具指插式弹簧的微机电装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种具指插式弹簧的微机电装置，包括基板、至少一质量块、移动电极、固定电极、固定座以及指插式弹簧。移动电极沿轴向配置在质量块上。固定电极沿轴向配置在基板上，且移动电极与固定电极之间具有一临界间隙。指插式弹簧沿轴向连接质量块与固定座。指插式弹簧包含多个第一折叠部、多个第一连接部、多个第二折叠部以及多个第二连接部。第一折叠部包含二个第一延展部及第一头部。第二折叠部包含二个第二延展部及第二头部。第一延展部的宽度大于此临界间隙，且第二延展部的宽度大于此临界间隙。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种具指插式弹簧的微机电装置，适用于感测加速度，其特征在于，包括：基板；第一质量块；移动电极，沿第一轴向配置在该第一质量块上；固定电极，沿该第一轴向配置在该基板上，且该移动电极与该固定电极之间具有临界间隙；固定座；以及指插式弹簧，沿该第一轴向连接该第一质量块与该固定座，该指插式弹簧包含:多个第一折叠部，其中每一该第一折叠部包含二个第一延展部及一第一头部用以连接该二个第一延展部；多个第一连接部，其中每一该第一连接部分别连接两相邻的该第一折叠部的该第一延展部以界定第一空间；多个第二折叠部，其中每一该第二折叠部包含二个第二延展部及一第二头部用以连接该二个第二延展部；以及多个第二连接部，其中每一该第二连接部分别连接两相邻的该第二折叠部的该第二延展部以界定第二空间；其中至少一该第一折叠部设置于该第二空间且至少一该第二折叠部设置于该第一空间；该第一延展部的宽度大于该临界间隙且该第二延展部的宽度大于该临界间隙。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：林士杰，黄肇达，苏中源，许郁文，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71