用于清洁气体喷射器的系统和方法技术方案

一种具有同心双流导引器和流分散喷射器座的喷射器清洁装置以及一种清洁喷射器的方法。所述同心双流导引器具有与气体喷射器的中央通道以及多个外围通道连通的同心清洁流体流动路径。所述同心双流导引器的输入侧喷射器接合界面和所述流分散喷射器座各自具有可压缩密封部，所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器分别与所述输入侧喷射器接合界面和输出侧喷射器接合界面的刚性护面部邻接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】一种具有同心双流导引器和流分散喷射器座的喷射器清洁装置以及一种清洁喷射器的方法。所述同心双流导引器具有与气体喷射器的中央通道以及多个外围通道连通的同心清洁流体流动路径。所述同心双流导引器的输入侧喷射器接合界面和所述流分散喷射器座各自具有可压缩密封部，所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器分别与所述输入侧喷射器接合界面和输出侧喷射器接合界面的刚性护面部邻接。【专利说明】 相关申请的交叉引用本申请要求于2011年12月7日提交的序列号为61/567，693的美国临时申请和于2012年10月12日提交的序列号为13/650,429的美国正式申请的权益。
本专利技术涉及一种清洁气体喷射器的内表面的系统和方法。
技术介绍
将气体喷射器用作等离子体处理系统的部分，该等离子体处理系统用于诸如半导体晶片之类的衬底的等离子体处理。这些应用要求气体喷射器不受到污染，因为污染物将可能产生不可接受的制造产品(work product)。通常,通过人工擦洗内表面至一定程度,用超声波进一步清洁，从而清洁喷射器。相信这样的过程不会使喷射器不受诸如陶瓷和氧化钇颗粒之类的颗粒污染。本专利技术人已经认识到需要有替代上述清洁工艺的替代方案，并且更具体地，需要用于从喷射器的受限表面(confined surface)去除诸如陶瓷和氧化钇颗粒之类的颗粒的更有效的替代方案。
技术实现思路
根据本专利技术的主题，提供喷射器清洁装置来清洁气体喷射器的内表面。喷射器清洁装置和相关联的过程用于从喷射器的受限表面去除颗粒，例如陶瓷颗粒和氧化钇颗粒。喷射器清洁装置可以用来清洁或冲洗掉常规擦洗和超声波清洁后产生的颗粒。根据本专利技术的一个实施方式，喷射器清洁装置包括同心双流导引器和流分散喷射器座。所述同心双流导引器包括:内部同心清洁流体(cleaning fluid)流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通；外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通；以及输入侧喷射器接合界面。该输入侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部(rigid facing port1n)。所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌(surges)，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接(abutment)并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙。所述流分散喷射器座包括输出侧喷射器接合界面，该输出侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部。所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输出侧喷射器浮动间隙。根据本专利技术的另一实施方式，喷射器清洁装置包括同心双流导引器、流分散喷射器座、内部流量控制模块和外部流量控制模块。所述同心双流导引器包括:内部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通；外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通；以及输入侧喷射器接合界面。该输入侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部(rigid facing port1n)。所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌(surges)，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙。所述流分散喷射器座还包括内基环、外基环和输出侧喷射器接合界面，该输出侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部。所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输出侧喷射器浮动间隙。所述内部流量控制模块被配置成调节流到所述内部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动，并且所述外部流量控制模块被配置成调节流到所述外部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动。根据本专利技术的另一实施方式，公开了清洁气体喷射器的方法。该方法包括:提供喷射器清洁装置，该喷射器清洁装置包括同心双流导引器、流分散喷射器座、内部控制模块和外部控制模块。所述同心双流导引器包括:内部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通；以及外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通。该方法还包括将去离子水和压缩干燥空气弓I入所述内部同心清洁流体流动路径以及将去离子水和压缩干燥空气引入所述外部同心清洁流体流动路径。所述同心双流导引器还包括输入侧喷射器接合界面，该输入侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部。所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙。所述流分散喷射器座包括输出侧喷射器接合界面，该输出侧喷射器接合界面包括可压缩密封部和刚性护面部。所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述流分散喷射器座之间的输出侧喷射器浮动间隙。所述内部流量控制模块调节流到所述内部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动，并且所述外部流量控制模块调节流到所述外部同心清洁流体流动路径的去离子水和压缩干燥空气的流动。【专利附图】【附图说明】当结合下文的附图阅读时，可以最好地理解本专利技术的【具体实施方式】的下面的详细描述，附图中类似的结构用类似的附图标记标注，且其中:图1是根据本专利技术的一个实施方式的喷射器清洁装置的示意图；图2A是根据本专利技术的一个实施方式的喷射器清洁装置的侧面剖视图(为使喷射器清洁装置清晰起见，喷射器显本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷射器清洁装置，其包括同心双流导引器和流分散喷射器座，其中：所述同心双流导引器包括内部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的中央通道连通，外部同心清洁流体流动路径，其配置成与气体喷射器的多个外围通道连通，以及输入侧喷射器接合界面，其包括可压缩密封部和刚性护面部，所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输入侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输入侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输入侧喷射器浮动间隙；并且所述流分散喷射器座包括输出侧喷射器接合界面，其包括可压缩密封部和刚性护面部，所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的可压缩性，以在用流体清洁时产生浪涌，该浪涌能归因于流过所述喷射器清洁装置的清洁流体的流动的起始和终止，且所述输出侧喷射器接合界面的所述可压缩密封部具有足够的弹性以防止气体喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部邻接并保持喷射器和所述输出侧喷射器接合界面的所述刚性护面部之间的输出侧喷射器浮动间隙。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿尔曼·阿沃杨，克利夫·拉克鲁瓦，石洪，艾伦·龙尼，约翰·多尔蒂，凯瑟琳·周，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：美国;US