沉积炉腔中间位置,接着排除所述系统中的氧气;然后将纯度均为99.999%、体积比为8:92~11:89氧气和氮气的混合,形成载气,并将该载气以40~65sccm流量通入所述系统中,控制ZnO模板所在位置的温度在490°C~510°C之间,加热25~35分钟后,关停系统,自然降温,衬底上的产物由白色变为黑灰色;第四步,移除所述不锈钢金属模板,最终在所述衬底上得到周期性排列的Zn0/V02复合热相变材料。 对于上述步骤中的第三步,其中加热时间的长短可控制VO2多晶壳层的厚度。一个优选的模板上周期性排列分布孔,可按矩阵排列分布,所述孔的行间距为600 μ m,列间距为200 μ m。进一步的,所述孔为长度为400 μ m、宽度为150 μ m的圆角矩形孔。本专利技术利用ZnO纳米结构并通过典型的气相沉积法生长,使获得的热相变材料产量高、易于制备,且ZnO纳米结构形貌丰富;在制备中以ZnO纳米结构为模板,通过气相法在ZnO纳米结构表面包覆VO2,形成Zn0/V02核壳纳米结构,可以克服传统气相法制备VO2存在的:形貌单一,平行衬底表面生长,难以从衬底上剥离和大量制备等缺点,同时可以综合利用VO2的相变特性和ZnO的光电特性,得到具有热相变特性的Zn0/V02核壳结构的纳米材料;同时合成的Zn0/V02复合材料,既保有VO2的金属一半导体相变特性,又结合了 ZnO的宽禁带半导体的特性,在变温型光电子器件,特别是变温场发射显示领域有广泛的应用;而且,合成所采用的技术手段分步实施,最终产物的形貌与ZnO的形貌一致,且壳层VO2的厚度可以通过控制反应时间来调节,因此整个制备过程具有工艺简单,形貌可控,重复性强等优点,适合大规模工业生产,具有很好的应用前景;对于温度控型场发射显示器件,本专利技术材料及制备方法具有潜在应用前景。【附图说明】图1是Zn0/V02复合相变材料,其中:(a)纯净的ZnO四角棒的结构图;(b)纯净的ZnO四角棒的结构图高分辨TEM图,其生长方向为晶向;(c)周期性排列Zn0/V02复合相变材料的SEM图;(d)和(e)分别是Zn0/V02复合相变材料的中倍和高倍放大SEM图,由若干四角棒状Zn0/V02核壳纳米结构组成;(f)是Zn0/V02复合相变材料其中一根核壳晶体结构的TEM图。图2中(a)是纯净的棒状ZnO和Zn0/V02复合材料的X射线衍射图;(b)Zn0/V02复合相变材料的热法示差扫描量热(DSC)曲线,显示其相变温度为71.2°C。【具体实施方式】本专利技术是以热蒸发和化学气相沉积法为基础进行的Zn0/V02复合热相变材料的合成,下面结构具体实施例来对本专利技术做进一步说明。实施例1本实施例的具体步骤如下:第一步,将ZnO粉末和石墨粉以质量比1:1的比例进行混合搅拌,装入石英舟并放置于水平石英管式炉炉管的中心位置,再将氧化铝衬底放在水平管式炉中,该衬底上覆盖一片不锈钢模板,并且该模板上设有呈周期性分布排列的孔,一个优选的周期性分布排列孔是按矩阵排列分布,孔的行距是600 μ m,列距是200 μ m,所述孔为长度400 μ m、宽度150 μ m的圆角矩形孔,这样就形成一个图形化模板,使石英舟与该模板的距离为11cm。第二步,将炉管中心的温度以10°C /min的速率升高到300°C,并保持20分钟,然后自然冷却到180°C。再通入氮气作为载气,以15°C /min的升温速率将炉腔中心温度升高到480°C,保持40分钟,自然冷却到室温,取出氧化铝衬底,最终在衬底上沉积得到纯净的ZnO白色产物。氮气的纯度为98.5%~99.999%,流量为480sccm本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ZnO/VO2复合热相变材料,其特征在于:依附在氧化铝衬底上并具有呈周期性排列分布的单元,每个单元是由包覆VO2多晶壳层的若干ZnO四角棒构成的单晶纳米结构,相变温度为71.2℃,具有可逆的金属—绝缘相变特性。

【技术特征摘要】
1.一种Zn0/V02复合热相变材料,其特征在于:依附在氧化铝衬底上并具有呈周期性排列分布的单元,每个单元是由包覆VO2多晶壳层的若干ZnO四角棒构成的单晶纳米结构,相变温度为71.2°C,具有可逆的金属一绝缘相变特性。2.根据权利要求1所述的一种2110八02复合热相变材料,其特征在于:所述呈周期性排列分布的单元按矩阵方式排列分布,行间距为600 μ m,列间距为200 μ m。3.根据权利要求2所述的一种2110八02复合热相变材料,其特征在于:每一所述单元呈圆角矩形,长度为400 μ m,宽度为150 μ m。4.根据权利要求1所述的一种2110八02复合热相变材料,其特征在于:所述单晶纳米结构的ZnO中心核的直径为约550~650nm, VO2多晶壳层的厚度为80~120nm,每个棒的长度为3~5μπι,棒与棒之间的夹角呈109°。5.根据权利要求1所述的一种Zn0/V02复合热相变材料,其特征在于:所述ZnO四角棒的棒核空间群为P63mc(186),晶格常量为a=3.25 A, b=3,25 A, c=5.21 A,生长方向为[0001]晶向。6.根据权利要求1所述的一种Zn0/V02复合热相变材料,其特征在于:所述VO2多晶壳层室温下呈单斜晶相,空间群为P21/c,晶格常量为a = 5.753 A, b = 4.526 A, c= 5.383 A。7.如权利要求1所述相变材料的制备方法,其特征在于包括如下步骤: 第一步,将ZnO粉末和石墨粉按1:1的质量比例进行混合搅拌,装入石英舟,放置于水平管式炉炉管的中心位置,该炉中置有氧化铝衬底,控制衬底与石英舟的距离在8...

【专利技术属性】
技术研发人员:尹海宏王志亮宋长青陈云施敏张雪锋朱友华
申请(专利权)人:南通大学
类型:发明
国别省市:江苏;32

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